Technische Universität Ilmenau

Microsystems Technology - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modulbeschreibungen durch die Modulverantwortlichen finden Sie unter Modulpflege.

Hinweise zu fehlenden oder fehlerhaften Modulbeschreibungen senden Sie bitte direkt an modulkatalog@tu-ilmenau.de.

Modulinformationen zu Modulnummer 200333 - allgemeine Informationen
Modulnummer200333
FakultätFakultät für Maschinenbau
Fachgebietsnummer2342 (Mikrosystemtechnik)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Steffen Strehle
SpracheEnglisch
TurnusSommersemester
Vorkenntnisse

Knowledge about basic microsystems and microsystems technology.

Lernergebnisse und erworbene Kompetenzen

After the lectures and exercises the students are familiar with several fundamental microsystems and microtechnologies and can build on this knowledge. The students are able to name modern methods of micro- and nanopatterning and to discuss their importance for the fabrication of selected microsystems partly based on mathematical models. The students are familiar with the working principles of selected modern microsystems and are familiar with current research aspects. In addition, students are capable to develop own complex technological processes for the fabrication of advanced microsystems as well as selected microsystems. They can critically analyze aspects of microsystem design, material selection, technological workflow, a perspective industrial realization as well as aspects of sustanability, partly based mathematical models. Besides conventionally used microtechnologies and materials, students are capable to name novel attempts in the field and to evaluate their respective potential towards future applications.

Inhalt
  1. Introduction in Microsystems Technology: overview of microsystems, scaling, materials, basic microfabrication
  2. Advanced microfabrication: nanoimprint lithography, thermal probe lithography, DUV/EUV-Lithography, plasma etching of complex materials, bottom-up material synthesis and patterning strategies
  3. Bonding Techniques and Packaging
  4. MEMS design & technology
  5. Microsystems: Bio-MEMS, gas sensors, Passive sensor systems, optical MEMS, low-cost microsystems and Green MEMS

 

MedienformenAnschrieb (Tafel/elektronisch) Folien, Videos, ...
Literatur

Literature recommendations are given during the course of the lecture

Lehrevaluation
Spezifik Referenzmodul
ModulnameMicrosystems Technology
Prüfungsnummer2300810
Leistungspunkte5
SWS5 (3 V, 2 Ü, 0 P)
Präsenzstudium (h)56.25
Selbststudium (h)93.75
VerpflichtungPflichtmodul
Abschlussschriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
Details zum Abschluss
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Master Micro- and Nanotechnologies 2021
ModulnameMicrosystems Technology
Prüfungsnummer2300810
Leistungspunkte5
Präsenzstudium (h)56
Selbststudium (h)94
VerpflichtungPflichtmodul
Abschlussschriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
Details zum Abschluss
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl