Technische Universität Ilmenau

Mikrosystemtechnik - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu unseren Studiengängen. Rechtlich verbindliche Angaben zum Verlauf des Studiums entnehmen Sie bitte dem jeweiligen Studienplan (Anlage zur Studienordnung). Bitte beachten Sie diesen rechtlichen Hinweis. Angaben zum Raum und Zeitpunkt der einzelnen Lehrveranstaltungen entnehmen Sie bitte dem aktuellen Vorlesungsverzeichnis.

Modulinformationen zum Modul Mikrosystemtechnik im Studiengang Bachelor Mechatronik 2013 , polyvalenter Bachelor Polyvalenter Bachelor mit Lehramtsoption für berufsbildende Schulen - Elektrotechnik 2013 (MR), polyvalenter Bachelor Polyvalenter Bachelor mit Lehramtsoption für berufsbildende Schulen - Metalltechnik 2013 (MR)
ModulnameMikrosystemtechnik
Modulnummer100242
FakultätFakultät für Maschinenbau
Fachgebietsnummer 2342 (Mikromechanische Systeme)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Steffen Strehle
Leistungspunkte5
VerpflichtungPflicht
Voraussetzungen
ModulabschlussEinzelleistungen
Details zum Abschluss
Lernergebnisse

Die Studierenden können die Technik der Skalierung anwenden und sind in der Lage, die Auswirkungen einer Vergrößerung / Verkleinerung auf einen physikalischen Zusammenhang einzuschätzen.  Sie kennen die Grundlagen der Kennzahlen. Ihnen gelingt es, eigenständig beliebige Prinzipien gegeneinander abzuwägen und den System-Skalierungsfaktor eines technischen Systems zu abzuschätzen.


Die Studierenden kennen die wichtigsten Materialien und Prinzipien der Dünnschichttechnik, sowohl als beschichtende als auch als strukturierende Verfahren. Sie können die unterschiedlichen Verfahren einordnen. Sie sind in der Lage, einen einfachen Prozessablauf aufzustellen und können geeignete Prozessschritte auswählen. 

Das Modul beinhaltet die folgenden Fächer:
Mikrotechnologie 1
Leistungspunkte5
VerpflichtungPflicht
Fachabschlussschriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
Turnusganzjährig

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modul- und Fachbeschreibungen durch den Modul- oder Fachverantwortlichen finden Sie auf den Infoseiten zum Modulkatalog.