Technische Universit├Ąt Ilmenau

vacuum technology - Modultafeln of TU Ilmenau

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subject properties vacuum technology in major Bachelor Elektrotechnik und Informationstechnik 2013
subject number100643
examination number95120
departmentDepartment of Electrical Engineering and Information Technology
ID of group 2142 (Nanotechnology Group)
subject leaderProf. Dr. Heiko Jacobs
term unbekannt
language
credit points5
on-campus program (h)45
self-study (h)105
Obligationobligatory elective
exammultiple performances
details of the certificate
Signup details for alternative examinations
maximum number of participants
previous knowledge and experience
learning outcome

Mit der Vakuumtechnik wird der Ingenieur in vielen Einsatzbereichen konfrontiert. Für viele technologische Prozesse und analytischeVerfahren ist die Vakuumtechnik unverzichtbar. Insbesondere für technologische Verfahren der Mikro- und Nanotelektronik gewinnen die Vakuumverfahren zunehmend an Bedeutung. Die Kenntnis der physikalischen Grundlagen und das vermittelte anwendungsorientierte Wissen zur Vakuumerzeugung und -messung, zur Werkstoffauswahl und Apparategestaltung befähigt den Zuhörer, im späteren Einsatz vakuumtechnische Fragestellungen effizient zu bearbeiten. Die Vorlesung vermittelt Inhalte über alle Vakuumbereiche vom Grobvakuum bis hin zum Ultrahochvakuum und lehrt unter anderem den Umgang mit und die Bedienung von Vakuumapparaturen. Die Vorlesung wird durch ein Seminar zur Vakuumtechnik ergänzt.

Verantwortlich: Dr. G. Ecke

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literature / references
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