Technische Universität Ilmenau

Micro- and nanosystems technology - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modulbeschreibungen durch die Modulverantwortlichen finden Sie unter Modulpflege.

Hinweise zu fehlenden oder fehlerhaften Modulbeschreibungen senden Sie bitte direkt an modulkatalog@tu-ilmenau.de.

Modulinformationen zu Micro- and nanosystems technology im Studiengang Diplom Elektrotechnik und Informationstechnik 2017
Modulnummer5627
Prüfungsnummer2100565
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer 2143 (Mikro- und nanoelektronische Systeme)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Martin Ziegler
TurnusWintersemester
Spracheenglisch
Leistungspunkte5
Präsenzstudium (h)45
Selbststudium (h)105
VerpflichtungWahlmodul
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Vorkenntnisse

Participation in the course "Micro and nano sensor technology"

Lernergebnisse und erworbene Kompetenzen

Students acquire an overview on basic and background of micro- and nanosystem technology, devices and fabrication technology. They aquire knowledge to understand original literature, to design and use micro devices.

Inhalt
  • Requirements of micro- and nanotechnology;
  • material properties and choice of materials;
  • physical and engineering backgrounds of microsystem technology;
  • fabrication and functionality of miniature sensors or actuators based on selected examples
Medienformen

Overhead projector, beamer, blackboard

Literatur

B. Heimann, W. Gerth, K. Popp: Mechatronik; Hanser Verlag München, 1998

S. E. Lyschevski: Nano- and micromechanical systems, CRC Press, 2005

Gerald Gerlach, Wolfram Dötzel, Einführung in die Mikrosystemtechnik, Hanser, München-Wien 2006

G. Gerlach, W. Dötzel, Introduction to Microsystem Technology, Wiley & Sons, 2008

W. Menz, J. Mohr, O. Paul, Mikrosystemtechnik für Ingenieure, Weinheim, Wiley-VCH, 3. Auflage (2005)

U. Mescheder, Mikrosystemtechnik, Wiesbaden, Teubner, 2. Auflage (2004)

M. Glück, MEMS in der Mikrosystemtechnik, Wiesbaden, Teubner (2005)

Friedemann Völklein, Praxiswissen Mikrosystemtechnik : Grundlagen, Technologien, Anwendungen. Wiesbaden, Vieweg (2006)

Friedemann Völklein, Einführung in die Mikrosystemtechnik : Grundlagen und Praxisbeispiele. Braunschweig, Vieweg (2000)

Werner Karl Schomburg, Introduction to Microsystem Design, Springer, Berlin-Heidelberg 2015

Nam-Trung Nguyen, Mikrofluidik, Teubner, Wiesbaden 2004

Nguyen/Wereley, Fundamentals and Applications of Microfluidics, Artech House, Boston-London 2002

Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation: