Micro- and semiconductor technology 2 - Interactive curriculae of TU Ilmenau
The interactive curriculae provide information on the degree programmes offered by the TU Ilmenau.
Please refer to the respective study and examination rules and regulations for the legally binding curricula (Annex Curriculum).
You can find all details on planned lectures and classes in the course catalogue.
Please note that this page is no longer updated. All modules and study plans from PO version 2021 onwards (Bachelor and Master study programs) are now available on the Campus Portal.
| module properties Micro- and semiconductor technology 2 in degree program Master Elektrotechnik und Informationstechnik 2014 (MNE) | ||
|---|---|---|
| module name | Micro- and semiconductor technology 2 | |
| module number | 100714 | |
| department | Department of Electrical Engineering and Information Technology | |
| ID of group | 2142 (Nanotechnology) | |
| module leader | Prof. Dr. Heiko Jacobs | |
| credit points | 5 | |
| obligation | obligatory module | |
| requirements | Grundkenntnisse in Physik, Chemie und den Funktionsweisen von elektronischen Bauelementen und integrierten Schaltkreisen. Kenntnisse des Schaltkreisentwurfes. Kenntnisse der Einzelprozesse der Mikro- und Halbleitertechnologie. | |
| certificate of the module | Individual achievements or exams | |
| details of the certificate | aPL (alternative Prüfungsleistung) | |
| link to Moodle course | ||
| teacher | ||
| signup details for alternative examinations | ||
| learning outcome | Vermittlung der Anwendung der Einzelprozesse in der Mikro- und Halbleitertechnolgie auf ihre Integration für die Herstellung von Herstellung von Halbleiterbauelementen, integrierten Schaltkreisen, Sensor- und Mikrosystemen. Auf der Grundlage des Verständnisses der physikalisch, chemischen und materialwissenschaftlichen Grundlagen der technologischen Einzelprozesse wird die Befähigungen vermittelt, diese auf komplexe halbleitertechnologische Prozesse anzuwenden, sie zu analysieren, und neue Verfahrensabläufe zu synthetisieren. | |
| The module contains the following subjects: | ||
| Micro- and semiconductor technology 2 | ||
| credit points | 5 | |
| obligation | obligatory module | |
| certificate of the module | written examination performance, 120 minutes | |
| term | Sommersemester | |