Technische Universität Ilmenau

Mikrotechnologie - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modulbeschreibungen durch die Modulverantwortlichen finden Sie unter Modulpflege.

Hinweise zu fehlenden oder fehlerhaften Modulbeschreibungen senden Sie bitte direkt an modulkatalog@tu-ilmenau.de.

Modulinformationen zu Mikrotechnologie im Studiengang Bachelor Maschinenbau 2013
Modulnummer1607
Prüfungsnummer2300031
FakultätFakultät für Maschinenbau
Fachgebietsnummer 2342 (Mikrosystemtechnik)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Steffen Strehle
TurnusSommersemester
SpracheDeutsch
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)86
VerpflichtungPflichtmodul
Abschlussschriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
Details zum Abschluss
Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen

elektronische Abschlussleistung entsprechend § 6a PStO-AB (schriftlich)

Technische Hilfsmittel: Moodle-Zugriff, Webcam, Scanner bzw. Kamera (Handyfoto)

Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
VorkenntnisseGute Kenntnisse der Physik
Lernergebnisse und erworbene Kompetenzen

Die Studierenden sind in der Lage die Mikrosystemtechnik in die Technologien der Mechatronik und des Maschinenbaus einzuordnen. Sie analysieren und bewerten Fertigungsprozesse und sind in der Lage, einfache Prozessabläufe selbst aufzustellen.

Sie können selbständig die Systemskalierung eines technischen Systems ermitteln. Sie können gegebene Anwendungsbeispiele einordnen und neue Applikationen daraus gezielt synthetisieren.

Inhalt

Das Prinzip der Skalierung

Skalierung physikalischer Gesetze

- Anwendung des Skalierungsfaktors

Skalierung von Materialeigenschaften

- Mikro- und Nanokristallinität

- Rand- und Oberflächeneffekte

Systemeinflüsse

- systemische Betrachtungen an ausgewählten Beispielen

Materialien der Dünnschichttechnik und ihre Eigenschaften

- Silicium als mechanisches Material

- Leitende, isolierende und halbleitende Dünnschichten

Grundlagen der Dünnschichttechnik

- Reinraumtechnik

- Vakuum & Freie Weglänge

- nicht-thermisches Plasma

Umwandelnde Verfahren

- thermische Oxidation

Beschichtende Verfahren

- Physikalische Gasphasenabscheidung

- Chemische Gasphasenabscheidung

Fotolithografie

Ätzverfahren

- Trockenätzverfahren

- Ionenstrahl-Verfahren

Medienformen und technische Anforderungen bei Lehr- und Abschlussleistungen in elektronischer Form

Präsentation & Tafel

Foliensatz der Präsentation (kein vollständiges Skript!)

Moodle

Literatur

G. Gerlach, W. Dötzel: Einführung in die Mikrosystemtechnik - Ein Kursbuch für Studierende, Hanser-Verlag 2006 (auch in Englisch verfügbar als "Introduction to Miicrosystem Technology", Wiley 2008)

M. Elwenspoek, H.V. Jansen "Silicon Micromachining", Cambridge Univ. Press 1998;

W.Menz, P.Bley "Mikrosystemtechnik für Ingenieure", VCH-Verlag Weinheim 1993

Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

SS 2017 (Fach)

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

SS 2017