Mikrosystemtechnik - Interaktive Studienpläne der TU Ilmenau

Die Interaktiven Studienpläne sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Bitte beachten Sie, dass auf dieser Seite keine Aktualisierungen mehr vorgenommen werden. Alle Module und Studienpläne ab der PO-Version 2021 (Bachelor- und Master-Studiengänge) sind ab sofort im Campus-Portal erreichbar.

Modulinformationen zu Mikrosystemtechnik im Studiengang Diplom Maschinenbau 2017
Modulnummer	200329
Prüfungsnummer	2300804
Fakultät	Fakultät für Maschinenbau
Fachgebietsnummer	2342 (Mikrosystemtechnik)
Modulverantwortliche(r)	Prof. Dr. Steffen Strehle
Turnus	Wintersemester
Sprache	Deutsch
Leistungspunkte	5
Präsenzstudium (h)	56
Selbststudium (h)	94
Verpflichtung	Wahlmodul
Abschluss	schriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
Details zum Abschluss
Link zum Moodle-Kurs
Lehrende	Prof. Strehle & Mitarbeiter
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Vorkenntnisse	Grundkenntnisse der Mikrosystemtechnik, der Technischen Mechanik, und der Werkstoffe
Lernergebnisse und erworbene Kompetenzen	Die Studierenden kennen nach Vorlesung und Übungen grundlegende Mikrosysteme und Mikrotechnologien und können hierauf aufbauend vertieftes Wissen vorweisen. Die Studierenden sind in der Lage moderne Verfahren der Mikro- und Nanostrukturierung zu benennen und hinsichtlich ihrer Bedeutung für die Herstellung von Mikrosystemen zu diskutieren und z.T. mit Modellen zu beschreiben. Die Studierenden kennen die Arbeitsprinzipien und Anwendungsbereiche verschiedener moderner Mikrosysteme und sind auch mit den gegenwärtigen Forschungserkenntnissen und -richtungen vertraut. Darüber hinaus sind die Studierenden in der Lage komplexere technologische Abläufe für die Herstellung moderner Mikrosysteme als auch ausgewählte Mikrosysteme selbst zu entwerfen. Hierbei können sie Aspekte der Systemgestaltung, der Materialwahl, technologische Arbeitsabläufe, eine industrielle Realisierbarkeit als auch Aspekte der Nachhaltigkeit kritisch, z.T. basierend auf Berechnungen, diskutieren. Neben konventionellen Mikrotechnologien und Materialien sind die Studierenden auch in der Lage, neuartige Ansätze zu nennen und in ihrem Anwendungspotential zu evaluieren.
Inhalt	1. Einführung und Übersicht 2. Materialien und Technologien der Mikrosystemtechnik Übersicht über Basismaterialien und -technologien Materialien: Silizium Glas, Glaskeramik, Siliziumkarbid, Materialverbünde Plasmabasierte Mikrostrukturierung komplexer Materialsysteme Einführung in Verbundsubstrate und LTCC-Technologie Vom Chip zum Produkt: Überblick zu Bondverfahren / Aufbau- und Verbindungstechnik Atomlageabscheidung und Atomlagenätzung Nanoimprint- und extreme UV-Lithographie Umweltaspekte in der Mikro- und Nanotechnologie 3. Prozessoptimierung und Mikrosysteme Prozessoptimierung durch Einsatz statistischer Verfahren Design, Simulation und mikrotechnologische Arbeitsabläufe Besprechung spezifischer Mikrosysteme mikrotechnische Fertigung und Optimierungen aus industrieller Sicht
Medienformen und technische Anforderungen bei Lehr- und Abschlussleistungen in elektronischer Form	Anschrieb (Tafel/elektronisch) Folien, Videos, Moodle, ...
Literatur	Literaturempfehlungen werden während der Vorlesung gegeben
Lehrevaluation