Microsystems Technology - Interactive curriculae of TU Ilmenau

The interactive curriculae provide information on the degree programmes offered by the TU Ilmenau.

Please refer to the respective study and examination rules and regulations for the legally binding curricula (Annex Curriculum).

You can find all details on planned lectures and classes in the course catalogue.

Please note that this page is no longer updated. All modules and study plans from PO version 2021 onwards (Bachelor and Master study programs) are now available on the Campus Portal.

module properties Microsystems Technology in degree program Master Maschinenbau 2017
module number	200329
examination number	2300804
department	Department of Mechanical Engineering
ID of group	2342 (Microsystems Technology)
module leader	Prof. Dr. Steffen Strehle
term	winter term only
language	Deutsch
credit points	5
on-campus program (h)	56
self-study (h)	94
obligation	elective module
exam	written examination performance, 90 minutes
details of the certificate
link to Moodle course
teacher	Prof. Strehle & Mitarbeiter
signup details for alternative examinations
maximum number of participants
previous knowledge and experience	Grundkenntnisse der Mikrosystemtechnik, der Technischen Mechanik, und der Werkstoffe
learning outcome	Die Studierenden kennen nach Vorlesung und Übungen grundlegende Mikrosysteme und Mikrotechnologien und können hierauf aufbauend vertieftes Wissen vorweisen. Die Studierenden sind in der Lage moderne Verfahren der Mikro- und Nanostrukturierung zu benennen und hinsichtlich ihrer Bedeutung für die Herstellung von Mikrosystemen zu diskutieren und z.T. mit Modellen zu beschreiben. Die Studierenden kennen die Arbeitsprinzipien und Anwendungsbereiche verschiedener moderner Mikrosysteme und sind auch mit den gegenwärtigen Forschungserkenntnissen und -richtungen vertraut. Darüber hinaus sind die Studierenden in der Lage komplexere technologische Abläufe für die Herstellung moderner Mikrosysteme als auch ausgewählte Mikrosysteme selbst zu entwerfen. Hierbei können sie Aspekte der Systemgestaltung, der Materialwahl, technologische Arbeitsabläufe, eine industrielle Realisierbarkeit als auch Aspekte der Nachhaltigkeit kritisch, z.T. basierend auf Berechnungen, diskutieren. Neben konventionellen Mikrotechnologien und Materialien sind die Studierenden auch in der Lage, neuartige Ansätze zu nennen und in ihrem Anwendungspotential zu evaluieren.
content	1. Einführung und Übersicht 2. Materialien und Technologien der Mikrosystemtechnik Übersicht über Basismaterialien und -technologien Materialien: Silizium Glas, Glaskeramik, Siliziumkarbid, Materialverbünde Plasmabasierte Mikrostrukturierung komplexer Materialsysteme Einführung in Verbundsubstrate und LTCC-Technologie Vom Chip zum Produkt: Überblick zu Bondverfahren / Aufbau- und Verbindungstechnik Atomlageabscheidung und Atomlagenätzung Nanoimprint- und extreme UV-Lithographie Umweltaspekte in der Mikro- und Nanotechnologie 3. Prozessoptimierung und Mikrosysteme Prozessoptimierung durch Einsatz statistischer Verfahren Design, Simulation und mikrotechnologische Arbeitsabläufe Besprechung spezifischer Mikrosysteme mikrotechnische Fertigung und Optimierungen aus industrieller Sicht
media of instruction and technical requirements for education and examination in case of online participation	Anschrieb (Tafel/elektronisch) Folien, Videos, Moodle, ...
literature / references	Literaturempfehlungen werden während der Vorlesung gegeben
evaluation of teaching