Nano- und optoelektronische Messtechnik - Interaktive Studienpläne der TU Ilmenau
Die Interaktiven Studienpläne sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.
Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).
Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.
Bitte beachten Sie, dass auf dieser Seite keine Aktualisierungen mehr vorgenommen werden. Alle Module und Studienpläne ab der PO-Version 2021 (Bachelor- und Master-Studiengänge) sind ab sofort im Campus-Portal erreichbar.
| Modulinformationen zu Nano- und optoelektronische Messtechnik im Studiengang Master Maschinenbau 2017 | |
|---|---|
| Modulnummer | 201191 |
| Prüfungsnummer | 2300837 |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau |
| Fachgebietsnummer | 2374 (Nanofabrikations- und Nanomesstechnik) |
| Modulverantwortliche(r) | Prof. Dr. Thomas Kissinger |
| Turnus | Wintersemester |
| Sprache | Deutsch |
| Leistungspunkte | 5 |
| Präsenzstudium (h) | 45 |
| Selbststudium (h) | 105 |
| Verpflichtung | Wahlmodul |
| Abschluss | mündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten |
| Details zum Abschluss | |
| Link zum Moodle-Kurs | https://moodle.tu-ilmenau.de/course/view.php?id=2139 |
| Lehrende | Jun.-Prof. Dr. Thomas Kissinger |
| Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL | |
| max. Teilnehmerzahl | |
| Vorkenntnisse | Kenntnisse aus den Lehrveranstaltungen "Einführung in die Mess- und Sensortechnik" bzw. "Prozessmess- und Sensortechnik" sowie "Fertigungs- und Lasermesstechnik". |
| Lernergebnisse und erworbene Kompetenzen | Nach dem Besuch der Lehrveranstaltungen sind die Studierenden in der Lage, das Gebiet der dimensionellen Messungen im Nanometerbereich hinsichtlich Aufbau, Funktion und Eigenschaften der Geräte und Verfahren sowie der aktuellen Messmöglichkeiten und der Sicherung einheitlicher Messungen in diesem Bereich der Messtechnik auf nationaler und internationaler Ebene zu analysieren und zu beschreiben. Sie kennen das Gebiet der optoelektronischen Mess- und Sensortechnik von den physikalischen und metrologischen Grundlagen über Eigenschaften und Funktionsweisen von Komponenten und Anwendungsbereiche der Messverfahren und -prinzipien. Sie können die Vor- und Nachteile der vorgestellten Messverfahren diskutieren bis hin zum Kostenfaktor. Die Studierenden können in bestehenden Messanordnungen optoelektronische Komponenten erkennen und bewerten. Die Studierenden sind fähig, zur Lösung einer Messaufgabe geeignete optoelektronische Messverfahren, -geräte oder Komponenten auszuwählen und entsprechende Messunsicherheitsabschätzungen zu unternehmen. |
| Inhalt | Das Modul gliedert sich in die Teilvorlesungen Nanomesstechnik (~30%) und Optoelektronische Messtechnik (~70%). In der Teilvorlesung "Nanomesstechnik" werden der wissenschaftliche Hintergrund und ausgewählte Beispiele zur Nanotechnologie für dimensionelle Messgrößen und andere Messungen im Nanometerbereich behandelt. Dazu zählen Nanopositionier- und Nanomessmaschinen als Grundlage zur Nanopositionierung in großen Messbereichen sowie verschiedene Mess-/Tastsysteme wie Rastersonden- und Rasterelektronenmikroskope. Weiterhin werden Grundlagen zu klassischer Lithographie, deren Grenzen und neue Ansätze zur Nanofertigung vorgestellt. Diese schließt insbesondere Verfahren zur dreidimensionalen Fertigung ein. Dabei werden auch Möglichkeiten zur Rückführbarkeit von Messergebnissen im Nanobereich, Kalibrierungen und Konsistenz von Ergebnissen aus Maßvergleichen (Ringvergleichen) diskutiert. In der Teilvorlesung "Optoelektronische Messtechnik" werden zunächst die Grundlagen wichtiger Messsystemkomponenten (z.B. Laser, Photodetektoren, Kameras und Glasfasern) besprochen. Darauffolgend werden spezifische Methoden der optischen Entfernungsmessung, speziell in Hinblick auf Höchstpräzisionsmessungen (Encoder, Interferometer usw.) behandelt. Im letzten Teil der Vorlesung wird dann ein breiterer Überblick über Anwendungen der optoelektronischen Messtechnik in unterschiedlichsten Bereichen (z.B. in der 3D-Messtechnik, Profilometrie, bildgebenden oder spektralen Verfahren) vermittelt. |
| Medienformen und technische Anforderungen bei Lehr- und Abschlussleistungen in elektronischer Form | Nutzung von Tafel und Beamer/Präsentationssoftware während Vorlesungen; Lehrmaterialien mit Skizzen der Messprinzipien und -geräte werden auch im Moodle zur Verfügung gestellt. |
| Literatur | Literatur wird während der Vorlesung genannt / die Präsentation enthält Quellennachweise |
| Lehrevaluation | |