Technische Universität Ilmenau

Nanomesstechnik - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modulbeschreibungen durch die Modulverantwortlichen finden Sie unter Modulpflege.

Hinweise zu fehlenden oder fehlerhaften Modulbeschreibungen senden Sie bitte direkt an modulkatalog@tu-ilmenau.de.

Modulinformationen zu Nanomesstechnik im Studiengang Master Maschinenbau 2017
Modulnummer7424
Prüfungsnummer2300192
FakultätFakultät für Maschinenbau
Fachgebietsnummer 2371 (Fertigungs- und Präzisionsmesstechnik)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Eberhard Manske
TurnusSommersemester
SpracheDeutsch
Leistungspunkte2
Präsenzstudium (h)11
Selbststudium (h)49
VerpflichtungPflichtmodul
Abschlussschriftliche Prüfungsleistung, 45 Minuten
Details zum Abschluss
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
VorkenntnisseBachelor Technik (GIG)
Mess- und Sensortechnik 2V/1S/1P
Lernergebnisse und erworbene KompetenzenDie Studierenden überblicken das Gebiet der dimensionellen Messungen im Nanometerbereich hinsichtlich Aufbau, Funktion und Eigenschaften der Geräte und Verfahren sowie der aktuellen Messmöglichkeiten und der Sicherung einheitlicher Messungen in diesem Bereich der Messtechnik auf nationaler und internationaler Ebene.
Mit der Lehrveranstaltung erwerben die Studierenden zu etwa 60% Fachkompetenz. Die verbleibenden 40% verteilen sich mit variierenden Anteilen auf Methoden-, System- und Sozialkompetenz. Sozialkompetenz erwächst aus praktischen Beispielen in der Vorlesung zur Gesamtproblematik Nanomesstechnik.
InhaltNanotechnologie / Nanomesstechnik heute und morgen: Wissenschaftlicher Hintergrund und ausgewählte Beispiele zur Nanotechnologie
Techniken für dimensionelle und andere Messungen im Nanometerbereich
Rastertunnelmikroskopie und aus ihr abgeleitete Rastersondenmikroskopie / Konsistenz von Ergebnissen aus aktuellen Maßvergleichen / gegenwärtige Erschließung von 3D-Messungen an Objekten der Mikrotechnik / Mikro-Tomographie.
Rasterelektronenmikroskopie / ausgewählte Anwendungen für dimensionelle Messungen /„metrologische Rasterelektronenmikroskope“
Röntgenreflektometrie /Anwendungen auf Schichten im Nanometerbereich
Medienformen

Zugang zum Moodle-Kurs mit allen Informationen und Kursmaterialien:

Kurs: Nanomesstechnik (tu-ilmenau.de)

LiteraturLiteratur wird während der Vorlesung genannt / die Präsentation enthält Quellennachweise
tm - Technisches Messen Vol. 76, No. 5, 05/2009
International Conference on Precision Measurement (ICPM2008) Part 1:
Nanomeasuring and Nanopositioning Technology
Nanoscale Calibration, Standards and Methods - Dimensional and Related
Measurements in the Micro- and Nanometer Range; Wiley-VHC Verlag GmbH
& Co. KGaA, Weinheim, Edition: Wilkening, Günter; Koenders, Ludger; 2005
ISBN 3-527-40502-X
K. Hasche, W. Mirande, G. Wilkening (Eds.)2001PTB-F-39: Proceedings of the
4th Seminar on Quantitative Microscopy QM 2000 Wirtschaftsverlag NW
ISBN 3-89701-503-X
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation: