Mikrosystemtechnik - Interaktive Studienpläne der TU Ilmenau
Die Interaktiven Studienpläne sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.
Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).
Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.
Bitte beachten Sie, dass auf dieser Seite keine Aktualisierungen mehr vorgenommen werden. Alle Module und Studienpläne ab der PO-Version 2021 (Bachelor- und Master-Studiengänge) sind ab sofort im Campus-Portal erreichbar.
| Modulinformationen zu Mikrosystemtechnik im Studiengang Master Maschinenbau 2022 | |
|---|---|
| Modulnummer | 200329 |
| Prüfungsnummer | 2300804 |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau |
| Fachgebietsnummer | 2342 (Mikrosystemtechnik) |
| Modulverantwortliche(r) | Prof. Dr. Steffen Strehle |
| Turnus | Wintersemester |
| Sprache | Deutsch |
| Leistungspunkte | 5 |
| Präsenzstudium (h) | 56 |
| Selbststudium (h) | 94 |
| Verpflichtung | Wahlmodul |
| Abschluss | schriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten |
| Details zum Abschluss | |
| Link zum Moodle-Kurs | |
| Lehrende | Prof. Strehle & Mitarbeiter |
| Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL | |
| max. Teilnehmerzahl | |
| Vorkenntnisse | Grundkenntnisse der Mikrosystemtechnik, der Technischen Mechanik, und der Werkstoffe |
| Lernergebnisse und erworbene Kompetenzen | Die Studierenden kennen nach Vorlesung und Übungen grundlegende Mikrosysteme und Mikrotechnologien und können hierauf aufbauend vertieftes Wissen vorweisen. Die Studierenden sind in der Lage moderne Verfahren der Mikro- und Nanostrukturierung zu benennen und hinsichtlich ihrer Bedeutung für die Herstellung von Mikrosystemen zu diskutieren und z.T. mit Modellen zu beschreiben. Die Studierenden kennen die Arbeitsprinzipien und Anwendungsbereiche verschiedener moderner Mikrosysteme und sind auch mit den gegenwärtigen Forschungserkenntnissen und -richtungen vertraut. Darüber hinaus sind die Studierenden in der Lage komplexere technologische Abläufe für die Herstellung moderner Mikrosysteme als auch ausgewählte Mikrosysteme selbst zu entwerfen. Hierbei können sie Aspekte der Systemgestaltung, der Materialwahl, technologische Arbeitsabläufe, eine industrielle Realisierbarkeit als auch Aspekte der Nachhaltigkeit kritisch, z.T. basierend auf Berechnungen, diskutieren. Neben konventionellen Mikrotechnologien und Materialien sind die Studierenden auch in der Lage, neuartige Ansätze zu nennen und in ihrem Anwendungspotential zu evaluieren. |
| Inhalt | 1. Einführung und Übersicht 2. Materialien und Technologien der Mikrosystemtechnik
3. Prozessoptimierung und Mikrosysteme
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| Medienformen und technische Anforderungen bei Lehr- und Abschlussleistungen in elektronischer Form | Anschrieb (Tafel/elektronisch) Folien, Videos, Moodle, ... |
| Literatur | Literaturempfehlungen werden während der Vorlesung gegeben |
| Lehrevaluation | |