Technische Universität Ilmenau

Mikrosystemtechnik - Interaktive Studienpläne der TU Ilmenau

Die Interaktiven Studienpläne sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Bitte beachten Sie, dass auf dieser Seite keine Aktualisierungen mehr vorgenommen werden. Alle Module und Studienpläne ab der PO-Version 2021 (Bachelor- und Master-Studiengänge) sind ab sofort im Campus-Portal erreichbar.

Modulinformationen zum Modul Mikrosystemtechnik im Studiengang Bachelor Mechatronik 2013
ModulnameMikrosystemtechnik
Modulnummer100242
FakultätFakultät für Maschinenbau
Fachgebietsnummer 2342 (Mikrosystemtechnik)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Steffen Strehle
Leistungspunkte5
VerpflichtungPflichtmodul
Voraussetzungen
ModulabschlussEinzelleistungen
Details zum Abschluss
Link zum Moodle-Kurs
Lehrende
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
Lernergebnisse und erworbene Kompetenzen

Die Studierenden können die Technik der Skalierung anwenden und sind in der Lage, die Auswirkungen einer Vergrößerung / Verkleinerung auf einen physikalischen Zusammenhang einzuschätzen.  Sie kennen die Grundlagen der Kennzahlen. Ihnen gelingt es, eigenständig beliebige Prinzipien gegeneinander abzuwägen und den System-Skalierungsfaktor eines technischen Systems zu abzuschätzen.


Die Studierenden kennen die wichtigsten Materialien und Prinzipien der Dünnschichttechnik, sowohl als beschichtende als auch als strukturierende Verfahren. Sie können die unterschiedlichen Verfahren einordnen. Sie sind in der Lage, einen einfachen Prozessablauf aufzustellen und können geeignete Prozessschritte auswählen. 

Das Modul beinhaltet die folgenden Fächer:
Mikrotechnologie 1
Leistungspunkte5
VerpflichtungPflichtmodul
Modulabschlussschriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
Turnusganzjährig