Technische Universität Ilmenau

Micro system technology - Modultafeln of TU Ilmenau

The module lists provide information on the degree programmes offered by the TU Ilmenau.

Please refer to the respective study and examination rules and regulations for the legally binding curricula (Annex Curriculum).

You can find all details on planned lectures and classes in the electronic university catalogue.

Information and guidance on the maintenance of module descriptions by the module officers are provided at Module maintenance.

Please send information on missing or incorrect module descriptions directly to modulkatalog@tu-ilmenau.de.

module properties Micro system technology in degree program Bachelor Mechatronik 2013
module nameMicro system technology
module number100242
departmentDepartment of Mechanical Engineering
ID of group 2342 (Microsystems Technology)
module leaderProf. Dr. Steffen Strehle
credit points5
obligationobligatory module
requirements
certificate of the module Individual achievements or exams
details of the certificate
signup details for alternative examinations
learning outcome

Die Studierenden können die Technik der Skalierung anwenden und sind in der Lage, die Auswirkungen einer Vergrößerung / Verkleinerung auf einen physikalischen Zusammenhang einzuschätzen.  Sie kennen die Grundlagen der Kennzahlen. Ihnen gelingt es, eigenständig beliebige Prinzipien gegeneinander abzuwägen und den System-Skalierungsfaktor eines technischen Systems zu abzuschätzen.


Die Studierenden kennen die wichtigsten Materialien und Prinzipien der Dünnschichttechnik, sowohl als beschichtende als auch als strukturierende Verfahren. Sie können die unterschiedlichen Verfahren einordnen. Sie sind in der Lage, einen einfachen Prozessablauf aufzustellen und können geeignete Prozessschritte auswählen. 

The module contains the following subjects:
Micro Fabrication 1
credit points5
obligationobligatory module
certificate of the modulewritten examination performance, 90 minutes
term ganzjährig