MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) - Interactive curriculae of TU Ilmenau

The interactive curriculae provide information on the degree programmes offered by the TU Ilmenau.

Please refer to the respective study and examination rules and regulations for the legally binding curricula (Annex Curriculum).

You can find all details on planned lectures and classes in the course catalogue.

Please note that this page is no longer updated. All modules and study plans from PO version 2021 onwards (Bachelor and Master study programs) are now available on the Campus Portal.

module properties MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) in degree program Master Mechatronik 2017 ATTENTION: not offered anymore
module number	5984
examination number	2300216
department	Department of Mechanical Engineering
ID of group	2342 (Microsystems Technology)
module leader	Prof. Dr. Steffen Strehle
term	winter term only
language	Deutsch
credit points	4
on-campus program (h)	34
self-study (h)	86
obligation	obligatory module
exam	written examination performance, 90 minutes
details of the certificate
link to Moodle course
teacher
signup details for alternative examinations
maximum number of participants
previous knowledge and experience	Grundlagen-Kenntnisse in Mikrotechnik, Mikrosensorik und / oder Mikroaktorik
learning outcome	Es können die systemspezifischen Randbedingungen für den Einsatz von MEMS in Rückkopplung mit der Mikrotechnologie diskutiert werden. Hierzu gehören insbesondere Zuverlässigkeitsanforderungen, Schnittstellen zur Makrowelt und Aspekte der Aufbau- und Verbindungstechnik. Die Studenten sind in die Lage, neue Mikrosysteme anhand von Anforderungsprofilen zu planen und dabei ungeeignete Ansätze bereits frühzeitig auszusortieren. Beispiele von MEMS in unterschiedlichen Bereichen, die bereits kommerziell eingesetzt werden, wie z.B. Drucksensoren, Inertialsensoren, Gasdetektoren können bzgl. Funktion, Aufbau und mikrotechnologischer Herstellung beschrieben werden. Den Studenten sind neue fortschrittliche Mikrotechnologien bekannt und sie können auch Methoden zur System- und Prozessoptimierung nennen und bzgl. der Einsatzpotentials diskutieren.
content	Spezielle Materialien und Technologien der Mikrosystemtechnik, wie z.B.: Komplexe Materialsysteme und deren Strukturierung (z.B. Gläser und Glaskeramiken) Verbundsubstrate Aufbau und Verbindungstechnik ALD, ALE Prozessoptimierung und Systemdesign Prozessoptimierung mit Design of Experiment (DoE) MEMS Simulation mit finiten Elementen (FEM) Workflow zur Herstellung eines mikromechanischen Systems Ausgewählte Systeme der Mikrosystemtechnik Mikrooptische Systeme in Glas aktive und passive Mikrosensoren für unterschiedliche Anwendungen (z.B. Gasdetektion, Beschleunigungsereignisse, Temperatur) Electrowetting Systeme
media of instruction and technical requirements for education and examination in case of online participation	Anschrieb (Tafel/elektronisch), Folien, Videos Vorlesungen: E-Learning Übungen: Hybrid-Veranstaltung Nähere Informationen sind auf Moodle zu finden.
literature / references	G. Gerlach, W. Dötzel, Einführung in die Mikrosystemtechnik, Hanser-Verlag 2006 F. Völklein, T. Zetterer, Praxiswissen Mikrosystemtechnik, 2. Auflage, Vieweg 2006
evaluation of teaching