MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) - Interaktive Studienpläne der TU Ilmenau

Die Interaktiven Studienpläne sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Bitte beachten Sie, dass auf dieser Seite keine Aktualisierungen mehr vorgenommen werden. Alle Module und Studienpläne ab der PO-Version 2021 (Bachelor- und Master-Studiengänge) sind ab sofort im Campus-Portal erreichbar.

Modulinformationen zu MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) im Studiengang Master Mechatronik 2017 ACHTUNG: wird nicht mehr angeboten!
Modulnummer	5984
Prüfungsnummer	2300216
Fakultät	Fakultät für Maschinenbau
Fachgebietsnummer	2342 (Mikrosystemtechnik)
Modulverantwortliche(r)	Prof. Dr. Steffen Strehle
Turnus	Wintersemester
Sprache	Deutsch
Leistungspunkte	4
Präsenzstudium (h)	34
Selbststudium (h)	86
Verpflichtung	Pflichtmodul
Abschluss	schriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
Details zum Abschluss
Link zum Moodle-Kurs
Lehrende
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Vorkenntnisse	Grundlagen-Kenntnisse in Mikrotechnik, Mikrosensorik und / oder Mikroaktorik
Lernergebnisse und erworbene Kompetenzen	Es können die systemspezifischen Randbedingungen für den Einsatz von MEMS in Rückkopplung mit der Mikrotechnologie diskutiert werden. Hierzu gehören insbesondere Zuverlässigkeitsanforderungen, Schnittstellen zur Makrowelt und Aspekte der Aufbau- und Verbindungstechnik. Die Studenten sind in die Lage, neue Mikrosysteme anhand von Anforderungsprofilen zu planen und dabei ungeeignete Ansätze bereits frühzeitig auszusortieren. Beispiele von MEMS in unterschiedlichen Bereichen, die bereits kommerziell eingesetzt werden, wie z.B. Drucksensoren, Inertialsensoren, Gasdetektoren können bzgl. Funktion, Aufbau und mikrotechnologischer Herstellung beschrieben werden. Den Studenten sind neue fortschrittliche Mikrotechnologien bekannt und sie können auch Methoden zur System- und Prozessoptimierung nennen und bzgl. der Einsatzpotentials diskutieren.
Inhalt	Spezielle Materialien und Technologien der Mikrosystemtechnik, wie z.B.: Komplexe Materialsysteme und deren Strukturierung (z.B. Gläser und Glaskeramiken) Verbundsubstrate Aufbau und Verbindungstechnik ALD, ALE Prozessoptimierung und Systemdesign Prozessoptimierung mit Design of Experiment (DoE) MEMS Simulation mit finiten Elementen (FEM) Workflow zur Herstellung eines mikromechanischen Systems Ausgewählte Systeme der Mikrosystemtechnik Mikrooptische Systeme in Glas aktive und passive Mikrosensoren für unterschiedliche Anwendungen (z.B. Gasdetektion, Beschleunigungsereignisse, Temperatur) Electrowetting Systeme
Medienformen und technische Anforderungen bei Lehr- und Abschlussleistungen in elektronischer Form	Anschrieb (Tafel/elektronisch), Folien, Videos Vorlesungen: E-Learning Übungen: Hybrid-Veranstaltung Nähere Informationen sind auf Moodle zu finden.
Literatur	G. Gerlach, W. Dötzel, Einführung in die Mikrosystemtechnik, Hanser-Verlag 2006 F. Völklein, T. Zetterer, Praxiswissen Mikrosystemtechnik, 2. Auflage, Vieweg 2006
Lehrevaluation