Micro- and Nano System Technology - Interaktive Studienpläne der TU Ilmenau

Die Interaktiven Studienpläne sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Bitte beachten Sie, dass auf dieser Seite keine Aktualisierungen mehr vorgenommen werden. Alle Module und Studienpläne ab der PO-Version 2021 (Bachelor- und Master-Studiengänge) sind ab sofort im Campus-Portal erreichbar.

Modulinformationen zu Micro- and Nano System Technology im Studiengang Master Micro- and Nanotechnologies 2021
Modulnummer	200521
Prüfungsnummer	2100858
Fakultät	Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer	2143 (Mikro- und nanoelektronische Systeme)
Modulverantwortliche(r)	Dr. Frank Schwierz
Turnus	Wintersemester
Sprache	Englisch
Leistungspunkte	5
Präsenzstudium (h)	45
Selbststudium (h)	105
Verpflichtung	Wahlmodul
Abschluss	schriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
Details zum Abschluss
Link zum Moodle-Kurs
Lehrende	Dr. Volland, Burkhard
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Vorkenntnisse	Participation in the course "Micro and nano sensor technology"
Lernergebnisse und erworbene Kompetenzen	After the lectures and exercises, the students have an overview on basics and background knowledge of micro- and nanosystem technology, devices and fabrication technology. They are able to understand original literature, to design and use micro devices.
Inhalt	Requirements of micro- and nanotechnology; material properties and choice of materials; physical and engineering backgrounds of microsystem technology; fabrication and functionality of miniature sensors or actuators based on selected examples
Medienformen und technische Anforderungen bei Lehr- und Abschlussleistungen in elektronischer Form	Overhead projector, beamer, blackboardl
Literatur	B. Heimann, W. Gerth, K. Popp: Mechatronik; Hanser Verlag München, 1998; S. E. Lyschevski: Nano- and micromechanical systems, CRC Press, 2005; Gerald Gerlach, Wolfram Dötzel, Einführung in die Mikrosystemtechnik, Hanser, München-Wien 2006 G. Gerlach, W. Dötzel, Introduction to Microsystem Technology, Wiley & Sons, 2008 W. Menz, J. Mohr, O. Paul, Mikrosystemtechnik für Ingenieure, Weinheim, Wiley-VCH, 3. Auflage (2005) U. Mescheder, Mikrosystemtechnik, Wiesbaden, Teubner, 2. Auflage (2004) M. Glück, MEMS in der Mikrosystemtechnik, Wiesbaden, Teubner (2005) Friedemann Völklein, Praxiswissen Mikrosystemtechnik : Grundlagen, Technologien, Anwendungen. Wiesbaden, Vieweg (2006) Friedemann Völklein, Einführung in die Mikrosystemtechnik : Grundlagen und Praxisbeispiele. Braunschweig, Vieweg (2000) Werner Karl Schomburg, Introduction to Microsystem Design, Springer, Berlin-Heidelberg 2015 Nam-Trung Nguyen, Mikrofluidik, Teubner, Wiesbaden 2004 Nguyen/Wereley, Fundamentals and Applications of Microfluidics, Artech House, Boston-London 2002
Lehrevaluation