Micro- and Nano Sensor Technology - Interaktive Studienpläne der TU Ilmenau
Die Interaktiven Studienpläne sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.
Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).
Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.
Bitte beachten Sie, dass auf dieser Seite keine Aktualisierungen mehr vorgenommen werden. Alle Module und Studienpläne ab der PO-Version 2021 (Bachelor- und Master-Studiengänge) sind ab sofort im Campus-Portal erreichbar.
| Modulinformationen zu Micro- and Nano Sensor Technology im Studiengang Master Micro- and Nanotechnologies 2021 | |
|---|---|
| Modulnummer | 200523 |
| Prüfungsnummer | 2100861 |
| Fakultät | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Fachgebietsnummer | 2143 (Mikro- und nanoelektronische Systeme) |
| Modulverantwortliche(r) | Dr. Frank Schwierz |
| Turnus | Sommersemester |
| Sprache | Englisch |
| Leistungspunkte | 5 |
| Präsenzstudium (h) | 45 |
| Selbststudium (h) | 105 |
| Verpflichtung | Wahlmodul |
| Abschluss | schriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten |
| Details zum Abschluss | |
| Link zum Moodle-Kurs | |
| Lehrende | Dr. Ivanov, Tzvetan |
| Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL | |
| max. Teilnehmerzahl | |
| Vorkenntnisse | Mathematics, Physics,Electrical Engineering, Electronics |
| Lernergebnisse und erworbene Kompetenzen | After the lectures and the exercises, the students have learned and understand basic processes for acquiring
non-electrical quantities, the construction and function of key sensors and
their technology. |
| Inhalt | Introduction to sensor technology: transducer principles, sensor materials, manufacturing process; Inertial sensors: acceleration sensors, gyroscopes; Mechanical Sensors: Strain Gages, Piezoresistive Sensors; Magnetic sensors: Hall effect sensors, anisotropic magnetoresistive sensors, giant magnetoresistive based sensors; Temperature sensors: thermistors, thermocouples; Infrared sensors: photon detectors, thermal sensors and arrays; Atomic force microscopy sensors |
| Medienformen und technische Anforderungen bei Lehr- und Abschlussleistungen in elektronischer Form | Overhead projector, beamer, blackboard |
| Literatur | Veikko Lindroos, Markku Tilli, Ari Lehto, Teruaki Motooka: Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies; William Andrew (2010) Julien W. Gardner, Vijay K. Varadan, Osama O. Awadelkarim: Microsensors MEMS and Smart Devices; Wiley (2001) Kempe,Volker: Inertial MEMS: principles and practice; Cambridge University Press (2011) Antonio Rogalski: Infrared Detectors; Taylor & Francis (2010) Ricardo García: Amplitude Modulation Atomic Force Microscopy; Wiley-VCH (2010) J.Niebuhr, G.Lindner: Physikalische Messtechnik mit Sensoren; Vulkan-Verlag GmbH (2011) H.-R.Tränkler, E.Obermeier: Sensortechnik Handbuch für Praxis und Wissenschaft; Springer (1998) Ulrich Hilleringmann: Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik; Springer (2019) |
| Lehrevaluation | |