Mikrotechnik - Interaktive Studienpläne der TU Ilmenau

Die Interaktiven Studienpläne sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Bitte beachten Sie, dass auf dieser Seite keine Aktualisierungen mehr vorgenommen werden. Alle Module und Studienpläne ab der PO-Version 2021 (Bachelor- und Master-Studiengänge) sind ab sofort im Campus-Portal erreichbar.

Modulinformationen zu Mikrotechnik im Studiengang Bachelor Technische Physik 2013 ACHTUNG: wird nicht mehr angeboten!
Modulnummer	100478
Prüfungsnummer	2300432
Fakultät	Fakultät für Maschinenbau
Fachgebietsnummer	2342 (Mikrosystemtechnik)
Modulverantwortliche(r)	Prof. Dr. Steffen Strehle
Turnus	Wintersemester
Sprache	Deutsch/Englisch
Leistungspunkte	4
Präsenzstudium (h)	45
Selbststudium (h)	75
Verpflichtung	Pflichtmodul
Abschluss	schriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
Details zum Abschluss
Link zum Moodle-Kurs
Lehrende
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Vorkenntnisse	Gute Kenntnisse der Physik
Lernergebnisse und erworbene Kompetenzen	Die Studierenden sind in der Lage die Mikrosystemtechnik in die Technologien der Mechatronik und des Maschinenbaus einzuordnen und können selbständig die Systemskalierung eines Mikrosystems ermitteln. Sie analysieren und bewerten Fertigungsprozesse und sind in der Lage, einfache Prozessabläufe selbst aufzustellen. Sie können gegebene Anwendungsbeispiele einordnen und neue Applikationen daraus gezielt ableiten.
Inhalt	Einsatzgebiete von Mikrosystemen Skalierung & Multi-Domänenansatz beim Übergang zum Mikrosystem sowie dominante Effekte in der Mikrotechnik Grundlagen zu Werkstoffen der Mikrosystemtechnik Typische Mikrotechnik-Fertigung am Beispiel eines Drucksensors Wichtige Technologien der Mikrotechnik: Beschichtungsverfahren, Lithografie, Strukturierungsverfahren Systemintegration am Beispiel von Projektionsspiegel-Arrays (DMD) und Drehratensensor Entwicklung der Mikrosystemtechnik, System-Skalierung und Auswirkungen auf Bauelemente-Design und Technologie, Werkstoffe, Planartechnik, Dünnschicht-Technik, Mikrolithografie, Aufbau- und Verbindungstechnik, Applikationsbeispiele
Medienformen und technische Anforderungen bei Lehr- und Abschlussleistungen in elektronischer Form	Präsentation, Tafel, Skript bestehend aus den Folien der Präsentation
Literatur	M. Elwenspoek, H.V. Jansen "Silicon Micromachining", Cambridge Univ. Press 1998; G. Gerlach, W. Dötzel "Grundlagen der Mikrosystemtechnik", Hanser Verlag 1997; W.Menz, P.Bley "Mikrosystemtechnik für Ingenieure", VCH-Verlag Weinheim 1993
Lehrevaluation