Technische Universität Ilmenau

Microtechnology - Modultafeln of TU Ilmenau

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subject properties Microtechnology in major Bachelor Technische Physik 2013
subject number100478
examination number2300432
departmentDepartment of Mechanical Engineering
ID of group 2342 (Micromechanical Systems Group)
subject leaderProf. Dr. Steffen Strehle
term Wintersemester
languageDeutsch, auf Nachfrage Englisch
credit points4
on-campus program (h)45
self-study (h)75
Obligationobligatory
examwritten examination performance, 90 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations
maximum number of participants
previous knowledge and experience

Gute Kenntnisse der Physik

learning outcome

Die Studierenden sind in der Lage die Mikrosystemtechnik in die Technologien der Mechatronik und des Maschinenbaus einzuordnen und können selbständig die Systemskalierung eines Mikrosystems ermitteln. Sie analysieren und bewerten Fertigungsprozesse und sind in der Lage, einfache Prozessabläufe selbst aufzustellen. Sie können gegebene Anwendungsbeispiele einordnen und neue Applikationen daraus gezielt ableiten.

content
  • Einsatzgebiete von Mikrosystemen
  • Skalierung & Multi-Domänenansatz beim Übergang zum Mikrosystem sowie dominante Effekte in der Mikrotechnik
  • Grundlagen zu Werkstoffen der Mikrosystemtechnik
  • Typische Mikrotechnik-Fertigung am Beispiel eines Drucksensors
  • Wichtige Technologien der Mikrotechnik: Beschichtungsverfahren, Lithografie, Strukturierungsverfahren
  • Systemintegration am Beispiel von Projektionsspiegel-Arrays (DMD) und Drehratensensor
  • Entwicklung der Mikrosystemtechnik, System-Skalierung und Auswirkungen auf Bauelemente-Design und Technologie, Werkstoffe, Planartechnik, Dünnschicht-Technik, Mikrolithografie, Aufbau- und Verbindungstechnik, Applikationsbeispiele
media of instruction

Präsentation, Tafel, Skript bestehend aus den Folien der Präsentation

literature / references

M. Elwenspoek, H.V. Jansen "Silicon Micromachining", Cambridge Univ. Press 1998;

G. Gerlach, W. Dötzel "Grundlagen der Mikrosystemtechnik", Hanser Verlag 1997;

W.Menz, P.Bley "Mikrosystemtechnik für Ingenieure", VCH-Verlag Weinheim 1993

evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

SS 2012 (Fach)

Freiwillige Evaluation:

Hospitation: