Microsystem Technologies 1 - Interactive curriculae of TU Ilmenau
The interactive curriculae provide information on the degree programmes offered by the TU Ilmenau.
Please refer to the respective study and examination rules and regulations for the legally binding curricula (Annex Curriculum).
You can find all details on planned lectures and classes in the course catalogue.
Please note that this page is no longer updated. All modules and study plans from PO version 2021 onwards (Bachelor and Master study programs) are now available on the Campus Portal.
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module properties Microsystem Technologies 1
in degree program Master Wirtschaftsingenieurwesen 2009
ATTENTION: not offered anymore |
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| module number | 1607 |
| examination number | 2300031 |
| department | Department of Mechanical Engineering |
| ID of group | 2342 (Microsystems Technology) |
| module leader | Prof. Dr. Steffen Strehle |
| term | summer term only |
| language | Deutsch |
| credit points | 2 |
| on-campus program (h) | 22 |
| self-study (h) | 38 |
| obligation | elective module |
| exam | written examination performance, 90 minutes |
| details of the certificate | |
| link to Moodle course | |
| teacher | |
| signup details for alternative examinations | |
| maximum number of participants | |
| previous knowledge and experience | Gute Kenntnisse der Physik |
| learning outcome | Die Studierenden sind in der Lage die Mikrosystemtechnik in die Technologien der Mechatronik und des Maschinenbaus einzuordnen. Sie analysieren und bewerten Fertigungsprozesse und sind in der Lage, einfache Prozessabläufe selbst aufzustellen. Sie können selbständig die Systemskalierung eines technischen Systems ermitteln. Sie können gegebene Anwendungsbeispiele einordnen und neue Applikationen daraus gezielt synthetisieren. |
| content | Das Prinzip der Skalierung Skalierung physikalischer Gesetze - Anwendung des Skalierungsfaktors Skalierung von Materialeigenschaften - Mikro- und Nanokristallinität - Rand- und Oberflächeneffekte Systemeinflüsse - systemische Betrachtungen an ausgewählten Beispielen Materialien der Dünnschichttechnik und ihre Eigenschaften - Silicium als mechanisches Material - Leitende, isolierende und halbleitende Dünnschichten Grundlagen der Dünnschichttechnik - Reinraumtechnik - Vakuum & Freie Weglänge - nicht-thermisches Plasma Umwandelnde Verfahren - thermische Oxidation Beschichtende Verfahren - Physikalische Gasphasenabscheidung - Chemische Gasphasenabscheidung Fotolithografie Ätzverfahren - Trockenätzverfahren - Ionenstrahl-Verfahren |
| media of instruction and technical requirements for education and examination in case of online participation | Präsentation & Tafel Foliensatz der Präsentation (kein vollständiges Skript!) |
| literature / references | G. Gerlach, W. Dötzel: Einführung in die Mikrosystemtechnik - Ein Kursbuch für Studierende, Hanser-Verlag 2006 (auch in Englisch verfügbar als "Introduction to Miicrosystem Technology", Wiley 2008) M. Elwenspoek, H.V. Jansen "Silicon Micromachining", Cambridge Univ. Press 1998; W.Menz, P.Bley "Mikrosystemtechnik für Ingenieure", VCH-Verlag Weinheim 1993 |
| evaluation of teaching | |