Technische Universität Ilmenau

Mikro- und Nanosensorik - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modulbeschreibungen durch die Modulverantwortlichen finden Sie unter Modulpflege.

Hinweise zu fehlenden oder fehlerhaften Modulbeschreibungen senden Sie bitte direkt an modulkatalog@tu-ilmenau.de.

Modulinformationen zu Mikro- und Nanosensorik im Studiengang Master Wirtschaftsingenieurwesen 2009
Modulnummer1455
Prüfungsnummer2100050
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer 2143 (Mikro- und nanoelektronische Systeme)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Martin Ziegler
TurnusSommersemester
Spracheenglisch
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)86
VerpflichtungWahlmodul
Abschlussschriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
Details zum Abschluss
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Vorkenntnisse

Mathematics, Physics, Electrical Engineering, Electronics

Lernergebnisse und erworbene Kompetenzen

Learn and understand basic processes for acquiring non-electrical quantities, the construction and function of key sensors and their technology

Inhalt
  • Introduction to sensor technology: transducer principles, sensor materials, manufacturing process;
  • Inertial sensors: acceleration sensors, gyroscopes;
  • Mechanical Sensors: Strain Gages, Piezoresistive Sensors;
  • Magnetic sensors: Hall effect sensors, anisotropic magnetoresistive sensors, giant magnetoresistive based sensors;
  • Temperature sensors: thermistors, thermocouples;
  • Infrared sensors: photon detectors, thermal sensors and arrays;
  • Atomic force microscopy sensors
Medienformen

Overhead projector, beamer, blackboard

Literatur

Veikko Lindroos, Markku Tilli, Ari Lehto, Teruaki Motooka: Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies; William Andrew (2010)

Julien W. Gardner, Vijay K. Varadan, Osama O. Awadelkarim: Microsensors MEMS and Smart Devices; Wiley (2001)

Kempe,Volker: Inertial MEMS: principles and practice; Cambridge University Press (2011)

Antonio Rogalski: Infrared Detectors; Taylor & Francis (2010)

Ricardo García: Amplitude Modulation Atomic Force Microscopy; Wiley-VCH (2010)

Ulrich Hilleringmann: Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik; Springer (2019). Springer 1998 

Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation: