Technische Universit├Ąt Ilmenau

Technology practical training - Modultafeln of TU Ilmenau

The module lists provide information on the degree programmes offered by the TU Ilmenau.

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module properties Technology practical training in degree program Master Wirtschaftsingenieurwesen 2009
ATTENTION: not offered anymore
module number1481
examination number2100053
departmentDepartment of Electrical Engineering and Information Technology
ID of group 2142 (Nanotechnology)
module leaderProf. Dr. Heiko Jacobs
term winter and summer term
languageDeutsch
credit points4
on-campus program (h)34
self-study (h)86
obligationelective module
examalternative pass-fail certificate
details of the certificate
alternative examination performance due to COVID-19 regulations incl. technical requirements
signup details for alternative examinations
maximum number of participants
previous knowledge and experience

Experimentalphysik, Grundlagen der Elektronik. Nanotechnolgiee

learning outcome

Ziel dieses Praktikums ist das Kennenlernen wesentlicher technologischer Schritte zur Herstellung elektronischer und sensorischer Bauelemente auf der Basis von Silizium und organischen Materialien. Der Student erwirbt die Fähigkeit, praktische Arbeiten an technologischen Maschinen teils selbstständig und teils unter Anleitung durchzuführen.

content

Im Praktikum wird ein Drucksensor hergestellt. Dabei soll ein Einblick in die Anlagentechnik und Messtechnik sowie die Arbeitsweise der Halbleitertechnologie vermittelt werden. In der Abfolge von Prozessschritten, die zu den Versuchen: Thermische Oxidation,Schleuderprozesse, Hochvakuumbedampfung, Plasmazerstäuben, sowie optische und elektrische Charakterisierung zusammengefasst sind, ist eine Polymer/Silizium-Struktur für einen Licht - Detektor herzustellen und zu charakterisieren. Hierdurch wird die Wechselwirkung zwischenTechnologie und Bauelementeeigenschaften deutlich gemacht. ErgänzendeVersuche geben eine Einführung in die Elementanalyse mit Verfahren der Oberflächenanalytik, in die Vakuumtechnik sowie die Prozessanalytik am Beispiel der Ellipsometrie.
Das Praktikum beinhaltet folgende Verfahren:
1. Oxidation, 2. Ellipsometrie, 3. Kontaktierung, 4. Spin-Coating, 6. Elektrische Charakterisierung, 7. Vakuumerzeugung, 8. Vakkummessung, 9. Sputtern, 10. Plasmaätzen

media of instruction and technical requirements for education and examination in case of online participation

Praktikum an technologischen Apparaturen

literature / references

Praktikumsanleitungen und Sekundärliteratur

evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation: