Mikro- und Nanosensorik - Interaktive Studienpläne der TU Ilmenau

Die Interaktiven Studienpläne sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Bitte beachten Sie, dass auf dieser Seite keine Aktualisierungen mehr vorgenommen werden. Alle Module und Studienpläne ab der PO-Version 2021 (Bachelor- und Master-Studiengänge) sind ab sofort im Campus-Portal erreichbar.

Modulinformationen zu Mikro- und Nanosensorik im Studiengang Master Wirtschaftsingenieurwesen 2018 (ET)
Modulnummer	1455
Prüfungsnummer	2100050
Fakultät	Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer	2143 (Mikro- und nanoelektronische Systeme)
Modulverantwortliche(r)	Prof. Dr. Martin Ziegler
Turnus	Sommersemester
Sprache	englisch
Leistungspunkte	5
Präsenzstudium (h)	45
Selbststudium (h)	105
Verpflichtung	Wahlmodul
Abschluss	schriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
Details zum Abschluss
Link zum Moodle-Kurs
Lehrende
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Vorkenntnisse	Mathematics, Physics, Electrical Engineering, Electronics
Lernergebnisse und erworbene Kompetenzen	Learn and understand basic processes for acquiring non-electrical quantities, the construction and function of key sensors and their technology
Inhalt	Introduction to sensor technology: transducer principles, sensor materials, manufacturing process; Inertial sensors: acceleration sensors, gyroscopes; Mechanical Sensors: Strain Gages, Piezoresistive Sensors; Magnetic sensors: Hall effect sensors, anisotropic magnetoresistive sensors, giant magnetoresistive based sensors; Temperature sensors: thermistors, thermocouples; Infrared sensors: photon detectors, thermal sensors and arrays; Atomic force microscopy sensors
Medienformen und technische Anforderungen bei Lehr- und Abschlussleistungen in elektronischer Form	Overhead projector, beamer, blackboard
Literatur	Veikko Lindroos, Markku Tilli, Ari Lehto, Teruaki Motooka: Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies; William Andrew (2010) Julien W. Gardner, Vijay K. Varadan, Osama O. Awadelkarim: Microsensors MEMS and Smart Devices; Wiley (2001) Kempe,Volker: Inertial MEMS: principles and practice; Cambridge University Press (2011) Antonio Rogalski: Infrared Detectors; Taylor & Francis (2010) Ricardo García: Amplitude Modulation Atomic Force Microscopy; Wiley-VCH (2010) Ulrich Hilleringmann: Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik; Springer (2019). Springer 1998
Lehrevaluation