Technische Universität Ilmenau

Micro- and Nano System Technology - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modulbeschreibungen durch die Modulverantwortlichen finden Sie unter Modulpflege.

Hinweise zu fehlenden oder fehlerhaften Modulbeschreibungen senden Sie bitte direkt an modulkatalog@tu-ilmenau.de.

Modulinformationen zu Micro- and Nano System Technology im Studiengang Master Wirtschaftsingenieurwesen 2021 (ET)
Modulnummer200521
Prüfungsnummer2100858
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer 2143 (Mikro- und nanoelektronische Systeme)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Martin Ziegler
TurnusWintersemester
SpracheEnglisch
Leistungspunkte5
Präsenzstudium (h)45
Selbststudium (h)105
VerpflichtungWahlmodul
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Vorkenntnisse

Participation in the course "Micro and nano sensor technology"

Lernergebnisse und erworbene KompetenzenAfter the lectures and exercises, the students
have an overview on basics and background knowledge of micro- and nanosystem technology,
devices and fabrication technology. They are able to understand
original literature, to design and use micro devices.

Inhalt

Requirements of micro- and nanotechnology; material properties and choice of materials; physical and engineering backgrounds of microsystem technology; fabrication and functionality of miniature sensors or actuators based on selected examples

Medienformen

Overhead projector, beamer, blackboardl

Literatur

B. Heimann, W. Gerth, K. Popp: Mechatronik; Hanser Verlag München, 1998;
S. E. Lyschevski: Nano- and micromechanical systems, CRC Press, 2005;
Gerald Gerlach, Wolfram Dötzel, Einführung in die Mikrosystemtechnik, Hanser, München-Wien 2006
G. Gerlach, W. Dötzel, Introduction to Microsystem Technology, Wiley & Sons, 2008
W. Menz, J. Mohr, O. Paul, Mikrosystemtechnik für Ingenieure, Weinheim, Wiley-VCH, 3. Auflage (2005) U. Mescheder, Mikrosystemtechnik, Wiesbaden, Teubner, 2. Auflage (2004)
M. Glück, MEMS in der Mikrosystemtechnik, Wiesbaden, Teubner (2005)
Friedemann Völklein, Praxiswissen Mikrosystemtechnik : Grundlagen, Technologien, Anwendungen. Wiesbaden, Vieweg (2006)
Friedemann Völklein, Einführung in die Mikrosystemtechnik : Grundlagen und Praxisbeispiele. Braunschweig, Vieweg (2000)
Werner Karl Schomburg, Introduction to Microsystem Design, Springer, Berlin-Heidelberg 2015
Nam-Trung Nguyen, Mikrofluidik, Teubner, Wiesbaden 2004
Nguyen/Wereley, Fundamentals and Applications of Microfluidics, Artech House, Boston-London 2002

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