Mikro- und Halbleitertechnologie 2 - Interaktive Studienpläne der TU Ilmenau
Die Interaktiven Studienpläne sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.
Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).
Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.
Bitte beachten Sie, dass auf dieser Seite keine Aktualisierungen mehr vorgenommen werden. Alle Module und Studienpläne ab der PO-Version 2021 (Bachelor- und Master-Studiengänge) sind ab sofort im Campus-Portal erreichbar.
| Modulinformationen zu Modulnummer 100714 - allgemeine Informationen | |
|---|---|
| Modulnummer | 100714 |
| Fakultät | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Fachgebietsnummer | 2142 (Nanotechnologie) |
| Modulverantwortliche(r) | Prof. Dr. Heiko Jacobs |
| Sprache | |
| Turnus | unbekannt |
| Vorkenntnisse | |
| Lernergebnisse und erworbene Kompetenzen | Vermittlung der Anwendung der Einzelprozesse in der Mikro- und Halbleitertechnolgie auf ihre Integration für die Herstellung von Herstellung von Halbleiterbauelementen, integrierten Schaltkreisen, Sensor- und Mikrosystemen. Auf der Grundlage des Verständnisses der physikalisch, chemischen und materialwissenschaftlichen Grundlagen der technologischen Einzelprozesse wird die Befähigungen vermittelt, diese auf komplexe halbleitertechnologische Prozesse anzuwenden, sie zu analysieren, und neue Verfahrensabläufe zu synthetisieren. |
| Inhalt | |
| Medienformen und technische Anforderungen bei Lehr- und Abschlussleistungen in elektronischer Form | |
| Literatur | |
| Lehrevaluation | |
| Spezifik Referenzmodul | |
|---|---|
| Modulname | Mikro- und Halbleitertechnologie 2 |
| Prüfungsnummer | 90200 |
| Leistungspunkte | 5 |
| SWS | 0 |
| Präsenzstudium (h) | 0 |
| Selbststudium (h) | 150 |
| Verpflichtung | Pflichtmodul |
| Abschluss | mehrere Teilleistungen |
| Details zum Abschluss | aPL (alternative Prüfungsleistung) |
| Link zum Moodle-Kurs | |
| Lehrende | |
| Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL | |
| max. Teilnehmerzahl | |