Technische Universität Ilmenau

Mikro- und Halbleitertechnologie 1 - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modulbeschreibungen durch die Modulverantwortlichen finden Sie unter Modulpflege.

Hinweise zu fehlenden oder fehlerhaften Modulbeschreibungen senden Sie bitte direkt an modulkatalog@tu-ilmenau.de.

Modulinformationen zu Modulnummer 100164 - allgemeine Informationen
Modulnummer100164
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer2142 (Nanotechnologie)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Heiko Jacobs
Sprache
Turnusunbekannt
Vorkenntnisse
Lernergebnisse und erworbene Kompetenzen

Grundverständnis und Verständnis für die Einzelprozesse und des physikalisch materialwissenschaftlichen Hintergrundes der Herstellung von Halbleiterbauelementen, integrierten Schaltkreisen, Sensor- und Mikrosystemen. Es werden Fähigkeiten vermittelt, die es ermöglichen, die einzelnen Prozessschritte in der Mikro- und Halbleitertechnologie hinsichtlich der physikalischen, chemischen und materialwissenschftlichen Grundlagen und ihrer Anwendbarkeit zu analysieren und zu bewerten.

Inhalt
Medienformen und technische Anforderungen bei Lehr- und Abschlussleistungen in elektronischer Form
Literatur
Lehrevaluation
Spezifik Referenzmodul
ModulnameMikro- und Halbleitertechnologie 1
Prüfungsnummer95020
Leistungspunkte10
SWS0
Präsenzstudium (h)0
Selbststudium (h)300
VerpflichtungPflichtmodul
Abschlussmehrere Teilleistungen
Details zum Abschluss

aPL (alternative Prüfungsleistung)

Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Bachelor Elektrotechnik und Informationstechnik 2013
ModulnameMikro- und Halbleitertechnologie 1
Prüfungsnummer95020
Leistungspunkte10
Präsenzstudium (h)45
Selbststudium (h)255
Verpflichtungunbekannt
Abschlussmehrere Teilleistungen
Details zum Abschluss

aPL (alternative Prüfungsleistung)

Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl