Technische Universität Ilmenau

Vakuumtechnik - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modulbeschreibungen durch die Modulverantwortlichen finden Sie unter Modulpflege.

Hinweise zu fehlenden oder fehlerhaften Modulbeschreibungen senden Sie bitte direkt an modulkatalog@tu-ilmenau.de.

Modulinformationen zu Vakuumtechnik im Studiengang Bachelor Elektrotechnik und Informationstechnik 2013
Modulnummer100643
Prüfungsnummer95120
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer 2142 (Nanotechnologie)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Heiko Jacobs
Turnusunbekannt
Sprache
Leistungspunkte5
Präsenzstudium (h)45
Selbststudium (h)105
VerpflichtungWahlmodul
Abschlussmehrere Teilleistungen
Details zum Abschluss
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Vorkenntnisse
Lernergebnisse und erworbene Kompetenzen

Mit der Vakuumtechnik wird der Ingenieur in vielen Einsatzbereichen konfrontiert. Für viele technologische Prozesse und analytischeVerfahren ist die Vakuumtechnik unverzichtbar. Insbesondere für technologische Verfahren der Mikro- und Nanotelektronik gewinnen die Vakuumverfahren zunehmend an Bedeutung. Die Kenntnis der physikalischen Grundlagen und das vermittelte anwendungsorientierte Wissen zur Vakuumerzeugung und -messung, zur Werkstoffauswahl und Apparategestaltung befähigt den Zuhörer, im späteren Einsatz vakuumtechnische Fragestellungen effizient zu bearbeiten. Die Vorlesung vermittelt Inhalte über alle Vakuumbereiche vom Grobvakuum bis hin zum Ultrahochvakuum und lehrt unter anderem den Umgang mit und die Bedienung von Vakuumapparaturen. Die Vorlesung wird durch ein Seminar zur Vakuumtechnik ergänzt.

Verantwortlich: Dr. G. Ecke

Inhalt
Medienformen
Literatur
Lehrevaluation