Praktikum Mikrofabrikation - Interaktive Studienpläne der TU Ilmenau
Die Interaktiven Studienpläne sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.
Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).
Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.
Bitte beachten Sie, dass auf dieser Seite keine Aktualisierungen mehr vorgenommen werden. Alle Module und Studienpläne ab der PO-Version 2021 (Bachelor- und Master-Studiengänge) sind ab sofort im Campus-Portal erreichbar.
| Modulinformationen zu Praktikum Mikrofabrikation im Studiengang Diplom Elektrotechnik und Informationstechnik 2021 | |
|---|---|
| Modulnummer | 200643 |
| Prüfungsnummer | 2101018 |
| Fakultät | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Fachgebietsnummer | 2142 (Nanotechnologie) |
| Modulverantwortliche(r) | Prof. Dr. Heiko Jacobs |
| Turnus | ganzjährig |
| Sprache | Deutsch/Englisch |
| Leistungspunkte | 5 |
| Präsenzstudium (h) | 45 |
| Selbststudium (h) | 105 |
| Verpflichtung | Wahlmodul |
| Abschluss | Prüfungsleistung |
| Details zum Abschluss | Studierende absolvieren vier Praktikumsversuche in festgeschriebener Reihenfolge. Zu jedem Versuch führen sie ein Vorbereitungstestat in Form eines Multiple-Choice-Tests durch (via Moodle) und fertigen ein Versuchsprotokoll an. Vorbereitungstestat und Protokoll werden durch den Praktikumsbetreuer mit jeweils einer Note bewertet. Abschließend erfolgt ein Gruppentestat (Teilnahmetestat) über die gelernten Prozesse und Funktionsweisen. Alle so erhaltenen Teilnoten fließen in die Gesamtnote ein. |
| Link zum Moodle-Kurs | |
| Lehrende | Dr. G. Ecke |
| Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL | |
| max. Teilnehmerzahl | |
| Vorkenntnisse | Grundkenntnisse in Physik, Chemie, Funktionsweisen von elektronischen Bauelementen und integrierten Schaltkreisen, Experimentalphysik, Grundlagen der Elektronik, Nanotechnolgie |
| Lernergebnisse und erworbene Kompetenzen | Die Hörer der Lehrveranstaltung können nach deren Beendigung wesentliche technologische Schritte zur Herstellung elektronischer und sensorischer Bauelemente auf der Basis von Silizium und organischen Materialien benennen. Sie sind in der Lage, die Auswirkungen eines Forschungsprojektes auf die zukünftige Technikentwicklung zu interpretieren. Nach dem Besuch des Praktikums sind die Studierenden in der Lage, tendenzielle Entwicklungen im Bereich der Mikrofabrikation vorherzussagen. Sie besitzen die Fähigkeit, der Situation entsprechend angemessen zu handeln und können mit den betreuenden Fachpersonal eng zusammenarbeiten. Nach Projektabschluss sind Sie in der Lage, in einem Team ihrer Qualifikation entsprechend Verantwortung zu übernehmen. |
| Inhalt | Im
Praktikum wird ein Drucksensor hergestellt. Dabei soll ein Einblick in die
Anlagentechnik und Messtechnik sowie die Arbeitsweise der Halbleitertechnologie
vermittelt werden. In der Abfolge von Prozessschritten, die zu den Versuchen:
Thermische Oxidation, Schleuderprozesse, Hochvakuumbedampfung, Plasmazerstäuben,
sowie optische und elektrische Charakterisierung zusammengefasst sind. Hierdurch wird die Wechselwirkung zwischen Technologie und
Bauelementeeigenschaften deutlich gemacht. Ergänzende Versuche geben eine Einführung
in die Elementanalyse mit Verfahren der Oberflächenanalytik, in die
Vakuumtechnik sowie die Prozessanalytik am Beispiel der Ellipsometrie. |
| Medienformen und technische Anforderungen bei Lehr- und Abschlussleistungen in elektronischer Form | Praktikumsanleitungen und Vorbereitungsaufgaben laut Praktikumsanleitung, Praktikum
an technologischen Apparaturen |
| Literatur | Praktikumsanleitungen |
| Lehrevaluation | |