Vakuumtechnik - Interaktive Studienpläne der TU Ilmenau
Die Interaktiven Studienpläne sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.
Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).
Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.
Bitte beachten Sie, dass auf dieser Seite keine Aktualisierungen mehr vorgenommen werden. Alle Module und Studienpläne ab der PO-Version 2021 (Bachelor- und Master-Studiengänge) sind ab sofort im Campus-Portal erreichbar.
| Modulinformationen zu Vakuumtechnik im Studiengang Master Werkstoffwissenschaft 2021 | |
|---|---|
| Modulnummer | 200549 |
| Prüfungsnummer | 2100891 |
| Fakultät | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Fachgebietsnummer | 2142 (Nanotechnologie) |
| Modulverantwortliche(r) | Prof. Dr. Heiko Jacobs |
| Turnus | Sommersemester |
| Sprache | Deutsch |
| Leistungspunkte | 5 |
| Präsenzstudium (h) | 45 |
| Selbststudium (h) | 105 |
| Verpflichtung | Wahlmodul |
| Abschluss | mündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten |
| Details zum Abschluss | |
| Link zum Moodle-Kurs | https://moodle.tu-ilmenau.de/course/view.php?id=3098 |
| Lehrende | Dr. Leslie Schlag |
| Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL | |
| max. Teilnehmerzahl | |
| Vorkenntnisse | Experimentalphysik, Grundlagen der Elektronik |
| Lernergebnisse und erworbene Kompetenzen | Nachdem Studierende die Veranstaltung besucht haben, können sie die Unverzichtbarkeit der Vakuumtechnik anhand konkreter technologischer Prozesse und analytischer Verfahren beschreiben. Sie können Verfahren der Mikro- und Nanoelektronik in Bezug auf die dafür notwendigen Vakuumverfahren erklären. Die Studierenden sind nach Besuch der Lehrveranstaltung in der Lage, die physikalischen Grundlagen und das vermittelte anwendungsorientierte Wissen zur Vakuumerzeugung und -messung, zur Werkstoffauswahl und Apparategestaltung zu klassifizieren. Die Studierenden kennen die verschiedenen Vakuumbereiche vom Grobvakuum bis hin zum Ultrahochvakuum. Nach dem Besuch der Vorlesung können die Studierenden die erworbenen Kenntnisse über den Umgang mit und die Bedienung von Vakuumapparaturen, ihre Anwendung und deren Herstellung zusammenfassen. Nach dem Seminar haben die Studierenden ihre in der Vorlesung erworbenen Kenntnisse anhand ausgewählter Beispiele vertieft. Nach Beendigung der Veranstaltung können die Studenten die eigenen Leistungen und die ihrer Kommilitonen richtig einschätzen und bewerten. |
| Inhalt | Die 1. Vorlesung startet am 10.04.2025. Da es ein Wahlmodul ist, bittet der Dozent um Voranmeldung per Email an: leslie.schlag@tu-ilmenau.de
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| Medienformen und technische Anforderungen bei Lehr- und Abschlussleistungen in elektronischer Form | Vorlesung mit Tafelbild, Tageslichtprojektor und Beamer |
| Literatur | M. Wutz, H. Adam, W. Walcher Theorie und Praxis der Vakuumtechnik 4. Auflage Vieweg & Sohn Braunschweig/Wiesbaden 1988 Ch. Edelmann Wissensspeicher Vakuumtechnik Fachbuchverlag Leipzig 1985 J.M. Lafferty Foundations of Vacuum Science and Technology John Wiley, New York, Chinchester, Weinheim, 1998 |
| Lehrevaluation | |