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Prof. Dr.-Ing. Steffen Strehle
Fachgebietsleiter
Fachgebiet Mikrosystemtechnik
Am Helmholtzring 12 (Werner-Bischoff-Bau Raum 3110)
98693 Ilmenau
Telefon: +49 3677 69-2485
Telefax: +49 3677 69-1801
Prof. Steffen Strehle
Fachgebiet Mikrosystemtechnik
Telefon: +49 3677 69-2487
e-mail: steffen.strehle@tu-ilmenau.de
Projektträger: Deutsche Forschungsgemeinschaft
Förderkennzeichen: STR 1119/16-1
beteiligte Fachgebiete: Mikrosystemtechnik
Laufzeit: 01.01.2023 - 31.12.2025
Leistungsfähige Strukturierungsverfahren zur präzisen Erzeugung von funktionellen 3D Nanostrukturen sind für die Herstellung neuartiger Mikro- und Nanosensoren bin hin zur Realisierung der zweiten Quantenrevolution von elementarer Bedeutung. Im Forschungsvorhaben werden die grundlegenden Mechanismen einer rastersondenbasierten, elektronenstrahlinduzierten 3D Gasphasen-Materialabscheidung als auch die damit verbundenen technologischen Anforderungen und Einschränkungen aufgeklärt. Hierdurch sollen zum einen das Potenzial dieser Technologie in Richtung 3D-Nanomaterialsynthese und Aufbau nanoelektromechanischer Systeme evaluiert, als auch eine künftige Implementierung und Weiterentwicklung diskutiert werden können. Basierend auf Experimenten zur lokalen 3D-Abscheidung von Kohlenstoffnanostrukturen sollen die grundlegenden Einflussparameter identifiziert und erforscht werden, die für eine kontrollierte und reproduzierbare 3D-Abscheidung relevant sind.