Vaccum Technology - Interactive curriculae of TU Ilmenau
The interactive curriculae provide information on the degree programmes offered by the TU Ilmenau.
Please refer to the respective study and examination rules and regulations for the legally binding curricula (Annex Curriculum).
You can find all details on planned lectures and classes in the course catalogue.
Please note that this page is no longer updated. All modules and study plans from PO version 2021 onwards (Bachelor and Master study programs) are now available on the Campus Portal.
| module properties module number 200549 - common information | |
|---|---|
| module number | 200549 |
| department | Department of Electrical Engineering and Information Technology |
| ID of group | 2142 (Nanotechnology) |
| module leader | Prof. Dr. Heiko Jacobs |
| language | Deutsch |
| term | Sommersemester |
| previous knowledge and experience | Experimentalphysik, Grundlagen der Elektronik |
| learning outcome | Nachdem Studierende die Veranstaltung besucht haben, können sie die Unverzichtbarkeit der Vakuumtechnik anhand konkreter technologischer Prozesse und analytischer Verfahren beschreiben. Sie können Verfahren der Mikro- und Nanoelektronik in Bezug auf die dafür notwendigen Vakuumverfahren erklären. Die Studierenden sind nach Besuch der Lehrveranstaltung in der Lage, die physikalischen Grundlagen und das vermittelte anwendungsorientierte Wissen zur Vakuumerzeugung und -messung, zur Werkstoffauswahl und Apparategestaltung zu klassifizieren. Die Studierenden kennen die verschiedenen Vakuumbereiche vom Grobvakuum bis hin zum Ultrahochvakuum. Nach dem Besuch der Vorlesung können die Studierenden die erworbenen Kenntnisse über den Umgang mit und die Bedienung von Vakuumapparaturen, ihre Anwendung und deren Herstellung zusammenfassen. Nach dem Seminar haben die Studierenden ihre in der Vorlesung erworbenen Kenntnisse anhand ausgewählter Beispiele vertieft. Nach Beendigung der Veranstaltung können die Studenten die eigenen Leistungen und die ihrer Kommilitonen richtig einschätzen und bewerten. |
| content | Die 1. Vorlesung startet am 10.04.2025. Da es ein Wahlmodul ist, bittet der Dozent um Voranmeldung per Email an: leslie.schlag@tu-ilmenau.de
|
| media of instruction and technical requirements for education and examination in case of online participation | Vorlesung mit Tafelbild, Tageslichtprojektor und Beamer |
| literature / references | M. Wutz, H. Adam, W. Walcher Theorie und Praxis der Vakuumtechnik 4. Auflage Vieweg & Sohn Braunschweig/Wiesbaden 1988 Ch. Edelmann Wissensspeicher Vakuumtechnik Fachbuchverlag Leipzig 1985 J.M. Lafferty Foundations of Vacuum Science and Technology John Wiley, New York, Chinchester, Weinheim, 1998 |
| evaluation of teaching | |
| Details reference subject | |
|---|---|
| module name | Vaccum Technology |
| examination number | 2100891 |
| credit points | 5 |
| SWS | 4 (2 V, 2 Ü, 0 P) |
| on-campus program (h) | 45 |
| self-study (h) | 105 |
| obligation | obligatory module |
| exam | oral examination performance, 30 minutes |
| details of the certificate | |
| link to Moodle course | https://moodle.tu-ilmenau.de/course/view.php?id=3098 |
| teacher | Dr. Leslie Schlag |
| signup details for alternative examinations | |
| maximum number of participants | |
| Details in degree program Diplom Elektrotechnik und Informationstechnik 2021, Bachelor Elektrotechnik und Informationstechnik 2021, Master Werkstoffwissenschaft 2021, Master Micro- and Nanotechnologies 2021, Master Technische Physik 2023 | |
|---|---|
| module name | Vaccum Technology |
| examination number | 2100891 |
| credit points | 5 |
| on-campus program (h) | 45 |
| self-study (h) | 105 |
| obligation | elective module |
| exam | oral examination performance, 30 minutes |
| details of the certificate | |
| link to Moodle course | https://moodle.tu-ilmenau.de/course/view.php?id=3098 |
| signup details for alternative examinations | |
| maximum number of participants | |
| Details in degree program Bachelor Elektrotechnik und Informationstechnik 2013 | |
|---|---|
| module name | Vaccum Technology |
| examination number | 2100891 |
| credit points | 5 |
| on-campus program (h) | 45 |
| self-study (h) | 105 |
| obligation | obligatory module |
| exam | oral examination performance, 30 minutes |
| details of the certificate | |
| link to Moodle course | https://moodle.tu-ilmenau.de/course/view.php?id=3098 |
| signup details for alternative examinations | |
| maximum number of participants | |