Technische Universität Ilmenau

Technologie optoelektronischer Bauelemente - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modulbeschreibungen durch die Modulverantwortlichen finden Sie unter Modulpflege.

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Modulinformationen zu Modulnummer 1615 - allgemeine Informationen
Modulnummer1615
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer2142 (Nanotechnologie)
Modulverantwortliche(r) Dr. Jörg Pezoldt
SpracheDeutsch
TurnusSommersemester
VorkenntnisseDie Vorlesung baut auf dem Modul Physik des gemeinsamen ingenieurwissenschaftlichen Grundlagenstudiums und auf Grundkenntnissen der physikalischen Optik und der Werkstoffwissenschaften auf.
Lernergebnisse und erworbene KompetenzenIm diesem Fach werden grundlegende Verfahren und Verfahrensschritte der Technologie optoelektronischer Bauelementen und deren Integrationstechniken auf der Basis der Technologie von Verbindungshalbleiter und der Siliziumtechnologie vermittelt.
Die Studierenden beherrschen die Grundlagen der Herstellung optoelektronischer Bauelemente und sind fähig technische und wirtschaftliche Aspekte zu beurteilen.
Sie sind in der Lage, die Integrationstechniken optoelektronischer Bauelemente auf der Basis der Siliziumtechnologie zu analysieren.
Die Studierenden sind fähig prinzipielle Lösungen für die technologischen Prozesse zur Herstellung von emittierenden Bauelementen zu entwerfen.
Ebenso sind Sie in der Lage die technologischen Prozesse zur Herstellung von Fotodetektoren zu bewerten.
Sie sind fähig zur Systemintegration optoelektronischer Bauelemente unter Einbeziehung von Spiegeln und Wellenleitern.
Inhalt1. Kristalle und ihre Eigenschaften
2. Mischkristalle
3. Heterostrukturen
4. Einkristallzucht von elementaren und Verbindungshalbleitern
5. Epitaxie und Heteroepitaxie
6. Dotierung
7. Metallisierung
8. Fotolithografie
9. Ätzen
10. Herstellung von Leuchtdioden und Lasern
11. Herstellung von Fotodetektoren
12. Herstellung von Spiegeln und Wellenleitern
13. Systemintegration
Medienformen

Overhead-Folien und Tafel

https://moodle2.tu-ilmenau.de/course/view.php?id=3575

 

Literatur1. J. Singh: Semiconductor optoelectronics: physics and technology, McGraw-Hill,1995.
2. H. Zimmermann: Silicon optoelectronic integrated circuits, Springer, 2004, 352 S.
3. K.-J. Ebeling: Integrierte Optoelektronik: Wellenleiteroptik, Photonik, Halbleiter, Springer, 1992.
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

SS 2019 (Fach)

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Spezifik Referenzmodul
ModulnameTechnologie optoelektronischer Bauelemente
Prüfungsnummer2100133
Leistungspunkte2
SWS2
Präsenzstudium (h)22.5
Selbststudium (h)37.5
VerpflichtungPflichtmodul
Abschlussschriftliche Prüfungsleistung, 120 Minuten
Details zum Abschluss

aPL (alternative Prüfungsleistung)

Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Bachelor Optische Systemtechnik/Optronik 2013
ModulnameTechnologie optoelektronischer Bauelemente
Prüfungsnummer2100469
Leistungspunkte3
Präsenzstudium (h)22
Selbststudium (h)68
VerpflichtungPflichtmodul
Abschlussschriftliche Studienleistung, 120 Minuten
Details zum Abschluss

aPL (alternative Prüfungsleistung)

Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl