Die Universitätsgesellschaft Ilmenau – Freunde, Förderer, Alumni e. V. vergibt in jedem Jahr den Preis für die beste Dissertation der TU Ilmenau. Die Auszeichnung für das Jahr 2019 erhielt Dr. Christoph Weigel für seine Dissertation „Fluorbasiertes Trockenätzen von Mikrostrukturen in Glas und Glaskeramik“. Die Arbeit entstand an der Fakultät für Maschinenbau im Fachgebiet Mikrosystemtechnik.
In seiner Dissertation erarbeitete Christoph Weigel neue Lösungsansätze für die Mikrostrukturierung komplexer Gläser und Glaskeramiken. Die Preisverleihung des mit 5000 Euro dotierten Dissertationspreises erfolgte durch die Vorsitzende der Universitätsgesellschaft, Prof. Dr. Dagmar Schipanski, in der Sitzung des Senats am 8. Dezember 2020.
Gläser und Glaskeramiken sind wichtige Materialien für die Mikrooptik, die Mikrosensorik und die Mikromechanik, da sie ein hohes Maß an Widerstandsfähigkeit gegenüber Umgebungseinflüssen bei konstanten physikalischen Eigenschaften aufweisen. In seiner Dissertation erarbeitete Dr. Christoph Weigel neue Lösungsansätze für die Mikrostrukturierung solcher komplexer Gläser und Glaskeramiken. Mit seiner theoretischen Studie zum Prozess des Plasmaätzens gelangen ihm neuartige Strukturierungen, die er praktisch überprüfte. Herausragendes Ergebnis seiner Arbeit ist die Herstellung von freischwingenden mikromechanischen Elementen in Zerodur, einem glaskeramischen Werkstoff der Schott AG, durch beidseitiges Ätzen. Weigel entwickelte etwa eine neuartige Federstruktur, die durch das Material Zerodur besonders temperaturstabil ist und die sich zum Beispiel für mechanische Uhren eignet. Das neue Verfahren erlangte bereits großes internationales Interesse auf Konferenzen und in Veröffentlichungen in Fachzeitschriften. Dr. Weigel verdankt seine Forschung nach eigenen Aussagen den technologischen Rahmenbedingungen an der TU Ilmenau: „Die hervorragende Ausstattung an der Universität, insbesondere am Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien, hat meine Forschung in diesem spezialisierten Gebiet überhaupt erst möglich gemacht.“
