Vakuumtechnik - Interaktive Studienpläne der TU Ilmenau

Experimentalphysik, Grundlagen der Elektronik

Nachdem Studierende die Veranstaltung besucht haben, können sie die Unverzichtbarkeit der Vakuumtechnik anhand konkreter technologischer Prozesse und analytischer Verfahren beschreiben.

Sie können Verfahren der Mikro- und Nanoelektronik in Bezug auf die dafür notwendigen  Vakuumverfahren erklären.

Die Studierenden sind nach Besuch der Lehrveranstaltung in der Lage, die physikalischen Grundlagen und das vermittelte anwendungsorientierte Wissen zur Vakuumerzeugung und -messung, zur Werkstoffauswahl und Apparategestaltung zu klassifizieren.

Die Studierenden kennen die verschiedenen Vakuumbereiche vom Grobvakuum bis hin zum Ultrahochvakuum.

Nach dem Besuch der Vorlesung können die Studierenden die erworbenen Kenntnisse über den Umgang mit und die Bedienung von Vakuumapparaturen, ihre Anwendung und deren Herstellung zusammenfassen.

Nach dem Seminar haben die Studierenden ihre in der Vorlesung erworbenen Kenntnisse anhand ausgewählter Beispiele vertieft.

Nach Beendigung der Veranstaltung können die Studenten die eigenen Leistungen und die ihrer Kommilitonen richtig einschätzen und bewerten.

Die 1. Vorlesung startet am 10.04.2025. 

Da es ein Wahlmodul ist, bittet der Dozent um Voranmeldung per Email an: leslie.schlag@tu-ilmenau.de 

1. Physikalische Grundlagen der Vakuumtechnik
2. Vakuuemerzeugung
3. Vakuummessung
4. Vakuumbauelemente
5. Konstruktion und Materialien der Vakuumtechnik
6. Anwendungsbeispiele

Vorlesung mit Tafelbild, Tageslichtprojektor und Beamer

M. Wutz, H. Adam, W. Walcher

Theorie und Praxis der Vakuumtechnik

4. Auflage

Vieweg & Sohn Braunschweig/Wiesbaden 1988

Ch. Edelmann

Wissensspeicher Vakuumtechnik

Fachbuchverlag Leipzig 1985

J.M. Lafferty

Foundations of Vacuum Science and Technology

John Wiley, New York, Chinchester, Weinheim, 1998

Dr. Leslie Schlag