Chris Liebold
Die Euspen-Konferenz "Precision Motion Systems & Control" fand am 15. und 16. November 2022 in Brabanthallen’s-Hertogenbosch, Niederlande statt.
Dort stellten auch Kollegen unseres Instituts ihre neuesten Forschungsergebnisse auf dem Gebiet der Präzisionsmesstechnik vor.
Der Keynote-Speaker Dr. Peter der Groot von der Zygo Corporation, US verwies in seinem Vortrag "State-of-the-Art: The turbulent history of interferometric methods of precision positioning" auch auf die Entwicklung der Nanomessmaschine an der TU Ilmenau und den World Interferometry Day.
