TU Ilmenau/ IPMS

DFG Projekts „3D-NLM-Maschine“

Am 19. Mai 2026 fand ein fachliches Kick-Off des DFG Projekts „3D-NLM-Maschine“ mit einem Besuch der Jenenser Kollegen unter Prof. Dr. Zeitner in Ilmenau statt. 

Im Rahmen des DFG-Programmes „Neue Gerate für die Forschung" haben sich die Projektpartner das Ziel gestellt, gemeinsam eine 3DNanolithographie-und Nanomessmaschine (3D-NLM-Maschine) mit einem Bearbeitungs- und Messbereich von 1 m x 1 m x 0,2 m mit einer Positionier-Strukturierungs- und Messgenauigkeit bis in den sub-Nanometerbereich zu entwickeln und aufzubauen, die durch die konsequente Verknüpfung von hochentwickelter 3D-Nanolithographie (IAP/FSU Jena, Fraunhofer IGF) mit extrem genauer Nanopositionier- und Nanomesstechnik (IPMS/TU Ilmenau) eine bisher nicht gekannte Leistungsfähigkeit an den Grenzen der Physik und des technisch Machbaren ermöglichen wird.

https://www.tu-ilmenau.de/aktuelles/6-mai-quantum-photonics-messe-erfurt-tu-ilmenau-startet-4-millionen-euro-projekt-zur-hochpraezisen-realisierung-grossflaechiger-nanostrukturen-mit-atomarer-praezision