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Ansprechpartner

Univ.-Prof. Dr.-Ing. Steffen Strehle

Fachgebietsleiter

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INHALTE

Fachgebiet Mikrosystemtechnik

Unser Fokus in der Forschung liegt auf der Entwicklung, der Fertigung und Charakterisierung von Mikrosystemen. Gegenwärtig befassen wir uns vor allem mit Anwendungen für Optische Mikrosysteme (inklusive Integrierter Optik und MOEMS), MEMS für die Lebenswissenschaften (insbesondere implantierbare Sensorik) und für Energie-effiziente Systeme (Energy Harvesting und extrem leistungsarme Sensoren).

Neben der Si-basierten MEMS Technologie erforschen wir die Integration von Nanostrukturen in Mikrosysteme (Mikro-Nano-Integration), insbesondere Silizium-Nanodrähte oder AlN (Aluminiumnitrid), erzeugt durch additive oder subtraktive Technologien und nanokristalline AlN Dünnschichten für mechanische Anwendungen.

Wir arbeiten eng mit anderen Fachgebieten des Instituts für Mikro- und Nanotechnologien (IMN MacroNano®) zusammen, insbesondere in Verbundprojekten mit industriellen und externen Forschungspartnern. Darüber hinaus sind Mitarbeiter des Fachgebietes MST für große Teile der Si-basierten Infrastruktur des Zentrums für Mikro- und Nanotechnologien (ZMN) verantwortlich.