Lehre

Das Fachgebiet Mikrosystemtechnik bietet Lehrveranstaltungen für eine umfassene Ausbildung im Bereich der Mikrosystemtechnik an. Es gibt Vorlesungen sowohl für den Bachelor- als auch für den Masterstudiengang, die oft in einen direkten Bezug zur Praxis darstellen. 

Weiterhin werden im Fachgebiet studentische Arbeiten, die der wissenschaftlichen Weiterqualifikation dienen, vergeben. Die Themenstellungen dieser Arbeiten sind sehr of direkt in die Forschungsprojekte des Fachgebietes eingebunden oder können auch in Zusammenarbeit mit Industrieunternehmen durchgeführt werden. Eine Mitgestaltung der Themen durch die Studierenden ist erwünscht. Somit besteht auch die Möglichkeit während der Bearbeitung der studentische Arbeiten Praxiserfahrung in den Reinräum des IMN zu erlangen.

Lehrveranstaltungen

Nachfolgend finden Sie eine Übersicht zu den aktuell laufenden Lehrveranstaltungen mit weiterführenden Informationen. Die Vorlesungstermine finden Sie unter https://opentimetable.tu-ilmenau.de/ bzw. unter dem jeweiligen Moodle-Kurs

Lehrveranstaltung

Inhalte der Lehrveranstaltungen

Modultafel für weitere Informationen

Mikrotechnologie / Einführung in die Mikrosystemtechnik

  • Einleitung
  • Skalierung und Ähnlichkeit
  • Basiswerkstoffe
  • Optische Lithographie und Elektronenstrahllithographie
  • Materialstrukturierung: Nassätzen, Trockenätzen
  • Dünnschichttechnologien
  • Mess- und Prüfverfahren

Mikrosensorik und Mikroaktorik

  • Einleitung: Überblick, Begriffe und Skalierung
  • Rauschen in Mikrosystemen
  • Wandlerprinzipien
  • Mikromechanische Biegebalken
  • Dämpfung in Mikrosystemen
  • Mikrosensoren
  • Mikroaktoren

Mikrotechnologie 2

  • Dünnschichttechnologien
  • Materialien der Mikrosystemtechnik
  • Prozessoptimierung mit "Design of Experiments" (Eng)
  • Workflow zur Herstellung eines mikromechanischen Systems
  • MEMS Simulation mit finiten Elementen (FEM)
  • Ausgewählte Systeme der Mikrosystemtechnik

Microtechnology 2

  • Introduction: Scaling Laws, Cleanroom Technology
  • Materials for Microsystems
  • Micro- and Nanolithography
  • Etching Technologies
  • Deposition Technologies
  • Selected Topics

Micorsensors and Microactuators

  • Introduction: overview, definitions and scaling
  • Noise in Microsystems
  • Transducer principles
  • Micromechanical cantilevers
  • Damping in microsystems
  • Microsensors
  • Microactuators