
Klausureinsicht
Termine zur Klausureinsichtnahme werden individuell vergeben. Anfragen erfolgen vorab per Mail an Frau Melanie Stichling.
Es werden jedem Studierenden 15 Minuten Einsicht gewährt. Bitte kommen Sie erst zur angegebenen Zeit im Raum 3120 und halten sie den notwendigen Abstand.
Lehre
Das Fachgebiet Mikrosystemtechnik bietet Lehrveranstaltungen für eine umfassene Ausbildung im Bereich der Mikrosystemtechnik an. Es gibt Vorlesungen sowohl für den Bachelor- als auch für den Masterstudiengang, die oft in einen direkten Bezug zur Praxis darstellen.
Weiterhin werden im Fachgebiet studentische Arbeiten, die der wissenschaftlichen Weiterqualifikation dienen, vergeben. Die Themenstellungen dieser Arbeiten sind sehr of direkt in die Forschungsprojekte des Fachgebietes eingebunden oder können auch in Zusammenarbeit mit Industrieunternehmen durchgeführt werden. Eine Mitgestaltung der Themen durch die Studierenden ist erwünscht. Somit besteht auch die Möglichkeit während der Bearbeitung der studentische Arbeiten Praxiserfahrung in den Reinräum des IMN zu erlangen.
Lehrveranstaltungen
Nachfolgend finden Sie eine Übersicht zu den aktuell laufenden Lehrveranstaltungen mit weiterführenden Informationen. Die Vorlesungstermine finden Sie unter https://opentimetable.tu-ilmenau.de/ bzw. unter dem jeweiligen Moodle-Kurs.
Lehrveranstaltung
Inhalte der Lehrveranstaltungen
Modultafel für weitere Informationen
Mikrotechnologie / Einführung in die Mikrosystemtechnik
- Einleitung
- Skalierung und Ähnlichkeit
- Basiswerkstoffe
- Optische Lithographie und Elektronenstrahllithographie
- Materialstrukturierung: Nassätzen, Trockenätzen
- Dünnschichttechnologien
- Mess- und Prüfverfahren
Mikrosensorik und Mikroaktorik
- Einleitung: Überblick, Begriffe und Skalierung
- Rauschen in Mikrosystemen
- Wandlerprinzipien
- Mikromechanische Biegebalken
- Dämpfung in Mikrosystemen
- Mikrosensoren
- Mikroaktoren
Mikrotechnologie 2
- Dünnschichttechnologien
- Materialien der Mikrosystemtechnik
- Prozessoptimierung mit "Design of Experiments" (Eng)
- Workflow zur Herstellung eines mikromechanischen Systems
- MEMS Simulation mit finiten Elementen (FEM)
- Ausgewählte Systeme der Mikrosystemtechnik
Microtechnology 2
- Introduction: Scaling Laws, Cleanroom Technology
- Materials for Microsystems
- Micro- and Nanolithography
- Etching Technologies
- Deposition Technologies
- Selected Topics
Micorsensors and Microactuators
- Introduction: overview, definitions and scaling
- Noise in Microsystems
- Transducer principles
- Micromechanical cantilevers
- Damping in microsystems
- Microsensors
- Microactuators