Wissenschaftliche Arbeiten

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Günther-Müller, Sarah; Azizy, Raschid; Strehle, Steffen
Droplet motion driven by liquid dielectrophoresis in the low-frequency range. - In: Micromachines, ISSN 2072-666X, Bd. 15 (2024), 1, 151, S. 1-16

Electrohydrodynamic wetting manipulation plays a major role in modern microfluidic technologies such as lab-on-a-chip applications and digital microfluidics. Liquid dielectrophoresis (LDEP) is a common driving mechanism, which induces hydrodynamic motion in liquids by the application of nonhomogeneous electrical fields. Among strategies to analyze droplet movement, systematic research on the influence of different frequencies under AC voltage is missing. In this paper, we therefore present a first study covering the motion characteristics of LDEP-driven droplets of the dielectric liquids ethylene glycol and glycerol carbonate in the driving voltage frequency range from 50 Hz to 1600 Hz. A correlation between the switching speed of LDEP-actuated droplets in a planar electrode configuration and the frequency of the applied voltage is shown. Hereby, motion times of different-sized droplets could be reduced by up to a factor of 5.3. A possible excitation of the droplets within their range of eigenfrequencies is investigated using numerical calculations. The featured fluidic device is designed using larger-sized electrodes rather than typical finger or strip electrodes, which are commonly employed in LDEP devices. The influence of the electrode shape is considered simulatively by studying the electric field gradients.

Lampouras, Ioannis; Holz, Mathias; Strehle, Steffen; Körner, Julia
Precisely controlled batch-fabrication of highly sensitive co-resonant cantilever sensors from silicon-nitride. - In: Journal of micromechanics and microengineering, ISSN 1361-6439, Bd. 34 (2024), 1, 015005, S. 1-14

Dynamic-mode cantilever sensors are based on the principle of a one-side clamped beam being excited to oscillate at or close to its resonance frequency. An external interaction on the cantilever alters its oscillatory state, and this change can be detected and used for quantification of the external influence (e.g. a force or mass load). A very promising approach to significantly improve sensitivity without modifying the established laser-based oscillation transduction is the co-resonant coupling of a micro- and a nanocantilever. Thereby, each resonator is optimized for a specific purpose, i.e. the microcantilever for reliable oscillation detection and the nanocantilever for highest sensitivity through low rigidity and mass. To achieve the co-resonant state, the eigenfrequencies of micro- and nanocantilever need to be adjusted so that they differ by less than approximately 20%. This can either be realized by mass deposition or trimming of the nanocantilever, or by choice of dimensions. While the former is a manual and error-prone process, the latter would enable reproducible batch fabrication of coupled systems with predefined eigenfrequency matching states and therefore sensor properties. However, the approach is very challenging as it requires a precisely controlled fabrication process. Here, for the first time, such a process for batch fabrication of inherently geometrically eigenfrequency matched co-resonant cantilever structures is presented and characterized. It is based on conventional microfabrication techniques and the structures are made from 1 µm thick low-stress silicon nitride. They comprise the microcantilever and high aspect ratio nanocantilever (width 2 µm, thickness about 100 nm, lengths up to 80 µm) which are successfully realized with only minimal bending. An average yield of % of intact complete sensor structures per wafer is achieved. Desired geometric dimensions can be realized within ±1% variation for length and width of the microcantilever and nanocantilever length, ±10% and ±20% for the nanocantilever width and thickness, respectively, resulting in an average variation of its eigenfrequency by 11%. Furthermore, the dynamic oscillation properties are verified by vibration experiments in a scanning electron microscope. The developed process allows for the first time the batch fabrication of co-resonantly coupled systems with predefined properties and controlled matching states. This is an important step and crucial foundation for a broader applicability of the co-resonant approach for sensitivity enhancement of dynamic-mode cantilever sensors.

Reuter, Christoph; Ecke, Gernot; Strehle, Steffen
Exploring the surface oxidation and environmental instability of 2H-/1T’-MoTe2 using field emission based scanning probe lithography. - In: Advanced materials, ISSN 1521-4095, Bd. 36 (2024), 4, 2310887, S. 1-14

An unconventional approach for the resistless nanopatterning 2H- and 1T’-MoTe2 by means of scanning probe lithography is presented. A Fowler-Nordheim tunneling current of low energetic electrons (E = 30-60 eV) emitted from the tip of an atomic force microscopy (AFM) cantilever is utilized to induce a nanoscale oxidation on a MoTe2 nanosheet surface under ambient conditions. Due to the water solubility of the generated oxide, a direct pattern transfer into the MoTe2 surface can be achieved by a simple immersion of the sample in deionized water. The tip-grown oxide was characterized using Auger electron and Raman spectroscopy, revealing it consists of amorphous MoO3/MoOx as well as TeO2/TeOx. With the presented technology in combination with subsequent AFM imaging it was possible to demonstrate a strong anisotropic sensitivity of 1T’-/(Td)-MoTe2 to aqueous environments. We finally used the discussed approach to structure a nanoribbon field effect transistor out of a few-layer 2H-MoTe2 nanosheet. This article is protected by copyright. All rights reserved

Günther-Müller, Sarah;
Electrohydrodynamic microsystems inspired by liquid controlled photonic switching. - Ilmenau : Universitätsbibliothek, 2023. - 1 Online-Ressource (vi, 103, LVI Seiten)
Technische Universität Ilmenau, Dissertation 2023

Diese Arbeit befasst sich mit der Untersuchung von mikrofluidischen Systemen, welche durch Dielektrophorese (engl. liquid dielectrophoresis, LDEP) angetrieben werden. Ausgehend von der Anwendung in einem integrierten optischen Schalter wird ein fluidisches System vorgestellt und zur Untersuchung des Verhaltens dielektrischer Flüssigkeiten unter LDEP-Anregung verwendet. Die Funktion eines nichtflüchtigen bistabilen faseroptischen Schalters, der integrierte Optik und elektrohydrodynamisch (EHD) aktuierte Mikrofluidik kombiniert, wird demonstriert. Grundlegende Untersuchungen zum Bewegungsverhalten von Tropfen im Nanoliterbereich unter LDEP-Anregung liefern neue Einblicke in das Gebiet der EHDKontrolle im mikroskaligen Maßstab. Die Ergebnisse zeigen neue Aspekte des Verhaltens von Flüssigkeiten unter Anregung im Niederfrequenzbereich auf und regen zu weiteren Untersuchungen der beobachteten Effekte an. Darüber hinaus wird eine fortschrittliche technologische Plattform für die Implementierung von mikrofluidischen Systemen vorgestellt, die auf einem Kompositsubstrat aus Silicium und Keramik basiert und neue Anwendungsbereiche für dieses Forschungsfeld eröffnet. Zur Realisierung des innovativen Schaltprinzips wird ein Flüssigkeitssystem vorgestellt: Ethylenglycol (EG) und Glycerolcarbonat (GC) als Tropfenflüssigkeiten in Kombination mit Diphenyl- und Triphenylsulfid (DS und TS) als Umgebungsmedium. Tropfen- und Umgebungsflüssigkeiten können jeweils untereinander kombiniert werden, wobei alle möglichen Kombinationen einen minimalen Brechungsindexunterschied von Δn = 0,16 gewährleisten, der für den Betrieb des Schalters erforderlich ist. Da Tropfen- und Umgebungsflüssigkeiten einen hohen Unterschied in ihren relativen Permittivitäten aufweisen, wird ein auf LDEP basierendes Anregungsprinzip genutzt. Das EHD Substrat wird auf Basis etablierter mikrofluidischer Systeme und Materialien entwickelt. Das Verhalten der Flüssigkeiten unter LDEP-Aktuierung wird durch die Erfassung von Bewegungskurven mittels Hochgeschwindigkeitsaufnahmen charakterisiert. Die Tropfenbewegung wird durch sequentielle Ansteuerung planarer Elektroden mit einem rechteckigen Ansteuersignal bei einer Spannung von URMS = 16 V induziert, wobei verschiedene Ansteuerungsmuster untersucht werden. Im Ergebnis konnte die Schaltzeit eines EG-Tropfens mit einem Durchmesser von 1130μm durch Modifikation des Ansteuerungsmusters von 0,8 s auf 0,25 s reduziert werden. Für einen GC-Tropfen mit einem Durchmesser von 1130 μm liegen die Schaltzeiten zwischen 1,25 s – 1,41 s bei einer Anregungsfrequenz von 100 Hz und 0,5 s – 0,6 s bei 1000 Hz. Die Frequenzabhängigkeit wird über einen Bereich von 20 Hz – 1600 Hz untersucht. Die Transitionszeit eines EG Tropfens mit einer Länge von 1615μm konnte um den Faktor 5,3 und für einen Tropfen mit einem Durchmesser von 630μm um den Faktor 2,8 reduziert werden. Für GC wurde die Transitionszeit um den Faktor 2,5 für eine Länge von 1575 μm und 1,9 für einen Durchmesser von 630 μm reduziert. Mit Hilfe eines numerischen Modells wird die Beziehung zwischen Eigenfrequenz der Tropfen und der frequenzabhängigen Antwort anhand der FFT (schnelle Fourier-Transformation, engl. fast Fourier transform) der Bewegungskurve analysiert.

Günther-Müller, Sarah; Strehle, Steffen
Dielectrophoretic actuation in a microfluidic system with coplanar electrode configuration. - In: IEEE BioSensors 2023 conference proceedings, (2023), insges. 4 S.

This paper presents the analysis of the motion characteristics of droplet transport induced by liquid dielectrophoresis (LDEP). Hereby, a novel fluidic system is demonstrated, which enables droplet transport across a planar surface using a coplanar electrode configuration with adjacent electrodes. The droplet displacement is analyzed by high-speed video imaging and digital image processing. It is demonstrated that droplet motion can be initiated through simplified electrode geometries and the experimental results provide deeper insights into LDEP driven droplet manipulation.

Chnani, Ahmed; Knauer, Andrea; Strehle, Steffen
Ultrathin hematite-hercynite films for future unassisted solar water splitting. - In: Advanced Materials Technologies, ISSN 2365-709X, Bd. 8 (2023), 22, 2300655, S. 1-10

Photoelectrochemical (PEC) water splitting requires stable, efficient, and cost-effective photoelectrodes to enable future large-scale solar hydrogen production. Ultrathin hematite-hercynite photoanodes that meet all these criteria in an excellent way is presented here. Hematite-hercynite photoelectrodes are synthesized in a self-forming manner by thermal oxidation of iron-aluminum alloy films and characterized with regard to water splitting applications. Photoanodes fabricated from 17 wt.% Al at 493 ˚C for 8 h and 685 ˚C for 5 min exhibit, for instance, a photocurrent density of 1.24 and 1.53 mA cm−2 at 1.23 V versus RHE, respectively, as well as superior light absorption in the visible range of the solar spectrum. The PEC performance improvement in comparison to pure hematite thin film electrodes is first achieved by adjusting the aluminum concentration with an optimum range of 12-17 wt.% and second by optimizing the annealing conditions. The resulting photocurrent densities are about a factor of three higher than those obtained from electrodes synthesized from pure iron thin films using the same synthesis conditions. Finally, it is shown that ultrathin hematite-hercynite photoelectrodes enable even unassisted solar water splitting in a NaOH (1 m) electrolyte with a maximum solar-to-hydrogen conversion efficiency of 0.78%.

Phi, Hai Binh; Bohm, Sebastian; Runge, Erich; Dittrich, Lars; Strehle, Steffen
3D passive microfluidic valves in silicon and glass using grayscale lithography and reactive ion etching transfer. - In: Microfluidics and nanofluidics, ISSN 1613-4990, Bd. 27 (2023), 8, 55, S. 1-12

A fabrication strategy for high-efficiency passive three-dimensional microfluidic valves with no mechanical parts fabricated in silicon and glass substrates is presented. 3D diffuser-nozzle valve structures were produced and characterized in their added value in comparison to conventional diffuser-nozzle valve designs with rectangular cross sections. A grayscale lithography approach for 3D photoresist structuring combined with a proportional transfer by reactive ion etching allowed to transfer 3D resist valve designs with high precision into the targeted substrate material. The efficiency with respect to the rectification characteristics or so-called diodicity of the studied valve designs is defined as the ratio of the pressure drops in backward and forward flow directions. The studied valve designs were characterized experimentally as well as numerically based on finite element simulations with overall matching results that demonstrate a significantly improved flow rectification of the 3D valves compared to the corresponding conventional structure. Our novel 3D valve structures show, for instance, even without systematic optimization a measured diodicity of up to 1.5 at low flow rates of only about 10 μl/s.

Brokmann, Ulrike; Weigel, Christoph; Altendorf, Luisa-Marie; Strehle, Steffen; Rädlein, Edda
Wet chemical and plasma etching of photosensitive glass. - In: Solids, ISSN 2673-6497, Bd. 4 (2023), 3, S. 213-234

Photosensitive glasses for radiation-induced 3D microstructuring, due to their optical transparency and thermal, mechanical, and chemical resistance, enable the use of new strategies for numerous microscale applications, ranging from optics to biomedical systems. In this context, we investigated the plasma etching of photosensitive glasses after their exposure and compared it to the established wet chemical etching method, which offers new degrees of freedom in microstructuring control and microsystem fabrication. A CF4/H2 etching gas mixture with a constant volumetric flow of 30 sccm and a variable H2 concentration from 0% to 40% was utilized for plasma-based etching, while for wet chemical etching, diluted hydrofluoric acid (1% ≤ cHF ≤ 20%) was used. Therefore, both etching processes are based on a chemical etching attack involving fluorine ions. A key result is the observed reversion of the etch selectivity between the initial glassy and partially crystallized parts that evolve after UV exposure and thermal treatment. The crystallized parts were found to be 27 times more soluble than the unexposed glass parts during wet chemical etching. During the plasma etching process, the glassy components dissolve approximately 2.5 times faster than the partially crystalline components. Unlike wet chemical etching, the surfaces of plasma etched photostructured samples showed cone- and truncated-cone-shaped topographies, which supposedly resulted from self-masking effects during plasma etching, as well as a distinct physical contribution from the plasma etching process. The influences of various water species on the etching behaviors of the homogeneous glass and partially crystallized material are discussed based on FTIR-ATR and in relation to the respective etch rates and SNMS measurements.

Stauffenberg, Jaqueline; Reibe, Michael; Krötschl, Anja; Reuter, Christoph; Ortlepp, Ingo; Dontsov, Denis; Hesse, Steffen; Rangelow, Ivo W.; Strehle, Steffen; Manske, Eberhard
Tip-based nanofabrication below 40 nm combined with a nanopositioning machine with a movement range of Ø100 mm. - In: Micro and nano engineering, ISSN 2590-0072, Bd. 19 (2023), 100201, S. 1-5

In this paper, the combination of an advanced nanopositioning technique and a tip-based system, which can be used as an atomic force microscope (AFM) and especially for field emission scanning probe lithography (FESPL) is presented. This is possible through the use of active microcantilevers that allow easy switching between measurement and write modes. The combination of nanopositioning and nanomeasuring machines and tip-based systems overcomes the usual limitations of AFM technology and makes it possible to perform high-precision surface scanning and nanofabrication on wafer sizes up to 4 in. We specifically discuss the potential of nanofabrication via FESPL in combination with the nanofabrication machine (NFM-100). Results are presented, where nanofabrication is demonstrated in form of a spiral path over a total length of 1 mm and the potential of this technique in terms of accuracy is discussed. Furthermore, ten lines were written with a pitch of 100 nm and a linewidth below 40 nm was achieved, which is in principle possible over the entire range of motion.

Wedrich, Karin; Cherkasova, Valeriya; Platl, Vivien; Fröhlich, Thomas; Strehle, Steffen
Stiffness considerations for a MEMS-based weighing cell. - In: Sensors, ISSN 1424-8220, Bd. 23 (2023), 6, 3342, S. 1-15

In this paper, a miniaturized weighing cell that is based on a micro-electro-mechanical-system (MEMS) is discussed. The MEMS-based weighing cell is inspired by macroscopic electromagnetic force compensation (EMFC) weighing cells and one of the crucial system parameters, the stiffness, is analyzed. The system stiffness in the direction of motion is first analytically evaluated using a rigid body approach and then also numerically modeled using the finite element method for comparison purposes. First prototypes of MEMS-based weighing cells were successfully microfabricated and the occurring fabrication-based system characteristics were considered in the overall system evaluation. The stiffness of the MEMS-based weighing cells was experimentally determined by using a static approach based on force-displacement measurements. Considering the geometry parameters of the microfabricated weighing cells, the measured stiffness values fit to the calculated stiffness values with a deviation from -6.7 to 3.8% depending on the microsystem under test. Based on our results, we demonstrate that MEMS-based weighing cells can be successfully fabricated with the proposed process and in principle be used for high-precision force measurements in the future. Nevertheless, improved system designs and read-out strategies are still required.

Azizy, Raschid; Otto, Henning; König, Jörg; Schreier, David; Weigel, Christoph; Cierpka, Christian; Strehle, Steffen
A microfluidic magnetohydrodynamic pump based on a thermally bonded composite of glass and dry film photoresist. - In: Micro and nano engineering, ISSN 2590-0072, Bd. 18 (2023), 100173, S. 1-8

Miniaturized on-chip micropumps with no moving parts are intriguing components for advanced lab-on-chip systems. Magnetohydrodynamic pumping is one possibility but requires further research with respect to microsystems design and fabrication. In this paper, the design and fabrication of a magnetohydrodynamic micropump is discussed using a composite of patterned glass and stacked dry film photoresist as demonstrator platform. The magnetohydrodynamic pumping effect is achieved by the superposition of an electric ion current generated by integrated electrodes and an external magnetic field provided by a permanent magnet. As test electrolytes, potassium chloride with potassium hexacyanoferrate (III) and potassium hexacyane iron (II) were used. Seamless fluid channel sidewalls were achieved from stacked dry film resists, which appear to be cast from a single mold. A liquid-tight sealing of the microchannels was realized by covering them with a thermally bonded laser-structured glass lid. Although, a complete characterization of the pump performance was not yet realized, the micropump in its current state serves as a technology demonstrator for further research of microfluidic on-chip micropumps that utilize the magnetohydrodynamic effect and also for other microfluidic systems.

Weigel, Christoph; Cherkasova, Valeriya; Holz, Mathias; Phi, Hai Binh; Görner Tenorio, Christian; Wilbertz, Björn; Voßgrag, Leonard; Fröhlich, Thomas; Strehle, Steffen
Ultralow expansion glass as material for advanced micromechanical systems. - In: Advanced engineering materials, ISSN 1527-2648, Bd. 25 (2023), 9, 2201873, S. 1-14

Ultralow expansion (ULE) glasses are of special interest for temperature stabilized systems for example in precision metrology. Nowadays, ULE materials are mainly used in macroscopic and less in micromechanical systems. Reasons for this are a lack of technologies for parallel fabricating high-quality released microstructures with a high accuracy. As a result, there is a high demand in transferring these materials into miniaturized application examples, realistic system modeling, and the investigation of microscopic material properties. Herein, a technological base for fabricating released micromechanical structures and systems with a structure height above 100 μm in ULE 7972 glass is established. Herein, the main fabrication parameters that are important for the system design and contribute thus to the introduction of titanium silicate as material for glass-based micromechanical systems are discussed. To study the mechanical properties in combination with respective simulation models, microcantilevers are used as basic mechanical elements to evaluate technological parameters and other impact factors. The implemented models allow to predict the micromechanical system properties with a deviation of only ±5% and can thus effectively support the micromechanical system design in an early stage of development.

Kadiâc, Samir; Takana, Pavel; Dreschmann, Michael; Buck, Thomas; Dörr, Aaron; Serout, Anne; Hoffmann, Jochen; Strehle, Steffen; Lärmer, Franz
Precision meets high throughput - contactless single-cell sorting using an electrically passive microwell array. - In: 25th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2021), (2022), S. 135-136

Modern dielectrophoresis (DEP)-based microchips permit the isolation of pure single cells from heterogeneous cell mixtures. However, sorting throughputs and sample loading capacities are limited and active on-chip circuitry keeps the costs per sorted cell comparatively high. To overcome these problems, we have developed a novel DEP sorter consisting of a three-metal-layer microwell array. The entirely passive architecture of our device allows for inexpensive fabrication and universal sample input volumes. Nonetheless, experimental results revealed that our prototype exceeds the sorting speed of commercially available DEP sorters by at least one order of magnitude while maintaining single-cell precision and avoiding physical cell contact.

Azizy, Raschid; König, Jörg; Bucklitsch, Paul; Schreier, David; Günther-Müller, Sarah; Wedrich, Karin; Weigel, Christoph; Cierpka, Christian; Strehle, Steffen
Fertigung magneto-mikrofluidischer Mikropumpen durch Kombination von Glas, Trockenfilm-Resist und 3D-Druck. - In: Mikrosystemtechnik, (2022), S. 69-72

Wedrich, Karin; Ohl, Friedemann; Fröhlich, Thomas; Strehle, Steffen
Evaluation von MEMS-Führungskonzepten mit hohem Steifigkeitsverhältnis von Querrichtung und Hauptfunktionsrichtung. - In: Mikrosystemtechnik, (2022), S. 49-52

Weigel, Christoph; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin; Strehle, Steffen
Mikrostrukturierte Spezialgläser für mikromechanische und mikrooptische Anwendungen. - In: Mikrosystemtechnik, (2022), S. 35-38

Otto, Henning; Azizy, Raschid; Schreier, David; König, Jörg; Weigel, Christoph; Strehle, Steffen; Cierpka, Christian
Entwicklung eines magnetohydrodynamischen Pumpsystems für die Mikrofluidik. - In: Experimentelle Strömungsmechanik - 29. Fachtagung, 6.-8. September 2022, Ilmenau, (2022), 38

Mohr-Weidenfeller, Laura; Kleinholz, Cathleen; Müller, Björn; Gropp, Sebastian; Günther-Müller, Sarah; Fischer, Michael; Müller, Jens; Strehle, Steffen
Thermal analysis of the ceramic material and evaluation of the bonding behavior of silicon-ceramic composite substrates. - In: Journal of micromechanics and microengineering, ISSN 1361-6439, Bd. 32 (2022), 10, 105004, S. 1-9

Bohm, Sebastian; Phi, Hai Binh; Moriyama, Ayaka; Runge, Erich; Strehle, Steffen; König, Jörg; Cierpka, Christian; Dittrich, Lars
Highly efficient passive Tesla valves for microfluidic applications. - In: Microsystems & nanoengineering, ISSN 2055-7434, Bd. 8 (2022), 1, 97, S. 1-12

A multistage optimization method is developed yielding Tesla valves that are efficient even at low flow rates, characteristic, e.g., for almost all microfluidic systems, where passive valves have intrinsic advantages over active ones. We report on optimized structures that show a diodicity of up to 1.8 already at flow rates of 20 μl s^-1 corresponding to a Reynolds number of 36. Centerpiece of the design is a topological optimization based on the finite element method. It is set-up to yield easy-to-fabricate valve structures with a small footprint that can be directly used in microfluidic systems. Our numerical two-dimensional optimization takes into account the finite height of the channel approximately by means of a so-called shallow-channel approximation. Based on the three-dimensionally extruded optimized designs, various test structures were fabricated using standard, widely available microsystem manufacturing techniques. The manufacturing process is described in detail since it can be used for the production of similar cost-effective microfluidic systems. For the experimentally fabricated chips, the efficiency of the different valve designs, i.e., the diodicity defined as the ratio of the measured pressure drops in backward and forward flow directions, respectively, is measured and compared to theoretical predictions obtained from full 3D calculations of the Tesla valves. Good agreement is found. In addition to the direct measurement of the diodicities, the flow profiles in the fabricated test structures are determined using a two-dimensional microscopic particle image velocimetry (μPIV) method. Again, a reasonable good agreement of the measured flow profiles with simulated predictions is observed.

Hebenstreit, Roman; Wedrich, Karin; Strehle, Steffen; Manske, Eberhard; Theska, René
First prototype of a positioning device with subatomic resolution. - In: Proceedings of the 22nd International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, (2022), S. 97-100

In the forthgoing work on a device that enables subatomic resolved highly reproducible positioning, a first prototype is here presented. The entire positioning system including the actuator, sensor and guiding mechanism, is realized as a micro-electro-mechanical system (MEMS) on chip level, based on silicon-on-insulator (SOI) technology. A modular printed circuit board acts as the mechanical as well as the electrical contacting interface for the silicon chip. First variants of a linear positioning system comprising axisymmetric double parallel crank structure are investigated. Pivot joints as flexure hinges with concentrated compliance are deployed. These hinges show minimal rotational axis displacement for small angles of deflection, thus ensuring smallest deviations to a straight-line path of the linear guiding mechanism. An electrostatic comb actuator transmits forces contactless to minimize over constraints. A measuring bridge in differential mode utilizes the same comb structures to measure the table position based on the capacitance change. Estimating the position resolution, limited by the resolution of the capacitive sensor, a measurable step width below 50 pm can be expected. In further steps, the device will be a platform to be equipped with a lattice-scale-based position measurement system according to achieve an even higher resolution and reproducibility.

Lambri, Osvaldo Agustin; Weidenfeller, Bernd; Bonifacich, Federico Guillermo; Mohr-Weidenfeller, Laura; Lambri, F. D.; Xu, Jiayi; Zelada, Griselda I.; Endres, Frank
Study of the damping behaviour in samples consisting of iron electro-deposited on copper in an ionic liquid. - In: Journal of alloys and compounds, ISSN 1873-4669, Bd. 918 (2022), 165462

Copper-iron alloys were produced at room temperature by means of electrodeposition of iron on a copper substrate in an ionic liquid (1-butyl-1-methylpyrrolidinium trifluoromethylsulfonate [Py1,4]TfO). Samples with different electrodeposition times were studied using mechanical spectroscopy, scanning electron microscopy, light microscopy and magnetic loops techniques. Independent of the electrodeposition time the electrodeposition process leads to the promotion of a thin layer of iron onto the copper surface without iron diffusion into the substrate. The damping spectra for electrosposited samples in the as-electrodeposited state show the characteristic low and intermediate grain boundary damping peaks from copper as well as the solvent grain boundary damping peak from the electrodeposited iron. Thermal annealing at temperatures near 973 K leads to the appearance of Fe particles at the interface between the copper and iron (Cu + α-Fe phase) leading to a new damping peak at around 680 K whose driving force is the diffusion of copper atoms around the second phase particles.

Ortlepp, Ingo; Stauffenberg, Jaqueline; Krötschl, Anja; Dontsov, Denis; Zöllner, Jens-Peter; Hesse, Steffen; Reuter, Christoph; Strehle, Steffen; Fröhlich, Thomas; Rangelow, Ivo W.; Manske, Eberhard
Nanofabrication and -metrology by using the nanofabrication machine (NFM-100). - In: Novel Patterning Technologies 2022, (2022), 120540A, S. 120540A-1-120540A-12

The feature dimensions of integrated circuits are becoming smaller and the fabrication, metrology and inspection is becoming harder to be fulfilled. Fast-writing of long respectively large nano-features with Scanning-ProbeLithography and their inspection with an Atomic Force Microscope (AFM) is a challenge, for the accomplishment of which the Nanofabrication Machine (NFM-100) can serve as a beneficial experimental platform for basic research in the field of scale-spanning nanomeasuring and nanofabrication. The NFM-100 has an integrated tipbased system, which can be used as an AFM as well as for Field-Emission Scanning Probe Lithography (FESPL). The combination of both systems offers the possibility to fabricate and analyze micro- and nanostructures with high resolution and precision down to a single nanometre over a large area of 100 mm in diameter in a single configuration without tool or sensor change. Thus, in contrast to conventional optical inspection and alignment systems, the NFM-100 offers the potential for full lithographic and metrological automation. For FESPL, the implemented active probes enable an in-situ inspection capability, a quantitative mapping at unprecedented resolution, as well as an integrated overlay alignment system. In this paper, the basic set-up of the NFM-100 as well as the capability of the system for long range AFM scans and FESPL is demonstrated.

Hofmann, Martin; Holz, Mathias; Plank, Harald; Strehle, Steffen
Localized direct material removal and deposition by nanoscale field emission scanning probes. - In: Micro and nano engineering, ISSN 2590-0072, Bd. 16 (2022), 100146, S. 1-5

The manufactory of advanced micro- and nanoscale devices relies on capable patterning strategies. Focused electron beams, as for instance implemented since long in electron beam lithography and electron beam induced deposition, are in this regard key enabling tools especially at the early stages of device development and research. We show here that nanoscale field emission scanning probes can be potentially utilized as well for a prospective direct device fabrication by localized material deposition but notably, also by localized material removal. Field emission scanning probe processing was specifically realized on 10 nm chromium and 50 nm gold thin film stacks deposited on a (1 × 1) cm2 fused silica substrate. Localized material deposition and metal removal was studied in various atmospheres comprising high vacuum, nitrogen, ambient air, naphthalene and carbon-dioxide. Stable and reliable regimes were in particular obtained in a carbonaceous atmosphere. Hence, localized carbon deposits were obtained but also localized metal removal was realized. We demonstrate furthermore that the selected electron emission parameters (20 V - 80 V, 180 pA) and the overall operation environment are crucial aspects that determine the degree of material deposition and removal. Based on our findings, direct tip-based micro- to nanoscale material patterning appears possible. The applied energy regime is also enabling new insights into low energy (< 100 eV) electron interaction. However, the underlying mechanisms must be further elucidated.

Mohr-Weidenfeller, Laura; Hofmann, Martin; Birli, Oliver; Häcker, Annika-Verena; Reinhardt, Carsten; Manske, Eberhard
Metrologische Nanopositionierung kombiniert mit Zwei-Photonen-Laserdirektschreiben :
Metrological nanopositioning combined with two-photon direct laser writing. - In: Technisches Messen, ISSN 2196-7113, Bd. 89 (2022), 7/8, S. 507-514

The extension of nanopositioning and nanomeasuring machines (NPM-machines) to fabrication machines by using a femtosecond laser for the implementation of direct laser writing by means of two-photon absorption (2PA) is a promising approach for cross-scale metrological fabrication in the field of lithographic techniques [24]. To this end, a concept for integrating two-photon technology into an NPM machine was developed and implemented, followed by a characterization of the system and targeted investigations to provide evidence for the synergy of the two techniques. On this basis, a new approach to high-throughput micro- and nano-fabrication was developed and investigated, demonstrating new possibilities in cross-scale, high-precision manufacturing [6]. This mix-and-match approach is based on a combination of 2PA laser writing with field emission lithography to fabricate masters for subsequent nanoimprint lithography. Not only the advantages of the large positioning range of the NMM-1 could be highlighted, but also the advantages resulting from the highly accurate positioning. A systematic reduction of the distance between two adjacent lines resulted in a minimum photoresist width of less than [Math Processing Error] [16], which can be classified among the smallest distances between two laser-written lines described in the literature [4], [10], [20]. The center-to-center distance of the lines of about [Math Processing Error] at a numerical aperture of 0.16 and a wavelength of 801 nm is only about [Math Processing Error] of the Rayleigh diffraction limit extended for the two-photon process. Thus, for the first time, a resist width far below the diffraction limit could be realized with conventional two-photon laser writing in positive photoresist.

Häcker, Annika-Verena; Mohr-Weidenfeller, Laura; Stolzenberg, Clara F. L.; Reinhardt, Carsten; Manske, Eberhard
Modifications to a high-precision direct laser writing setup to improve its laser microfabrication. - In: Laser-Based Micro- and Nanoprocessing XVI, (2022), 119890U, S. 119890U-1-119890U-7

Two-photon-absorption (2PA) techniques enables the possibility to create extremely fine structures in photosensitive materials. For direct laser writing as micro- or nanofabrication a laser system can be combined with highly precise positioning systems. These are mostly limited by a few hundreds micrometer positioning range with applications based on piezoelectric stages or even just relatively few tens micrometer positioning range with applications based on galvanometer scanners. Although these techniques are precise, but stitching methods are required for larger fabrication areas. Therefore, a setup consisting of a femtosecond laser for 2PA and a nanopositioning and nanomeasuring machine (NMM-1) was developed for high precision laser writing on lager surfaces. Further developments of the system should enable a significant improvement in high-precision and stitching free direct laser writing. In order to combine the the femtosecond laser and the NMM-1 into a functional unit, to write complex structures with highest accuracy and homogeneity, further improvements like a beam expansion for a better use of the numerical aperture of the objective and a new femtosecond laser with a integrated power measurement are realized. This showed improvements in line width for nano strucuring. Advantages and disadvantages as well as further developments of the NMM-1 system will be discussed related to current developments in the laser beam and nanopositioning system optimization.

Salimitari, Parastoo; Behroudj, Arezo; Strehle, Steffen
Aligned deposition of bottom-up grown nanowires by two-directional pressure-controlled contact printing. - In: Nanotechnology, ISSN 1361-6528, Bd. 33 (2022), 23, 235301, S. 1-9

Aligned large-scale deposition of nanowires grown in a bottom-up manner with high yield is a persisting challenge but required to assemble single-nanowire devices effectively. Contact printing is a powerful strategy in this regard but requires so far adequate adjustment of the tribological surface interactions between nanowires and target substrate, e.g. by microtechnological surface patterning, chemical modifications or lift-off strategies. To expand the technological possibilities, we explored two-directional pressure-controlled contact printing as an alternative approach to efficiently transfer nanowires with controlled density and alignment angle onto target substrates through vertical-force control. To better understand this technology and the mechanical behavior of nanowires during the contact printing process, the dynamic bending behavior of nanowires under varying printing conditions is modeled by using the finite element method. We show that the density and angular orientation of transferred nanowires can be controlled using this three-axis printing approach, which thus enables potentially a controlled nanowire device fabrication on a large scale.

Chnani, Ahmed; Kurniawan, Mario; Bund, Andreas; Strehle, Steffen
Nanometer-thick hematite films as photoanodes for solar water splitting. - In: ACS applied nano materials, ISSN 2574-0970, Bd. 5 (2022), 2, S. 2897-2905

Photoelectrochemical (PEC) water splitting is one of the most promising sustainable methods for feasible solar hydrogen production. However, this method is still impractical due to the lack of suitable photoanode materials that are efficient, stable, and cost-effective. Here, we present a surprisingly simple fabrication method for efficient, stable, and cost-effective nanometer-thick hematite films utilizing a rapid, ambient annealing approach. In the oxygen evolution reaction, the fabricated hematite films exhibit a Faradaic efficiency of 99.8% already at 1 V versus the reversible hydrogen electrode (RHE), a real photocurrent density of 2.35 mA cm-2 at 1.23 V versus RHE, and a superior photo-oxidation stability recorded for over 1000 h. Considering the active surface area, the measured photocurrent density is higher than any value achieved so far by hematite and other single-material thin-film photoanodes. Hence, we show for the first time that undoped hematite thin films can compete with doped hematite and other semiconductor materials.

Kapitz, Marek; Aus der Wiesche, Stefan; Kadic, Samir; Strehle, Steffen
An experimental test of the Mocikat-Herwig theory of local turbulent heat transfer measurements on cold objects. - In: Heat and mass transfer, ISSN 1432-1181, Bd. 58 (2022), 6, S. 1041-1055

Experimental results are presented of a test of the theory of local turbulent heat transfer measurements proposed by Mocikat and Herwig in 2007. A miniaturized multi-layer heat transfer sensor was developed and employed in this study. The new heat transfer sensor was designed to work in air and liquids, and this capability enabled the simultaneous investigation of different Prandtl numbers. Two basic configurations, namely the flow past a blunt plate and the flow past an inclined square cylinder, were investigated in test sections of wind and water tunnels. Convective heat transfer coefficients were obtained through conventional testing (i.e., employing thoroughly heated test objects) and using the new miniaturized sensor approach (i.e., utilizing cold test objects without heating). The main prediction of the Mocikat-Herwig theory that a specific thermal adjustment coefficient of the employed actual miniaturized heat transfer sensor should exist in the fully turbulent flow regime was proven for developed two-dimensional flow. The observed effect of the Prandtl number on this coefficient was in good agreement with the prediction of the asymptotic expansion method. The square cylinder results indicated the inherent limits of the local turbulent heat transfer measurement approach, as suggested by Mocikat and Herwig.

Chnani, Ahmed; Strehle, Steffen
Hematite nanowire and nanoflake-decorated photoelectrodes: implications for photoelectrochemical water splitting. - In: ACS applied nano materials, ISSN 2574-0970, Bd. 5 (2022), 1, S. 1016-1022

Hematite, a low-cost, nontoxic, and earth-abundant n-type semiconductor, is still an intriguing photoanode material for photoelectrochemical (PEC) water splitting. Nevertheless, the PEC performance of hematite is still hindered by ultrafast recombination rates or short diffusion lengths of charge carriers. Therefore, nanostructure implementation has been proposed in this and other cases to overcome this limitation, while simultaneously improving the photon harvesting efficiency. However, this approach must be critically reviewed. We show that both, hematite nanowire- and nanoflake-decorated photoelectrodes, show a low PEC performance in a NaOH (1 M) electrolyte. Reproducible nanostructure synthesis was achieved by the thermal oxidation of low-cost steel foils using only ambient air. Full absolute-energy reconstruction under ambient conditions of the electronic surface band structure of these nanostructured surfaces showed distinct Fermi-level pinning, resulting in high recombination rates. Based on our results, we can conclude that unmodified nanostructures hardly improve the performance but suffer from the lack of internal electrical splitting fields, which suppresses the electron-hole pair separation and can thus actually decrease the performance of PEC electrodes.

Roos, Michael M.; Winkler, Andreas; Nilsen, Madeleine; Menzel, Siegfried B.; Strehle, Steffen
Towards green 3D-microfabrication of Bio-MEMS devices using ADEX dry film photoresists. - In: International journal of precision engineering and manufacturing-green technology, ISSN 2198-0810, Bd. 9 (2022), 1, S. 43-57

Current trends in miniaturized diagnostics indicate an increasing demand for large quantities of mobile devices for health monitoring and point-of-care diagnostics. This comes along with a need for rapid but preferably also green microfabrication. Dry film photoresists (DFPs) promise low-cost and greener microfabrication and can partly or fully replace conventional silicon-technologies being associated with high-energy demands and the intense use of toxic and climate-active chemicals. Due to their mechanical stability and superior film thickness homogeneity, DFPs outperform conventional spin-on photoresists, such as SU-8, especially when three-dimensional architectures are required for micro-analytical devices (e.g. microfluidics). In this study, we utilize the commercial epoxy-based DFP ADEX to demonstrate various application scenarios ranging from the direct modification of microcantilever beams via the assembly of microfluidic channels to lamination-free patterning of DFPs, which employs the DFP directly as a substrate material. Finally, kinked, bottom-up grown silicon nanowires were integrated in this manner as prospective ion-sensitive field-effect transistors in a bio-probe architecture directly on ADEX substrates. Hence, we have developed the required set of microfabrication protocols for such an assembly comprising metal thin film deposition, direct burn-in of lithography alignment markers, and polymer patterning on top of the DFP.

Weigel, Christoph; Brokmann, Ulrike; Hofmann, Meike; Behrens, Arne; Rädlein, Edda; Hoffmann, Martin; Strehle, Steffen; Sinzinger, Stefan
Perspectives of reactive ion etching of silicate glasses for optical microsystems. - In: Journal of optical microsystems, ISSN 2708-5260, Bd. 1 (2021), 4, S. 040901-1-040901-22

We provide a review of the latest research findings as well as the future potential of plasma-based etching technology for the fabrication of micro-optical components and systems. Reactive ion etching (RIE) in combination with lithographic patterning is a well-established technology in the field of micro- and nanofabrication. Nevertheless, practical implementation, especially for plasma-based patterning of complex optical materials such as alumino-silicate glasses or glass-ceramics, is still largely based on technological experience rather than established models. Such models require an in-depth understanding of the underlying chemical and physical processes within the plasma and at the glass-plasma/mask-plasma interfaces. We therefore present results that should pave the way for a better understanding of processes and thus for the extension of RIE processes toward innovative three-dimensional (3D) patterning as well as for the processing of chemically and structurally inhomogeneous silicate-based substrates. To this end, we present and discuss the results of a variety of microstructuring strategies for different application areas with a focus on micro-optics. We consider the requirements for refractive and diffractive micro-optical systems and highlight potentials for 3D dry chemical etching by selective tailoring of the material structure. The results thus provide first steps toward a knowledge-based approach to RIE processing of universal dielectric glass materials for optical microsystems, which also has a significant impact on other microscale applications.

Phi, Hai Binh; Bohm, Sebastian; Runge, Erich; Strehle, Steffen; Dittrich, Lars
Wafer-level fabrication of an EWOD-driven micropump. - In: MikroSystemTechnik, (2021), S. 574-577

Salimitari, Parastoo; Reuter, Christoph; Krötschl, Anja; Strehle, Steffen
Assembly of single-nanowires by combining soft transfer and surface controlled contact printing. - In: MikroSystemTechnik, (2021), S. 442-445

Weigel, Christoph; Phi, Hai Binh; Akkad, Mohamad; Strehle, Steffen
Effiziente Plasmastrukturierung komplexer Gläser mit polymeren Resistmasken durch statistische Versuchsplanung. - In: MikroSystemTechnik, (2021), S. 422-425

Weigel, Christoph; Brokmann, Ulrike; Rädlein, Edda; Strehle, Steffen
Maskless pattern transfer into photostructurable glasses by deep plasma etching. - In: MikroSystemTechnik, (2021), S. 419-421

Mohr-Weidenfeller, Laura; Gropp, Sebastian; Azizy, Raschid; Müller, Björn; Bucklitsch, Paul; Müller, Jens; Strehle, Steffen
Evaluation of a low-temperature fabrication technology for silicon-ceramic-composite-substrates. - In: MikroSystemTechnik, (2021), S. 392-395

We evaluate a low-temperature fabrication process of silicon-ceramic-composite substrates that is dry film photoresist based interlayer film set between the silicon and the ceramic substrate. Adequate adhesion to silicon as well as to low-temperature cofired ceramics (LTCC) together with the existing long-term experience render polymeric photoresists as intriguing interlayer bond film. Due to their superior film thickness homogeneity and the fact that pre-defined surface features can be effectively balanced, we utilized in our study the commercial dry film photoresists Ordyl FP 415 and Ordyl SY 330. We fabricated in this regard successfully silicon-ceramic composite substrate that fully enabled UV-laser photolithography as well as plasma dry etching of silicon structures. We discuss furthermore, aspects of the utilized thermal treatment procedure comprising parameters like the interface bond strength as well as the wafer bow, the possibilities and limitations of an interface patterning and the overall long-term stability in wet and dry environment.

Kadic, Samir; Du, Tianxing; Roth, Astrid; Dörr, Aaron; Knapp, Michael; Hoffmann, Jochen; Serout, Anne; Strehle, Steffen; Lärmer, Franz
Hoch-sensitive und vollautomatisierte Quantifizierung von zirkulierenden epithelialen Tumorzellen aus Vollblut. - In: MikroSystemTechnik, (2021), S. 226-229

Mehner, Hannes; Schmitt, Philip; Hoffmann, Martin
Mikrosysteme zur Messung von Haftreib- und Gleitreibfaktoren an DRIE geätzten Seitenwänden bei hohen Normalkräften im mN-Bereich. - In: MikroSystemTechnik, (2021), S. 110-113

Weigel, Christoph; Phi, Hai Binh; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan; Strehle, Steffen
Vergleich zur Plasmastrukturierbarkeit von Materialien mit sehr geringer thermischer Ausdehnung. - In: MikroSystemTechnik, (2021), S. 51-54

Dashtestani, Ashkan Djaberi; Moeinian, Ardeshir; Biskupek, Johannes; Strehle, Steffen
Contamination-assisted rather than metal catalyst-free bottom-up growth of silicon nanowires. - In: Advanced materials interfaces, ISSN 2196-7350, Bd. 8 (2021), 22, 2101121, insges. 9 S.

Well-established metal-catalyzed vapor-liquid-solid (VLS) growth represents still undoubtedly the key technology for bottom-up synthesis of single-crystalline silicon nanowires (SiNWs). Although various SiNW applications are demonstrated, electrical and optical properties are exposed to the inherent risk of electronic deep trap state formation by metal impurities. Therefore, metal catalyst-free growth strategies are intriguing. The oxid-assisted SiNW synthesis is explored and it is shown that contamination control is absolutely crucial. Slightest metal impurities, such as iron, are sufficient to trigger SiNW growth, calling into question true metal catalyst-free SiNW synthesis. Therefore, the term contamination-assisted is rather introduced and it is shown that contamination-assisted SiNW growth is determined by the chemical surface treatment (e.g., with KOH solution), but also by the crystal orientation of a silicon substrate. SiNWs are grown in this regards in a reproducible manner, but so far with a distinct tapering, using a conventional gas-phase reactor system at temperatures of about 680 &ring;C and monosilane (SiH4) as the precursor gas. The synthesized SiNWs show convincing electrical properties compared to Au-catalyzed SiNWs. Nevertheless, contamination-assisted growth of SiNWs appears to be an important step toward bottom-up synthesis of high-quality SiNWs with a lower risk of metal poisoning, such as those needed for CMOS and other technologies.

Mohr-Weidenfeller, Laura; Hofmann, Martin; Birli, Oliver; Häcker, Annika-Verena; Reinhardt, Carsten; Manske, Eberhard
Two-photon direct laser writing with metrologically traceable positioning :
Direktes Laserschreiben auf Basis von Zwei-Photonen-Absorption mit metrologisch rückführbarer Positionierung. - In: Technisches Messen, ISSN 2196-7113, Bd. 88 (2021), S. S22-S27

Die Erweiterung von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (NPM-Maschinen) zu Fabrikationsmaschinen durch den Einsatz eines Femtosekundenlasers für die Umsetzung von direktem Laserschreiben mittels Zwei-Photonen-Absorption (2PA) ist ein vielversprechender Ansatz zur skalenübergreifenden metrologischen Fertigung im Bereich der lithografischen Techniken [23]. Dazu wurde zunächst ein Konzept zur Integration der Zwei-Photonen-Technologie in eine NPM-Maschine entwickelt und umgesetzt. Anschließend erfolgten eine Charakterisierung des Systems sowie gezielte Untersuchungen, um den Nachweis für die Synergie der beiden Techniken zu erbringen. Auf dieser Grundlage wurde ein neuer Ansatz zur Mikro- und Nanofabrikation mit hohem Durchsatz entwickelt und untersucht, welcher neue Möglichkeiten in der skalenübergreifenden, hochpräzisen Fertigung aufzeigt [5]. Dieser Mix-and-Match-Ansatz basiert auf einer Verbindung von 2PA-Laserschreiben mit Feldemissionslithografie zur Herstellung von Mastern für anschließende Nanoimprintlithografie. Nicht nur die Vorteile des großen Positionierbereichs der NMM-1 konnten herausgestellt werden, sondern auch die Vorteile, die sich durch die hochgenaue Positionierung ergeben. Eine systematische Reduzierung des Abstands zweier benachbarter Linien führte zu einer minimalen Stegbreite von unter 30 nm [15], was bei den kleinsten in der Literatur beschriebenen Distanzen zwischen zwei lasergeschriebenen Linien einzuordnen ist [3, 9, 19]. Die Center-to-Center-Distanz der Linien von etwa 1.695 [my]m bei einer numerischen Apertur von 0.16 und einer Wellenlänge von 801 nm beträgt nur etwa 56 % der für den Zweiphotonenprozess erweiterten Beugungsbegrenzung nach Rayleigh. Erstmalig konnte somit eine Stegbreite weit unterhalb der Beugungsbegrenzung mit herkömmlichem Zwei-Photonen-Laserschreiben in Positiv-Photolack realisiert werden.

Ortlepp, Ingo; Fröhlich, Thomas; Füßl, Roland; Reger, Johann; Schäffel, Christoph; Sinzinger, Stefan; Strehle, Steffen; Theska, René; Zentner, Lena; Zöllner, Jens-Peter; Rangelow, Ivo W.; Reinhardt, Carsten; Hausotte, Tino; Cao, Xinrui; Dannberg, Oliver; Fern, Florian; Fischer, David; Gorges, Stephan; Hofmann, Martin; Kirchner, Johannes; Meister, Andreas; Sasiuk, Taras; Schienbein, Ralf; Supreeti, Shraddha; Mohr-Weidenfeller, Laura; Weise, Christoph; Reuter, Christoph; Stauffenberg, Jaqueline; Manske, Eberhard
Tip- and laser-based 3D nanofabrication in extended macroscopic working areas. - In: Nanomanufacturing and metrology, ISSN 2520-8128, Bd. 4 (2021), 3, S. 132-148

The field of optical lithography is subject to intense research and has gained enormous improvement. However, the effort necessary for creating structures at the size of 20 nm and below is considerable using conventional technologies. This effort and the resulting financial requirements can only be tackled by few global companies and thus a paradigm change for the semiconductor industry is conceivable: custom design and solutions for specific applications will dominate future development (Fritze in: Panning EM, Liddle JA (eds) Novel patterning technologies. International society for optics and photonics. SPIE, Bellingham, 2021. https://doi.org/10.1117/12.2593229). For this reason, new aspects arise for future lithography, which is why enormous effort has been directed to the development of alternative fabrication technologies. Yet, the technologies emerging from this process, which are promising for coping with the current resolution and accuracy challenges, are only demonstrated as a proof-of-concept on a lab scale of several square micrometers. Such scale is not adequate for the requirements of modern lithography; therefore, there is the need for new and alternative cross-scale solutions to further advance the possibilities of unconventional nanotechnologies. Similar challenges arise because of the technical progress in various other fields, realizing new and unique functionalities based on nanoscale effects, e.g., in nanophotonics, quantum computing, energy harvesting, and life sciences. Experimental platforms for basic research in the field of scale-spanning nanomeasuring and nanofabrication are necessary for these tasks, which are available at the Technische Universität Ilmenau in the form of nanopositioning and nanomeasuring (NPM) machines. With this equipment, the limits of technical structurability are explored for high-performance tip-based and laser-based processes for enabling real 3D nanofabrication with the highest precision in an adequate working range of several thousand cubic millimeters.

Weigel, Christoph; Phi, Hai Binh; Denissel, Felix Arthur; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan; Strehle, Steffen
Highly anisotropic fluorine-based plasma etching of ultralow expansion glass. - In: Advanced engineering materials, ISSN 1527-2648, Bd. 23 (2021), 6, 2001336, insges. 10 S.

Deep etching of glass and glass ceramics is far more challenging than silicon etching. For thermally insensitive microelectromechanical and microoptical systems, zero-expansion materials such as Zerodur or ultralow expansion (ULE) glass are intriguing. In contrast to Zerodur that exhibits a complex glass network composition, ULE glass consists of only two components, namely, TiO2 and SiO2. This fact is highly beneficial for plasma etching. Herein, a deep fluorine-based etching process for ULE 7972 glass is shown for the first time that yields an etch rate of up to 425 nm min^-1 while still achieving vertical sidewall angles of 87&ring;. The process offers a selectivity of almost 20 with respect to a nickel hard mask and is overall comparable with fused silica. The chemical surface composition is additionally investigated to elucidate the etching process and the impact of the tool configuration in comparison with previously published etching results achieved in Zerodur. Therefore, deep and narrow trenches can be etched in ULE glass with high anisotropy, which supports a prospective implementation of ULE glass microstructures, for instance, in metrology and miniaturized precision applications.

Stauffenberg, Jaqueline; Ortlepp, Ingo; Blumröder, Ulrike; Dontsov, Denis; Schäffel, Christoph; Holz, Mathias; Rangelow, Ivo W.; Manske, Eberhard
Untersuchungen zur Positioniergenauigkeit der NanoFabrikationsmaschine (NFM-100) :
Investigations on the positioning accuracy of the Nano Fabrication Machine (NFM-100). - In: Technisches Messen, ISSN 2196-7113, Bd. 88 (2021), 9, S. 581-589

This contribution deals with the analysis of the positioning accuracy of a new Nano Fabrication Machine. This machine uses a planar direct drive system and has a positioning range up to 100 mm in diameter. The positioning accuracy was investigated in different movement scenarios, including phases of acceleration and deceleration. Also, the target position error of certain movements at different positions of the machine slider is considered. Currently, the NFM-100 is equipped with a tip-based measuring system. This Atomic Force Microscope (AFM) uses self-actuating and self-sensing microcantilevers, which can be used also for Field-Emission-Scanning-Probe-Lithography (FESPL). This process is capable of fabricating structures in the range of nanometres. In combination with the NFM-100 and its positioning range, nanostructures can be analysed and written in a macroscopic range without any tool change. However, the focus in this article is on the measurement and positioning accuracy of the tip-based measuring system in combination with the NFM-100 and is verified by repeated measurements. Finally, a linescan, realised using both systems, is shown over a long range of motion of 30 mm.

Weidenfeller, Bernd; Lambri, Osvaldo Agustin; Bonifacich, Federico Guillermo; Lambri, M. L.; Mohr-Weidenfeller, Laura; Sover, Alexandru
Analysis of damping spectra of silver-plated brass from a Weltklang saxophone manufactured in 1969. - In: Journal of alloys and compounds, ISSN 1873-4669, Bd. 880 (2021), 160498

The damping of wall vibrations in material of musical instruments influences its sound, but the damping capacity of the materials is rarely investigated. One of the most used material for musical wind instruments is α-brass. Therefore, samples from a saxophone manufactured of silver plated Cu28%Zn with small Pb content were investigated by scanning electron microscopy, energy dispersive spectroscopy, X-ray fluorescence, thermogravimetric analyses coupled with Fourier transform infrared spectroscopy, and mechanical spectroscopy. Pb particles are located at grain boundaries. Damping spectra show three relaxation peaks which can be attributed to Zener and/or solvent grain boundary relaxation, a peak due to dislocation defect interactions and a solute grain boundary peak. The peak temperatures of these peaks are higher in silver plated brass than for brass without silver cover due to AgCO3 particles. The silver plating process led to the formation of Zn and Cu carbonates. Thermal decomposition of these carbonates to ZnO and CuO together with lead particles leads to blocking of the solute grain boundary peak.

Mohr-Weidenfeller, Laura; Häcker, Annika-Verena; Reinhardt, Carsten; Manske, Eberhard
Two-photon direct laser writing beyond the diffraction limit using the nanopositioning and nanomeasuring machine. - In: Nanomanufacturing and metrology, ISSN 2520-8128, Bd. 4 (2021), 3, S. 149-155

Since the first realization of two-photon direct laser writing (DLW) in Maruo et al. (Opt Lett 22:132-134, 1997), the manufacturing using direct laser writing techniques spread out in many laboratories all over the world. Photosensitive materials with different material properties open a new field for micro- and nanofabrication. The achievable structuring resolution using this technique is reported to be sub-100 nm (Paz et al. in J. Laser Appl. 24:042004, 2012), while a smallest linewidth of 25 nm could be shown in Tan et al. (Appl Phys Lett 90:071106, 2007). In our approach, the combination of DLW with the nanopositioning and nanomeasuring machine NMM-1 offers an improvement of the technique from the engineering side regarding the ultra-precise positioning (Weidenfeller et al. in Adv Fabr Technol Micro/Nano Opt Photon XI 10544:105440E, 2018). One big benefit besides the high positioning resolution of 0.1 nm is offered by the positioning range of 25 mm × 25 mm × 5 mm (Jäger et al. in Technisches Messen 67:319-323, 2000; Manske et al. in Meas Sci Technol 18:520-527, 2007). Thus, a trans-scale fabrication without any stitching or combination of different positioning systems is necessary. The immense synergy between the highly precise positioning and the DLW is demonstrated by the realization of resist lines and trenches whose center-to-center distance undergoes the modified diffraction limit for two-photon processes. The precise positioning accuracy enables a defined distance between illuminated lines. Hence, with a comparable huge width of the trenches of 1.655 [my]m due to a low effective numerical aperture of 0.16, a resist line of 30 nm between two written trenches could be achieved. Although the interrelationships for achieving such narrow trenches have not yet been clarified, much smaller resist lines and trench widths are possible with this approach in the near future.

Behroudj, Arezo; Salimitari, Parastoo; Nilsen, Madeleine; Strehle, Steffen
Exploring nanowire regrowth for the integration of bottom-up grown silicon nanowires into AFM scanning probes. - In: Journal of micromechanics and microengineering, ISSN 1361-6439, Bd. 31 (2021), 5, 055010, S. 1-11

Stauffenberg, Jaqueline; Reuter, Christoph; Ortlepp, Ingo; Holz, Mathias; Dontsov, Denis; Schäffel, Christoph; Zöllner, Jens-Peter; Rangelow, Ivo W.; Strehle, Steffen; Manske, Eberhard
Nanopositioning and -fabrication using the Nano Fabrication Machine with a positioning range up to Ø 100 mm. - In: Novel Patterning Technologies 2021, (2021), S. 1161016-1-1161016-10

This paper focuses on a new Nano Fabrication Machine 100 (NFM-100) with a working range up to 100 mm in diameter and its integrated tip-based system, which can be used as an Atomic Force Microscope (AFM) as well as for Field-Emission-Scanning-Probe-Lithography (FESPL). The combination of both systems offers the possibility to fabricate and analyze micro- and nanostructures with high resolution and precision down to a single nanometer over a large area in one single configuration without tool or sensor change. After the description of the basic machine structure of the NFM-100, the demonstration of long range and large area AFM scans in combination with the NFM-100 will be shown. Additionally, the basic functionality of the FESPL manufacturing process is presented.

Zentner, Lena; Strehle, Steffen
Microactuators, microsensors and micromechanisms : MAMM 2020. - Cham : Springer, 2021. - 1 Online-Ressource (viii, 148 Seiten). - (Mechanisms and machine science ; Volume 96) ISBN 978-3-030-61652-6
Description based on publisher supplied metadata and other sources.

Intro -- Preface -- Contents -- A Novel Planar Two-Axis Leaf-Type Notch Flexure Hinge with Coincident Rotation Axes and Its Application to Micropositioning Stages -- 1 Introduction -- 2 Design of the Two-Axis Leaf-Type Notch Flexure Hinge -- 3 FEM-Based Investigation of the TLNFH -- 3.1 FEM Model -- 3.2 Parametric Study -- 3.3 Discussion of Results -- 4 Application to Compliant Micropositioning Stages -- 4.1 10-Hinge Rectilinear Stage -- 4.2 12-Hinge XY Stage -- 5 Conclusions -- References -- Characterization of Thin Flexure Hinges for Precision Applications Based on First Eigenfrequency -- 1 Introduction -- 2 Materials and Methods -- 2.1 Experiment -- 2.2 Theoretical Approaches -- 3 Results and Discussion -- 4 Conclusions and Outlook -- References -- Optimization of Compliant Path-Generating Mechanisms Based on Non-linear Analytical Modeling -- 1 Introduction -- 2 Analytical Model -- 2.1 Large Deflections of Rod-Like Structures -- 2.2 Modeling of Compliant Mechanisms as Continua -- 3 Verification of the Analytical Model by FEM Simulation -- 3.1 Analytical Solution -- 3.2 FEM Simulation -- 3.3 Results and Discussion -- 4 Analytical Optimization of Example Compliant Path-Generating Mechanisms -- 5 Conclusions -- References -- Modelling and Investigation of a Compliant Cable-Driven Finger-Like Mechanism -- 1 Introduction -- 2 Basic Concept of Compliant Cable-Driven Mechanism -- 3 Model and Simulation -- 3.1 Mechanical Model -- 3.2 Mathematical Model -- 4 Calculation Results -- 4.1 Bending Shapes Without Consideration of Gravity -- 4.2 Bending Shapes Under Consideration of Gravity -- 4.3 Bending Moment -- 5 Experimental Validation of the Model -- 5.1 Experimental Setup and Test Procedure -- 5.2 Test Results -- 6 Conclusions -- References -- Reconfigurable Planar Quadrilateral Linkages Based on the Tensegrity Principle -- 1 Introduction.

Wedrich, Karin; Darnieder, Maximilian; Vierzigmann, Eric; Barth, Alexander; Theska, René; Strehle, Steffen
Conceptual design of a microscale balance based on force compensation. - In: Microactuators, microsensors and micromechanisms, (2021), S. 103-114

Macroscopic electromagnetic force compensation (EMFC) balances are well established but were not yet demonstrated within microsystems. Hence, in this paper, the concept and the design of a micro fabricated force compensation balance is presented. The implemented concentrated compliance mechanism in form of flexure hinges enables motion with high precision, which is combined with a force compensation mechanism. The concept of force compensation promises a high measurement range, which is expected to be up to 0.5 mN, while still enabling a high resolution of less than 8 nN. The developed dynamic model of the miniaturized balance is used for the design of a PID-controller strategy. Here, continuous and time-discrete controller approaches are compared. The time-discrete controller with realistic delay times, leads to an accuracy of the controller, which is better than the expected accuracy of the integrated capacitive position sensor.

Belkner, Johannes; Döll, Joachim; Koppka, Christian; Breiter, Manuela; Hofmann, Martin; Ortlepp, Ingo; Gerhardt, Uwe; Strehle, Steffen; Manske, Eberhard
An electrothermally actuated membrane as oscillating pinhole for the high-frequent modulation of light. - In: DGaO-Proceedings, ISSN 1614-8436, Bd. 121 (2020), B37, insges. 2 S.

We present theory, processing steps and first results for a thermally actuated Aluminiumnitride-Platinum membrane with a resonant frequency of the first mode at around 100 kHz and resonant displacements at its center of around 30 µm. The radial-symmetric membrane is broadband opaque for wavelengths from visual light and beyond. An exception is a small pinhole of various diameters below 3 µm in its center. Through thermally induced asymmetric stress inside the multilayer, the clamped membrane bends out. The pinhole in its center will be displaced parallel to the optical axis.The intended use for such a membrane is to replace the traditional confocal pinhole in the detection path of a microscope. Applying a stable known resonant modulation on an acquired signal enables a lock-in principle for a differential confocal depth sensing as shown in [1]. The advantage over the employed tunable acoustic gradient lens (TAG lens) there, is the reduced size, the simplicity of the arrangement and constant illumination properties on the sample.

Rangelow, Ivo W.; Holz, Mathias
Active scanning probes in nanostructure fabrication. - In: Design strategies for synthesis and fabrication, (2020), S. 18-1-18-12
Richtiger Name des Verfassers: Mathias Holz

Supreeti, Shraddha;
Soft nanoimprint lithography on curved surfaces. - Ilmenau : Universitätsbibliothek, 2020. - 1 Online-Ressource (vi, 67, XII Blätter)
Technische Universität Ilmenau, Dissertation 2020

Diese Arbeit befasst sich mit den Herausforderungen des Prägens auf gekrümmten Oberflächen. Die Prägung auf gekrümmten Oberflächen hat aufgrund der steigenden Nachfrage nach Anwendungen in der Optik, bei biomedizinischen Implantaten und Sensoren eine hohe Relevanz gewonnen. Gegenwärtig ist es aufgrund der begrenzten Tiefenschärfe des Projektionssystems eine Herausforderung, Strukturen auf gekrümmten Oberflächen mit Hilfe der konventionellen Photolithographie zu strukturieren. Daher wird zunehmend die Nanoimprint-Lithographie (NIL) eingesetzt. NIL ermöglicht die gleichmäßige Abformung von Strukturen auf stark gekrümmten Oberflächen. Sie ist im Vergleich zu herkömmlichen Methoden nicht durch optische Effekte wie Streuung, Beugung und Interferenz in einem Substrat begrenzt. In dieser Arbeit wird ein weicher UV-NIL-Prozess entwickelt, optimiert und für die Strukturierung auf nicht ebenen Oberflächen implementiert. Es handelt sich um einen mechanischen Prozess, der auf der Übertragung von Strukturen von einem flexiblen und transparenten weichen Polydimethylsiloxan (PDMS) Stempel auf das Substrat in Gegenwart von UV-Licht basiert. Die Entformung ist ein wichtiger Aspekt für einen erfolgreichen NIL-Prozess. Die induzierte Scherspannung während der Trennung des Stempels vom Substrat kann zu strukturellen Verzerrungen führen, insbesondere an den Rändern der gekrümmten Oberfläche, wo die Neigung hoch ist. Das weiche NIL wurde angewandt, da es im Vergleich zur konventionellen Lithographie nicht von komplexen Maschinen, strengen Umgebungsbedingungen und optischen Einschränkungen abhängig ist. Eine hochpräzise Nanopositionierungs- und Nanomessmaschine (NPMM) wurde eingesetzt, um eine kontrollierte Positionierung des Substrats zum Stempel zu ermöglichen. Ein kompakter und einstellbarer weicher UV-NIL-Prozess wurde entworfen, montiert und in die NPM-Maschine integriert. Die erfolgreiche Umsetzung des grundlegenden Prozesses im NPMM schuf die Grundlage für die Herstellung eines NIL-Werkzeugs, das mit einer Drehvorrichtung kombiniert und in das NPMM integriert wurde. Die Kombination ermöglicht fünf Bewegungsfreiheitsgrade für das orthogonale Formen und Entformen an den Kanten gekrümmter Substrate. Das rotierende NIL-Werkzeug spricht die allgemein übersehene Herausforderung der Strukturierung und Charakterisierung an den Kanten gekrümmter Substrate an. Unabhängig von den eingeschränkten Messmöglichkeiten bei hohen Neigungen für hochauflösende Nanostrukturen war es möglich, die Strukturen sowohl auf dem Linsensubstrat als auch bei einer Neigung von 45&ring; im REM abzubilden. Es hat sich gezeigt, dass es an der Kante eines gekrümmten Substrats mit einem Krümmungsradius von ca. 25 mm bei einer Oberflächennormalen, die um 45&ring; geneigt ist, ein Imprinting durchführen kann. Die Methode ermöglicht präzise Prägefähigkeiten bei hohen Neigungen und stellt damit einen neuartigen Ansatz von weichem NIL auf gekrümmten Oberflächen dar.

Salimitari, Parastoo; Supreeti, Shraddha; Strehle, Steffen
Combining nanoimprint lithography and nanowire contact printing on a single platform. - In: Mikro-Nano-Integration, (2020), S. 32-35

Beer, Daniel; Küller, Jan; Zhykhar, Albert; Fritsch, Tobias; Männchen, Andreas; Strehle, Steffen; Knechtel, Roy; Bös, Joachim
MEMS based speakers - sounds good?!. - In: Mikro-Nano-Integration, (2020), S. 23-28

Stauffenberg, Jaqueline; Ortlepp, Ingo; Reuter, Christoph; Holz, Mathias; Dontsov, Denis; Schäffel, Christoph; Strehle, Steffen; Zöllner, Jens-Peter; Rangelow, Ivo W.; Manske, Eberhard
Investigations on long-range AFM scans using a nanofabrication machine (NFM-100). - In: Proceedings, ISSN 2504-3900, Volume 56 (2020), issue 1, 34, Seite 1-3

The focus of this work lies on investigations on a new Nano Fabrication Machine (NFM-100) with a mounted atomic force microscope (AFM). This installed tip-based measuring system uses self-sensing and self-actuated microcantilevers, which can be used especially for field-emission scanning probe lithography (FESPL). The NFM-100 has a positioning range of Ø 100 mm, which offers, in combination with the tip-based measuring system, the possibility to analyse structures over long ranges. Using different gratings, the accuracy and the reproducibility of the NFM-100 and the AFM-system will be shown.

Hebenstreit, Roman; Theska, René; Wedrich, Karin; Strehle, Steffen
Conceptional design of a positioning device with subatomic resolution and reproducibility. - In: Proceedings of the 20th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, (2020), S. 305-306

Berg, Marius van den; Moeinian, Ardeshir; Kobald, Arne; Chen, Yu-Ting; Horneber, Anke; Strehle, Steffen; Meixner, Alfred J.; Zhang, Dai
Revealing the local crystallinity of single silicon core-shell nanowires using tip-enhanced Raman spectroscopy. - In: Beilstein journal of nanotechnology, ISSN 2190-4286, Bd. 11 (2020), S. 1147-1156

Nilsen, Madeleine; Dannberg, Oliver; Fröhlich, Thomas; Strehle, Steffen
Direct polymer microcantilever fabrication from free-standing dry film photoresists. - In: Journal of micromechanics and microengineering, ISSN 1361-6439, Bd. 30 (2020), 9, 095012, S. 1-13

Hiller, Daniel; Julin, Jaakko; Chnani, Ahmed; Strehle, Steffen
Silicon surface passivation by ALD-Ga2O3: thermal vs. plasma-enhanced atomic layer deposition. - In: IEEE journal of photovoltaics, ISSN 2156-3403, Bd. 10 (2020), 4, S. 959-968
Im Titel sind "2" und "3" tiefgestellt

Ortlepp, Ingo; Kühnel, Michael; Hofmann, Martin; Mohr-Weidenfeller, Laura; Kirchner, Johannes; Supreeti, Shraddha; Mastylo, Rostyslav; Holz, Mathias; Michels, Thomas; Füßl, Roland; Rangelow, Ivo W.; Fröhlich, Thomas; Dontsov, Denis; Schäffel, Christoph; Manske, Eberhard
Tip- and laser-based nanofabrication up to 100 mm with sub-nanometre precision. - In: Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS and MOEMS 2020, (2020), S. 113240A-1-113240A-17

Although the field of optical lithography is highly investigated and numerous improvements are made, structure sizes smaller than 20 nm can only be achieved by considerable effort when using conventional technology. To cover the upcoming tasks in future lithography, enormous exertion is put into the development of alternative fabrication technologies in particular for micro- and nanotechnologies that are capable of measuring and patterning at the atomic scale in growing operating areas of several hundred square millimetres. Many new technologies resulted in this process, and are promising to overcome the current limitations^1, 2, but most of them are demonstrated in small areas of several square micrometers only, using state-of-the-art piezo stages or the like. At the Technische Universitat Ilmenau, the NanoFabrication Machine 100 (NFM-100) was developed, which serves as an important experimental platform for basic research in the field of scale-spanning AFM tip-based and laser-based nanomeasuring and nanofabrication for simultaneous subnanometre measuring and structuring on surfaces up to Ø100 mm. This machine can be equipped with several probing systems like AFM, laser focus probes and 3D-micro probes as well as tools for different nanofabrication technologies like tip-based technologies, optical technologies and mechanical two-dimensional technologies in a large working range with subnanometre reproducibility and uncertainty. In this paper, the specifics and advantages of the NFM-100 will be described as well as nanofabrication technologies that are currently worked on e.g. advanced scanning proximal probe lithography based on Fowler-Nordheim-electron-field emission, direct laser writing and UV-nanoimprint lithography.

Mohr-Weidenfeller, Laura; Hofmann, Martin; Supreeti, Shraddha; Mechold, Stephan; Holz, Mathias; Reuter, Christoph; Manske, Eberhard; Rangelow, Ivo W.
Cryogenic etching for pattern transfer into silicon of Mix-and-Match structured resist layers. - In: Microelectronic engineering, Bd. 227 (2020), 111325, insges. 5 S.

A Mix-and-Match lithography method for a high-resolution, high-precision and cost effective lithography tool using DLW and FE-SPL was developed and successfully realized. The pattern transfer from the photoresist to the silicon substrate is done by so-called "cryogenic etching". It means that the substrate is cooled down to cryogenic temperatures. In contrast to etching processes at standard room temperature, the cryogenic temperatures (below -100 &ring;C) enable a highly anisotropic etching process. The difference between etching at room temperature compared to cryogenic etching is carried out in this work. The advantages of the etching process are highlighted for the pattern transfer from Mix-and-Match-structured samples. Therefore, the used photoresist mr-P 1201LIL (microresist technologies GmbH) has been examined concerning its silicon-to-resist selectivity which could be determined to be 6:1 for the applied etching recipe. Using cryogenic etching, we are now able to transfer the Mix-and-Match-structured patterns into silicon with appreciable high selectivities. This opens a novel pathway for the manufacturing of quantum devices on large wafers. The paper discusses current research results based on the TU Ilmenau Nanopositioning and Nanomeasuring Machines (NPMM) including the novel application of nanofabrication. First, the basic setup and the resulting benefits of the NPMMs for measuring and fabrication in a working volume of up to 200 mm × 200 mm × 25 mm while abiding nanometer accuracy is described. This is in contradiction to state-of-the-art AFM scanners, which have a limited working range of appr. 100 [my]m × 100 [my]m. Next, the principle and the results of different nanofabrication technologies are shown. These include Scanning Probe Lithography (SPL), Direct Laser Writing (DLW) and UV-nanoimprint lithography (NIL). Last, efforts for further improving the feature placement accuracy of the NPMMs as well as attempts to combine several fabrication technologies to improve their throughput are touched on.

Hiller, Daniel; Duffy, Ray; Strehle, Steffen; Stradins, Paul
Advances in silicon-nanoelectronics, nanostructures and high-efficiency Si-photovoltaics. - In: Physica status solidi, ISSN 1862-6319, Bd. 217 (2020), 4, S. 2000023, insges. 2 S.

Si, Shuhao; Weigel, Christoph; Messerschmidt, Martin; Thesen, Manuel W.; Sinzinger, Stefan; Strehle, Steffen
A study of imprint and etching behavior on fused silica of a new tailored resist mr-NIL213FC for soft UV-NIL. - In: Micro and nano engineering, ISSN 2590-0072, Bd. 6 (2020), 100047, S. 1-7

Biermann, Steffen; Magi, André; Sachse, Patrick; Hoffmann, Martin; Wedrich, Karin; Müller, Lutz; Koppert, Ralf; Ortlepp, Thomas; Baldauf, Julia
Advanced broadband MEMS infrared emitter based on high-temperature-resistant nanostructured surfaces and packaging solutions for harsh environments. - In: Terahertz, RF, Millimeter, and Submillimeter-Wave Technology and Applications XIII, (2020), S. 1127908-1-1127908-15

Hofmann, Martin; Mohr-Weidenfeller, Laura; Supreeti, Shraddha; Mechold, Stephan; Holz, Mathias; Reuter, Christoph; Sinzinger, Stefan; Manske, Eberhard; Rangelow, Ivo W.
Mix-and-match lithography and cryogenic etching for NIL template fabrication. - In: Microelectronic engineering, Bd. 224 (2020), 111234

Petrich, Rebecca; Kloska, Manja; Müller, Jens; Hoffmann, Martin
Verbundprojekt: Bauteilintegrierte Sensorik für Kraftübertragungselemente in Windenergieanlagen : Teilprojekt: Miniaturisierte komplex integrierte Mikrosensorik in dreidimensionale funktionalisierte LTCC Module : wissenschaftlicher Abschlussbericht : Akronym/Kurzbezeichnung: BiSWind : Laufzeit: 01.12.2015-31.07.2019. - Ilmenau : Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien MakroNano, Fachgebiet Mikromechanische Systeme. - 1 Online-Ressource (110 Seiten, 4,93 MB)Förderkennzeichen BMWi 0325891B

Moeinian, Ardeshir; Strehle, Steffen
Nanoskalige optische Bioanalytik : Sensorik auf Basis von Silizium-Nanodrähten und plasmonischen Verstärkern. - In: GIT, ISSN 0016-3538, Bd. 63 (2019), 10, S. 21-23

Wiedemeier, Stefan;
Entwicklung einer tropfenbasierten mikrofluidischen Plattform für das High-Throughput-Screening multizellulärer Systeme. - Ilmenau : Universitätsbibliothek, 2019. - 1 Online-Ressource (XVI, 140 Seiten)
Technische Universität Ilmenau, Dissertation 2019

Im Bereich der tropfenbasierten Mikrofluidik werden medizinische, biologische oder auch chemische Experimente in diskrete Reaktionsräume überführt. Diese als Tropfen bezeichneten Reaktionsräume besitzen als seriell angeordnete Mikroreaktoren ein hohes Anwendungspotenzial, sei es zur Optimierung von Screening-Prozessen für die Medikamentenentwicklung oder zur Manipulation von Zellen und 3D Zellstrukturen. Für solche Anwendungen bieten die derzeit existierenden Konzepte jedoch nicht die erforderliche Zuverlässigkeit und Praktikabilität. Vor allem die Aufrechterhaltung reproduzierbarer und stabiler Prozessbedingungen sind ausschlaggebende Faktoren als Voraussetzung für einen Durchbruch dieser Technologie am Markt. Insbesondere bei Anwendungen mit multizellulären Systemen wie nativen Gewebefragmenten oder in vitro kultivierten Sphäroiden sind besondere Voraussetzungen zu erfüllen. Beispielsweise ist die Verwendung oberflächenaktiver Substanzen (Tenside), die bei der Mehrzahl tropfenbasierter mikrofluidischer Applikationen zur Stabilisierung der Tropfen eingesetzt werden, nachteilig für Untersuchungen dieser Proben. Der Verzicht auf Tenside ist ein wichtiger Schritt in Richtung einer grundlegenden Akzeptanz tropfenbasierter Verfahren. Die in dieser Arbeit präsentierten Ergebnisse zeigen eine Alternative auf, bei der für das Handling und die Kultivierung multizellulärer Systeme auf die Verwendung von Tensiden verzichtet werden kann. Das im Rahmen der Forschungsarbeiten entwickelte technische System beruht auf neuartigen, mikrofluidischen Komponenten, die die hohen Ansprüche für das Handling multizellulärer Systeme erfüllen. Neben der Beschreibung der Systementwicklung steht die Charakterisierung der Einflussfaktoren auf die Tropfengenerierung im Mittelpunkt der Arbeit. Relevante Einflussgrößen wie die Kanalanordnung und deren Oberflächenbeschaffenheit sowie der Einfluss der Volumenströme und unterschiedlicher Probenmedien auf die Tropfengenerierung wurden untersucht. Die Arbeit beschreibt weiterhin die Entwicklung eines biomimetischen Ansatzes zur Steigerung der Stabilität der Tropfengenerierung durch die Verringerung des Adhäsionspotenzials wässriger Proben mit den Kanaloberflächen der Mikrosysteme. Damit ist die im Rahmen dieser Arbeit entwickelte mikrofluidische Plattform insbesondere für Anwendungen im Bereich der Biowissenschaften prädestiniert.

Wedrich, Karin; Hoffmann, Martin
Nanointegration as key technology for MEMS based IR-emitter in spectroscopic sensor systems :
NaMIS - Nanointegration als Schlüsseltechnologie für einen MEMS basierten IR-Emitter für spektroskopische Sensorsysteme; Teilvorhaben: Integration hocheffizienter, langzeitstabiler Nanostrukturen in IR-Emitter für spektroskopische Anwendungen : Schlussbericht zum Förderprojekt : Bewilligungszeitraum: 01.05.2016 bis 31.10.2018, Verlängerung bis 30.04.2019 : Berichtszeitraum: 01.05.2016-30.04.2019. - Ilmenau : Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano, Fachgebiet Mikromechanische Systeme. - 1 Online-Ressource (21 Seiten, 3,92 MB)Förderkennzeichen BMBF 13XP5019F

Strehle, Steffen
Funktionelle Nanosonden auf Basis halbleitender Nanodrähte und Nanoröhren für die intrazelluläre Sensorik und Rastersondenmikroskopie : Schlussbericht zum Forschungsvorhaben im Rahmen der Ausschreibung BMBF NanoMatFutur. - [Ilmenau] : [Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano]. - 1 Online-Ressource (53 Seiten, 1,78 MB)Förderkennzeichen BMBF 13N12545

Petrich, Rebecca; Bartsch, Heike; Tonisch, Katja; Jaekel, Konrad; Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen R.; Glöß, Daniel; Delan, Annekatrin; Krischok, Stefan; Strehle, Steffen; Hoffmann, Martin; Müller, Jens
Investigation of ScAlN for piezoelectric and ferroelectric applications. - In: 2019 22nd European Microelectronics and Packaging Conference & Exhibition (EMPC), (2019), insges. 5 S.

Stehr, Uwe; Stegner, Johannes; Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Müller, Jens; Hoffmann, Martin; Hein, Matthias
Ganzheitliche Entwurfsmethodik für kompakte HF-MEMS-Oszillatoren auf einem SiCer-Verbundsubstrat. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2019, (2019), S. 669-672

Weigel, Christoph; Hanitsch, Stefan; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin
Mikrofluidische In-plane-Kontaktierungskonzepte. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2019, (2019), S. 549-552

Wedrich, Karin; Müller, Lutz; Magi, Andre; Biermann, Steffen; Koppert, Ralf; Hoffmann, Martin
Hochtemperatur-feste nanostrukturierte IR-Emitter. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2019, (2019), S. 494-497

Wüster, Julian; Bourgin, Yannick; Feßer, Patrick; Si, Shuhao; Sinzinger, Stefan
Nanostrukturierte Beugungsgitter als angepasste integrierbare Polarisationsstrahlteiler. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2019, (2019), S. 468-471

Thewes, Anna; Weigel, Christoph; Barowski, Jan Michael; Hoffmann, Martin
Optimierung eines Biegeplattenwellensensors für hohe Eindringtiefe und Sensitivität. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2019, (2019), S. 448-451

Petrich, Rebecca; Bartsch, Heike; Tonisch, Katja; Jaekel, Konrad; Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen R.; Glöß, Daniel; Delan, Annekatrin; Krischok, Stefan; Strehle, Steffen; Hoffmann, Martin; Müller, Jens
Untersuchung von ScAlN für piezoelektrische und ferroelektrische Anwendungen. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2019, (2019), S. 412-416

Bohm, Sebastian; Dittrich, Lars; Runge, Erich
Modellierung, Fertigung und Erprobung einer neuartigen EWOD-betriebenen Mikropumpe. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2019, (2019), S. 378-381

Weigel, Christoph; Sinzinger, Stefan; Strehle, Steffen; Hoffmann, Martin
Trockenchemisches Freistellen von Mikrostrukturen in der Glaskeramik Zerodur. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2019, (2019), S. 154-157

Behroudj, Arezo; Geiger, Dorin; Strehle, Steffen
Epitaxial bottom-up growth of silicon nanowires on oxidized silicon by alloy-catalyzed gas-phase synthesis. - In: Nano letters, ISSN 1530-6992, Bd. 19 (2019), 11, S. 7895-7900

Beer, Daniel; Brocks, Tobias; Küller, Jan; Strehle, Steffen; Koch, Tilman
New potential for portable spatial audio with MEMS based speakers. - In: Audio for virtual, augmented and mixed realities, (2019), S. 93-97

There is a high demand for portable audio on the market. Hence, manufactures of headphones and hearing aids have to deal with miniaturization of electroacoustic transducers (micro speakers) but maintain sound quality and energy efficiency (battery life time) at the same time. Different techniques are known for downsizing transducers. A very successful method is provided by the semiconductor industry. The use of the so-called MEMS technology (Micro- Electro-Mechanical-System) has already led to great success in microelectronics and MEMS applications such as microphones and accelerometers. This success has triggered a high interest in implementing MEMS technology also for speaker manufacturing. Based on patents, the initial approaches of MEMS loudspeakers will be presented. An outlook of the arising new potentials for portable spatial audio with MEMS based speakers will be given.

Stegner, Johannes; Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Stehr, Uwe; Hoffmann, Martin; Müller, Jens; Hein, Matthias
Cross-hierarchical design of compact RF-MEMS oscillator circuits on a silicon-ceramic composite substrate. - In: IFCS-EFTF 2019, (2019), insges. 4 S.

Weigel, Christoph;
Fluorbasiertes Trockenätzen von Mikrostrukturen in Glas und Glaskeramik. - Ilmenau : Universitätsbibliothek, 2019. - 1 Online-Ressource (XII, 189 Seiten)
Technische Universität Ilmenau, Dissertation 2019

Mit einem thermischen Ausdehnungskoeffizienten von nahe 0 im Temperaturbereich von 0 ... 50 &ring;C wird Zerodur vielfach für temperaturstabilisierte Systeme eingesetzt. Da es an Untersuchungen und Ergebnissen zu Batch-kompatiblen Mikrostrukturierungsverfahren mit hoher Genauigkeit fehlt, ist dessen Einsatz in der Mikrosystemtechnik bisher jedoch selten. Die Ursachen dafür liegen in den herausfordernden Materialeigenschaften. In dieser Arbeit wird ausgehend von Untersuchungen an herkömmlichen Gläsern das Plasmatiefenätzen der komplexen Glaskeramik Zerodur im Fluorplasma als massenmarkttaugliche Strukturierungsmöglichkeit untersucht. Herausfordernd ist dabei zum einen die komplexe chemische Zusammensetzung. So ist ein Großteil der Bestandteile im Fluorplasma nicht chemisch ätzbar. Weiterhin muss den thermischen Eigenschaften wie der Wärmeleitung und der thermischen Dehnung mehr Beachtung geschenkt werden, als dies z.B. für die Strukturierung von Silicium oder anderen herkömmlichen Gläsern der Fall ist. Für die Untersuchungen des Ätzverhaltens kommt ein induktiv-gekoppeltes Plasma (ICP-RIE) zum Einsatz. Wegen der hohen Plasmadichte bei gleichzeitig geringem Prozessdruck sind eine hohe Ätzrate und Anisotropie erreichbar. Das optimierte Ionen-induzierte Ätzen setzt aber Hartmasken voraus, die sowohl stabil gegenüber den thermischen und chemischen Belastungen als auch dem physikalischen Ionenbeschuss sind. Hierzu wurde eine geeignete Maskierungstechnik etabliert. Ausgehend von den erreichten Ergebnissen in Quarzglas wird der Einfluss der Materialkomplexität auf das Ätzergebnis untersucht. Dabei werden komplexe Borosilikatgläser mit unterschiedlichen Anteilen an nichtflüchtigen Reaktionsprodukten im Fluor-Plasma betrachtet. Der Einfluss der Materialkomplexität auf die Ätzrate, die Selektivität, die Rauheit des Ätzbodens und die Vertikalität der Seitenwände wird eingehend diskutiert. Diese Erkenntnisse dienen als Ausgangspunkt für die Untersuchungen der komplexen Glaskeramik Zerodur. In einer breiten Parameterstudie zeigt sich, dass mit der Wahl der Prozessparameter Einfluss auf die topografischen Kenngrößen der erzeugten Strukturen genommen werden kann. Hohe Ätzraten von mehr als 250 nm/min bei einer Selektivität von 6,4 und einem Flankenwinkel von 70,5&ring; werden mit den Ätzgasen SF6/CHF3 und SF6 erreicht. In der Anwendung der prozesstechnischen Erkenntnisse wird die Freistellung von mikromechanische Elementen demonstriert. Mit einem optimierten Prozess können Wafer mit einer Dicke von 150 [my]m vollständig durchgeätzt werden. Der dafür entwickelte zweiseitige Ätzprozess erlaubt ein hohes Aspektverhältnis trotz Flankenneigung. Die weiteren Herausforderungen an den Freistellungsprozess und die optimale Wahl der Prozessparameter werden eingehend diskutiert. Strukturuntersuchungen der tiefengeätzten und freigestellten Strukturen zeigen, dass nichtflüchtige Reaktionsprodukte aus Aluminium und Fluor den Strukturierungsprozess beeinflussen. Hier existieren Unterschiede zwischen dem Tiefenätzen und dem Freistellen, die mit einem entwickelten Erklärungsmodell beschrieben werden können, das auch auf andere komplexe Gläser und Glaskeramiken angewendet werden kann. Diese Arbeit leistet einen wichtigen Beitrag zur Batch-kompatiblen Strukturierung komplexer Gläser und Glaskeramiken in Fluorplasmen. Vor allem die Strukturierung von Zerodur hebt sich vom wissenschaftlichen Stand ab. Bislang konnte hierfür nur auf Literatur mit einem geringen Umfang an Ergebnissen zurückgegriffen werden.

Stegner, Johannes; Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Stehr, Uwe; Hein, Matthias
MEMS-based RF oscillators using SiCer technology. - In: IEEE microwave magazine, Bd. 20 (2019), 10, S. 71-85

Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Stegner, Johannes; Frank, Astrid; Hoffmann, Martin; Müller, Jens
Silicon-ceramic composite substrate. - In: IEEE microwave magazine, Bd. 20 (2019), 10, S. 28-43

Weigel, Christoph; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin
Comparision of deep etched borosilicate glasses in a fluorine based plasma. - In: 2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems & Eurosensors XXXIII (Transducers & Eurosensors XXXIII), (2019), S. 1678-1681

Stegner, Johannes; Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Stehr, Uwe; Müller, Jens; Hoffmann, Martin; Hein, Matthias
Highly integrated RF-MEMS multi-frequency oscillator on a silicon-ceramic composite substrate. - In: 2019 IEEE MTT-S International Microwave Symposium (IMS), (2019), S. 782-785

Mohr-Weidenfeller, Laura; Hofmann, Martin; Kirchner, Johannes; Supreeti, Shraddha; Rangelow, Ivo W.; Sinzinger, Stefan; Manske, Eberhard
Micro- and nanofabrication technologies using the nanopositioning and nanomeasuring machines. - In: Optical Measurement Systems for Industrial Inspection XI, (2019), S. 1105637-1-1105637-13

To keep up with Moore's law in future, the critical dimensions of device features must further decrease in size. Thus, the nano-electronics and nano-optics manufacturing is based on the ongoing development of the lithography and encompasses also some unconventional methods. In this context, we use the Nanopositioning and Nanomeasuring Machine (NPMM) to generate features in resist layers by means of Direct Laser Writing (DLW),1 Field Emission Scanning Probe Lithography (FE-SPL)2 and Soft UV-Nanoimprint Lithography (Soft UV-NIL)3 with highest accuracy. The NPMM was collaboratively developed by TU Ilmenau and SIOS Meßtechnik GmbH.4 The tool provides a large positioning volume of 25 mm × 25 mm × 5 mm with a positioning resolution of 0.1 nm and a repeatability of less than 0.3 nm over the full range. Previously a single electron transistor (SET) working at room temperature generated by FE-SPL has been demonstrated.5 However, the throughput is limited because of the serial writing scheme making Tennant's law (At R5 ) valid.6 Here, At is the areal throughput and R the lithographic resolution. Thus, patterning of the whole NPMM positioning area by FE-SPL is very time consuming. In order to address this problem, different strategies and/or combinations are conceivable. In this work a so-called Mix-and-Match lithography is conducted. A fast generation of structures in the sub-micron range is possible by means of DLW. By this, features such as electrical wires, contact patches for bonding or labels are generated in resist. Subsequently, we use FE-SPL in order to define the actual nano-scaled features for quantum or single electron devices. In combination, DLW and FE-SPL are maskless lithography strategies, hence, offering completely novel opportunities for rapid nanoscale prototyping of largescale resist patterns. An explanation of this technique is given in a previous publication.7 Furthermore, after reactive ion etching, the sample can be used as template for Soft UV-NIL, thus resulting in a high-throughput process chain for future quantum and/or single electron devices.

Supreeti, Shraddha; Kirchner, Johannes; Hofmann, Martin; Mastylo, Rostyslav; Rangelow, Ivo W.; Manske, Eberhard; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan
Integrated soft UV-nanoimprint lithography in a nanopositioning and nanomeasuring machine for accurate positioning of stamp to substrate. - In: Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS, and MOEMS 2019, (2019), S. 1095819-1-1095819-7

Steinbach, Annina M.; Sandner, Tanja; Nilsen, Madeleine; Hua, Ximeng; Sivakumar, Ragul; Geiger, Dorin; Moeinnian, Ardeshir; Strehle, Steffen
The electronic properties of silicon nanowires during their dissolution under simulated physiological conditions. - In: Applied Sciences, ISSN 2076-3417, Bd. 9 (2019), 4, 804, S. 1-12

Nilsen, Madeleine; Port, Fabian Anton; Roos, Michael; Gottschalk, Kay-Eberhard; Strehle, Steffen
Facile modification of freestanding silicon nitride microcantilever beams by dry film photoresist lithography. - In: Journal of micromechanics and microengineering, ISSN 1361-6439, Bd. 29 (2019), 2, 025014, S. 1-11

A photolithographic technique based on dry film photoresists for facile and low-cost patterning of microcantilever beams is presented. Dry film photoresists enable instantly homogenous photoresist coatings on flexible and 3D patterned substrate surfaces, represented here by microcantilever beams, which is otherwise challenging if conventional spin-coating of photoresist is utilized. Compared to alternative microtechnologies, such as focused ion beam milling or resist spray coating, our strategy is far less elaborate, fully compatible with routine additive and subtractive microfabrication processes and can be readily scaled. We show specifically microcantilever shape modification by CF4 reactive ion etching, localized metal deposition in combination with conventional lift-off procedures as well as a utilization of patterned dry film photoresists as permanent microstructural elements. These microstructural elements are in particular flat-ended cylindrical dry resist micropillars created at the freestanding end of the cantilever beam that can be employed as scanning probes. The resist pillars enabled imaging of a 3T3 mouse fibroblast cell culture surface to determine their elastic force constants. Alongside UV-exposure by a conventional mask aligner, we also demonstrate dry film photoresist exposure by contact-free laser lithography eliminating possible substrate damage by photomask contact.

Moeinian, Ardeshir; Gür, Fatih N.; Gonzalez-Torres, Julio; Zhou, Linsen; Murugesan, Vignesh D.; Dashtestani, Ashkan Djaberi; Guo, Hua; Schmidt, Thorsten L.; Strehle, Steffen
Highly localized SERS measurements using single silicon nanowires decorated with DNA origami-based SERS probe. - In: Nano letters, ISSN 1530-6992, Bd. 19 (2019), 2, S. 1061-1066

Hoffmann, Martin; Krömker, Heidi; Klimsa, Paul
Vorhabenbezeichnung: "NanoTecLearn: E-Learning für die Aus- und Weiterbildung in der Mikro-Nano-Integration" : Schlussbericht : Laufzeit des Vorhabens: 01.11.2014-31.10.2017 : Berichtszeitraum: 01.11.2014-31.10.2017. - [Ilmenau] : Technische Universität Ilmenau. - 1 Online-Ressource (118 Seiten, 8,03 MB)Paralleltitel dem englischen Berichtsblatt entnommen

Kreismann, Jakob; Behrens, Arne; Weigel, Christoph; Sinzinger, Stefan; Hentschel, Martina; Yang, Lan
Mesoscopic optics. - In: Mikro-Nano-Integration, (2018), S. 55-57

Stegner, Johannes; Gropp, Sebastian; Podoskon, Dmitry; Stehr, Uwe; Hoffmann, Martin; Hein, Matthias
An analytical formulation of the radio-frequency response of piezoelectric contour-mode MEMS resonators verified by measurements. - In: IFCS 2018, (2018), insges. 5 S.

Günther-Müller, Sarah; Gropp, Sebastian; Hoffmann, Martin; D'heer, Herbert; Thourhout, Dries; Neft, Anna; Bartels, Frank; Gradkowski, Kamil; Carroll, Lee; O'Brien, Peter; Lerma-arce, Cristina; Watté, Jan
Electrowetting controlled non-volatile integrated optical switch. - In: 2018 European Conference on Optical Communication (ECOC), ISBN 978-1-5386-4862-9, (2018), insges. 3 S.

Hanitsch, Stefan; Plickett, Uwe; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan
MEMS needle electrode for impedance spectroscopy on cell spheroids. - In: Biomedical engineering, ISSN 1862-278X, Bd. 63 (2018), S1, Seite S333
Enthalten in: Poster Session

Günther-Müller, Sarah; Si, Shuhao; D'heer, Herbert; Van Thourhout, Dries; Hoffmann, Martin
FDTS as dewetting coating for an electrowetting controlled silicon photonic switch. - In: IEEE photonics technology letters, Bd. 30 (2018), 23, S. 2005-2008

Stegner, Johannes; Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Stehr, Uwe; Müller, Jens; Hoffmann, Martin; Hein, Matthias
A multi-frequency MEMS-based RF oscillator covering the range from 11.7 MHz to 1.9 GHz. - In: Proceedings of the 2018 IEEE MTT-S International Microwave Symposium, ISBN 978-1-5386-5067-7, (2018), S. 575-578

Si, Shuhao;
Soft UV nanoimprint lithography : concept, development, and fabrication of nanostructures with tunable feature sizes at constant pitch. - Ilmenau : Universitätsbibliothek, 2018. - 1 Online-Ressource (VIII, 120 Seiten, Seite CXXI-CXXXVII)
Technische Universität Ilmenau, Dissertation 2018

Die vorliegende Dissertation beschäftigt sich mit der Weiterentwicklung der UV Nanoimprint-Lithographie (NIL) mit weichen Stempeln am Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN) der Technischen Universität Ilmenau. Die Herstellung von periodischen Nanostrukturen mit einstellbaren Strukturgrößen auf großer Fläche und zu niedrigen Kosten sowie deren weiterführende Anwendungen werden untersucht. Allen hier vorgestellten Arbeiten liegt die UV-NIL mit weichen Stempeln bei Umgebungsatmosphäre zugrunde, bei welcher der eigentliche Abformvorgang von der Stempelmitte zum Rand fortschreitet (engl. center-to-edge). Die Vorteile von UV-NIL mit weichen Stempeln sind lange bekannt und haben eine hohe Aufmerksamkeit auf sich gezogen. Zweischichtige weiche Stempel mit einem weichen Polydimethylsiloxane (PDMS)-Träger und einer dünnen Strukturschicht, die aus unterschiedlichen und festeren Materialien bestehen kann, werden konfiguriert. Die zweischichtigen weichen Stempel wie PDMS/PDMS, PDMS/verdünntes PDMS, PDMS/X-PDMS, PDMS/vvsPDMS, PDMS/UV-PDMS, werden miteinander verglichen. Hohe Gleichmäßigkeit der Abformungen der PDMS/PDMS, PDMS/Toluen-verdünnten PDMS und PDMS/UV-PDMS Stempel wurden bei Umgebungsbedingungen für mindestens zwanzig aufeinanderfolgende Prozesse in Bezug auf die Wiederholbarkeit validiert. Basierend auf dem beschriebenen Abform-Regime, wird in dieser Arbeit eine Prozesskette zur Herstellung von Nanostrukturen mit einstellbaren Strukturgrößen und -formen (engl. NanoTuFe) realisiert. Eine Zwischenmaske mit positiven oder negativen Strukturen mit geneigten Seitenwänden wird eingeführt, um die Brücke zwischen ursprünglichem Master und den herzustellenden Strukturen zu schlagen. Unter Ausnutzung der geneigten Seitenwände der Strukturen auf der Zwischenschablone kann die Ätzmaske auf dem finalen Substrat durch Variation der Ätzdauer in sehr variable Dimensionen überführt werden. Zahlreiche NILMasken und -Substrate, die einstellbare Strukturgrößen verschiedener Layouts, Profile und Aspektverhältnisse aufweisen, wurden untersucht. - Es werden Neue NIL-Masken von kreisförmigen Nanosäulen mit Durchmessern von 150/200/250/350 nm und einem Aspektverhältnis unter 2 basierend auf einem Master mit 450 nm langen kreisförmigen Nanosäulen erzeugt. - Zusätzliche NIL-Masken mit quadratischen Nanokavitäten mit Strukturgrößen von 130/160/190/220 nm werden aus einem Master mit kreisförmigen Nanokavitäten von 350 nm Durchmesser hergestellt. - Durch die Einführung eines doppelschichtigen Lift-Off-Prozesses kann eine positive oder negative Abbildung der Strukturen erfolgen sowie die Layout- und Feature-Größe angepasst werden. NIL-Masken mit quadratischen Nanosäulen mit Abmessungen von 120/200/320 nm werden anhand eines Masters aus kreisförmigen Nanolöchern mit 350 nm Durchmesser demonstriert. Darüber hinaus können verschiedene Top-Down oder Bottom-Up Strukturierungstechniken in die NanoTuFe-Methode integriert werden. Die Vielseitigkeit von NanoTuFe zur Herstellung von Nanostrukturen mit großem Aspektverhältnis (Strukturgrößen von 70 nm bis 400 nm, Ätztiefe von 4-7 mm) für hoch emittierende Siliziumoberflächen in kreisförmigen und quadratischen Layouts wird demonstriert. Das Konzept der Verwendung von NIL auf gekrümmte Oberflächen (konvex-plane refraktive Linse) wurde ebenfalls bewiesen. Die Herstellung und Replikation von Nanostrukturen ist im Allgemeinen kostenintensiv, insbesondere für große Flächen und bei hoher Auflösung. Die NanoTuFe-Methode ermöglicht die schnelle Realisierung großflächiger Nanostrukturen mit einstellbaren Abmessungen und Formen (Kreise, Rechtecke, Säulen, Kegel, Pyramiden) bei potenziell geringen Kosten, was einer der wesentlichen Beiträge dieser Arbeit ist.

Weigel, Christoph; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin
Deep etched and released microstructures in Zerodur in a fluorine-based plasma. - In: Microelectronic engineering, Bd. 198 (2018), S. 78-84

Täschner, Robert;
Prozess- und Sensorentwicklung für fertigungsgerechte hochtemperaturtaugliche Drucksensorsysteme auf Siliziumbasis. - Ilmenau, 2018. - 205 Seiten
Technische Universität Ilmenau, Dissertation 2018

Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der Entwicklung fertigungstauglicher, driftstabiler Hochtemperatur-MEMS-Druckmesssysteme auf Siliziumbasis. Diese Systeme werden benötigt, um beispielsweise in der Prozessautomation die Komplexität und damit Fehleranfälligkeit der eingesetzten Messtechnik zu senken. Die Steuerung von Prozessen kann mit derartigen Sensoren effizienter, dynamischer und somit auch ökonomischer erfolgen. Es ergab sich daher die Problemstellung des Entwurfs eines Sensors für derartige Randbedingungen und der Entwicklung eines Prozesses sowie dessen Teilschritte unter der Maßgabe einer industriellen Fertigungstauglichkeit. Die Konzepterstellung für das mikromechanische Gesamtsystem erfolgte unter Beachtung der mit der steigenden Einsatztemperatur deutlich steigenden Anforderungen an die Stabilität des Sensors. Der Entwurf der Sensoren wurde unter Berücksichtigung einer dem Sensor innewohnenden Resistenz gegen Fertigungsschwankungen, allseitige statische Druckeinflüsse und Montagespannungen sowie einer optimierten sensorischen Empfindlichkeit und Kennlinienabweichung, minimierten Leckströmen wie auch Temperaturabhängigkeiten durchgeführt. Es wurde eine umfassende Technologieentwicklung für die für die Fertigung des Sensors nötigen Frontend- und Backendprozesse durchgeführt. Unter anderem erfolgten die Entwicklung einer ECE-SOI-Technologie und die Prozessoptimierung des Sensorprozesses für das Silizium-Direkt-Bonden und dessen Optimierung für den Einsatz in hoch belasteten MEMS sowie die Entwicklung hoch wirksamer Packaging Substrate. Neben Prozessierungen erfolgte die umfassende Charakterisierung der Sensoren und Verbindungsverfahren auch auf bisher nicht untersuchte Einflussfaktoren. Unter Anwendungen der gewonnenen Erkenntnisse wurde ein neuartiger Fertigungsprozess für hochtemperaturtaugliche, piezoresistive Silizium MEMS-Drucksensoren entwickelt. Dieser Fertigungsprozess lässt die ökonomische Produktion der MEMS mit hohen Chipausbeuten und einer exzellenten Prozesssicherheit zu. Der wesentliche Beitrag liegt in der Kombination neuer konstruktiver und technologischer Lösungen zur Schaffung eines deutlich verbesserten Sensorkonzepts gegenüber dem Stand der Technik in Bezug auf die messtechnische Stabilität des Systems sowie der Produzierbarkeit im industriellen Maßstab.

Stegner, Johannes; Gropp, Sebastian; Podoskin, Dmitry; Stehr, Uwe; Hoffmann, Martin; Hein, Matthias
An analytical temperature-dependent design model for contour-mode MEMS resonators and oscillators verified by measurements. - In: Sensors, ISSN 1424-8220, Bd. 18 (2018), 7, 2159, insges. 21 S.

Weigel, Christoph; Grewe, Adrian; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin
A microoptical sidestream cuvette based on fast passive gas exchange for capnography. - In: Sensors and actuators, ISSN 1873-3069, Bd. 276 (2018), S. 68-75

Bichra, Mohamed; Meinecke, Thomas; Feßer, Patrick; Müller, Lutz; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan
Freeform characterization based on nanostructured diffraction gratings. - In: Applied optics, ISSN 2155-3165, Bd. 57 (2018), 14, S. 3808-3816

Stehr, Uwe; Stegner, Johannes; Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Müller, Jens; Hoffmann, Martin; Hein, Matthias
Multiphysical design of compact RF modules on a silicon-ceramics substrate. - In: Riding the green waves, (2018), S. 75-78

Stegner, Johannes; Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Stehr, Uwe; Müller, Jens; Hoffmann, Martin; Hein, Matthias
Design and implementation of a MEMS-based RF oscillator on a unique silicon-ceramic composite substrate. - In: Riding the green waves, (2018), S. 71-74

Endr&dblac;ody, Csaba;
Mikromechanischer, elektrostatischer Schrittaktor für die hyperspektrale Bildgebung. - Ilmenau : Universitätsbibliothek, 2018. - 1 Online-Ressource (1 Band, verschiedene Seitenzählungen)
Technische Universität Ilmenau, Dissertation 2018

Es wird ein zweiachsiger, mikromechanischer Schrittaktor für die diskrete Positionierung eines Blenden-Arrays entwickelt. Die Anwendung liegt dabei in der hyperspektralen Bildgebung. Basierend auf dem chromatisch-konfokalen Prinzip kann eine spektrale Filterung mittels einer Lochblende, eines Hyperchromaten, eines Bildsensors und einer softwareseitigen Nachbearbeitung des abgebildeten Punktes erfolgen. Wenn anstelle der Lochblende ein Blenden-Array eingesetzt wird, können mehrere Objektpunkte gleichzeitig erfasst werden. Die Objektebene kann mit dem Scannen des Blenden-Arrays vollständig abgetastet werden. Für diese Aufgabe wird ein mikromechanisches System entwickelt, das hohes Integrationspotential bietet. Abgeleitet von den optischen Anforderungen wird ein Bewegungsbereich von ±100 [my]m mit einer minimalen Schrittgröße von 10 [my]m benötigt. Das Blenden-Array wird aus 200 [my]m dünnem Glas hergestellt, hat eine Größe von 5,5×7 mm^2 und eine Masse von 17-20 mg. Das reaktive Ionentiefenätzen von Silicium (DRIE) spielt eine zentrale Rolle bei der Fertigung der Aktorchips auf einem Silicon-on-Insulator (SOI) Wafer und wird für eine bessere Strukturtreue optimiert. Es werden zwei Aktorsysteme entworfen und umgesetzt. Im ersten Teil der Arbeit wird ein linearer Mikroschrittaktor mit elektrostatischer Aktuierung und inch-worm Schrittmechanismus realisiert. Basierend auf den Ergebnissen aus dem ersten Teil, wird im zweiten Teil ein zweiachsiger Mikroschrittaktor entwickelt. Der entworfene zweiachsige Mikroschrittaktor hat eine Größe von 14×10,7×1 mm^3. Die Antriebsspannungen liegen unter 200 V. Das zweiachsige System erreicht die angestrebten Entwurfswerte mit einer Schrittgröße von 8,4-18,1 [my]m (abhängig vom DRIE-Prozess) und einem Bewegungsbereich von 217-236 [my]m. Die Wiederholgenauigkeit der Schrittgrößen liegt bei etwa ±1,2 [my]m. Mit der resonanten Ansteuerung kann eine Schrittfrequenz von 13,5 Hz erreicht werden. Die unübliche Kombination von realisierter Schrittgröße, Bewegungsbereich und Traglast übertreffen die bekannten, siliciumbasierten Mikropositioniersysteme. Die umgesetzten Schrittaktoren können in das hyperspektrale System problemlos integriert werden. Weitere Anwendungsfelder sind in der Optik und spektralen Abbildung vorstellbar: Farbfilter-Arrays oder segmentierte Linsen können diskret positioniert werden, um dabei die resultierende Bildqualität zu steigern.

Weigel, Christoph; Schulze, Marcel; Gargouri, Hassan; Hoffmann, Martin
Deep etching of Zerodur glass ceramics in a fluorine-based plasma. - In: Microelectronic engineering, Bd. 185/186 (2018), S. 71-80

Bohm, Sebastian; Goj, Boris; Dittrich, Lars; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin
Material dependence of the contact behavior of oscillating microprobes - modeling and experimental evidence. - In: Journal of micro and nano-manufacturing, ISSN 2166-0476, Bd. 5 (2017), 2, S. 021002, insges. 11 S.

Mehner, Hannes;
Passive mechanische Mikrosysteme für multiple Ereigniserkennung. - Ilmenau : Universitätsbibliothek, 2017. - 1 Online-Ressource (i, II, 208 Seiten)
Technische Universität Ilmenau, Dissertation 2017

Mikrosysteme, welche vorhandene Umgebungsenergie (bspw. mechanisch, thermisch) in elektrische Energie wandeln und so den dauerhaften Betrieb bspw. eines nachgeschalteten Mikrosensors ermöglichen, bilden einen bedeutenden Forschungsbereich. Nach wie vor bestehen technologische Herausforderungen, die die Produktreife derartiger Konzepte behindern, wobei als größtes Hindernis die begrenzte elektrische Leistungsmenge vieler Systeme anzuführen ist. Für Applikationen, bei welchen die Umgebung nicht genügend Energie für einen annähernd konstanten Betrieb eines Energiewandlers liefert, der Einsatz elektrochemischer Energiespeicher bspw. aufgrund gesundheitsgefährdender Risiken nicht möglich ist oder selten (Jahre) auftretende aber funktionell kritische Grenzwertüberschreitungen sensorisch erfasst werden sollen, sind neue Konzepte notwendig. Im Rahmen dieser Arbeit wird ein neuartiger Bereich energieautarker Mikrosysteme thematisiert. Er umfasst Systeme, welche ohne den Bedarf an elektrischer Energie physikalische Größen der Umgebung erfassen und über beliebige Zeiträume speichern können. Dabei wird die Energie der zu erfassenden physikalische Größe selbst genutzt, um eine reversible oder irreversible Zustandsänderung im Mikro-system hervorzurufen. Die Beibehaltung dieser Zustandsänderung über beliebige Zeiträume wie auch die Möglichkeit den internen Zustand des Mikrosystems in einen nutzbaren elektrischen Messwert zu wandeln sind für den Systementwurf von entscheidender Bedeutung. In dieser Arbeit werden zwei Beispiele derartiger passiver Mikrosysteme vorgestellt. Dabei handelt sich um rein mechanisch passive Mikrosysteme, bei welchen das mechanische Funktionsprinzip des Formschluss verwendet wird. Beide Systeme werden mittels Silicon-on-Insulator Substraten hergestellt. Ein passiver Stoßbeschleunigungssensor auf Basis eines Rastmechanismus, ermöglicht die Erfassung und Speicherung mehrerer Stoßbeschleunigungen. Eine federgeführte seismische Masse bewegt sich relativ gegenüber zwei gefederten Gegenrasten. Die Lage der seismischen Masse wird über eine Verzahnung zu den Gegenrasten gesichert. Je nach Systemvariante können 12 bis 16 verschiedene Stoßbeschleunigungsamplituden im Bereich von 3 g bis 240 g erfasst und gespeichert werden. Mittels eines integrierten elektrostatischen Tangentialaktors können die Systeme bei Spannungen von bis zu 65 V initialisiert werden. Zwei strukturierte Elektrodenflächen, welche mittels eines Deckelchips aus Glas 10 [my]m oberhalb der seismischen Masse positioniert sind, ermöglichen eine kapazitive Messung und so die Wandlung der mechanischen Position in einen elektrischen Messwert. Ein erstmals präsentiertes Konzept für einen lateral aufgebauten, mechanisch binären Zählmechanismus bildet das zweite passive mechanische Mikrosystem. Der Systementwurf weist das Potential zum Zählen und Speichern einer großen (> 100) Anzahl physikalischer Grenzwertüberschreitungen auf. Der Zählerwert wird im System in Form eines mechanisch binären Codes gespeichert. Der Mechanismus ist aus einer Grundmenge funktionaler Systemelemente aufgebaut, die seriell aneinander gereiht werden. Am Eingang des Mechanismus soll ein Energiewandler sitzen, welcher die Energie der zu erfassenden physikalischen Grenzwertüberschreitung in eine zum Mechanismus passende Kraft-Weg-Charakteristik wandelt. Im Rahmen dieser Arbeit werden die Konzeptionierung und die Demonstration der Funktionsfähigkeit des Mechanismus vorgestellt, der Energiewandler am Systemeingang wird als abstrakte Größe behandelt. Die Funktionsfähigkeit des Mechanismus wird mit 2-Bit Systemen demonstriert. Die maximale Schaltkraft tritt beim [3 &flech; 0 Zustandswechsel auf und beträgt rund 20 mN. Dabei muss der Eingang über einen Schaltweg von rund 82 [my]m bewegt und eine maximale Schaltenergie von rund 650 nJ erbracht werden. An einem 2-Bit System wird ein Dauerversuch mit 15 000 Schaltvorgängen durchgeführt, wobei am Ende des Dauerversuchs rund 30 % der Schaltvorgänge fehlerhaft sind. Mittels dünner, piezoresistiver Polysilicium-widerstände auf den Bitführungsfedern kann der mechanische Zählerwert in einen elektrischen Messwert gewandelt werden. Das Phänomen Reibung zwischen trockenchemisch strukturierten Siliciumflächen ist für beide Systementwürfe von Bedeutung. Es wird mittels eigens entworfener Teststrukturen untersucht. Dabei wird ein Gleitreibfaktor zwischen 0,35 und 0,5 bei maximalen Normalkräften von 2,6 mN gemessen.

Behlert, Regine; Gehring, Matthias; Mehner, Hannes; Wieland, Robert; Schrag, Gabriele
Design, modeling, and characterization of a bionically inspired integrated micro-flapper for cooling and venting applications. - In: Proceedings, ISSN 2504-3900, Volume 1 (2017), issue 4, 372, Seite 1-5

Hanitsch, Stefan; Hoffmann, Martin
Active pore for sensor protection : a PNIPAM based micro valve in LTCC. - In: IEEE SENSORS 2017, ISBN 978-1-5090-1012-7, (2017), insges. 3 S.

Wedrich, Karin; Mehner, Hannes; Hoffmann, Martin
Numerical model of a passive microsystem detecting and saving independent acceleration shocks. - In: 28th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop, (2017), 012008, insges. 6 S.

Schmitt, Philip; Wedrich, Karin; Müller, Lutz; Mehner, Hannes; Hoffmann, Martin
Design, fabrication and characterisation of a microfluidic time-temperature indicator. - In: 28th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop, (2017), 012004, insges. 6 S.

Gropp, Sebastian; Stegner, Johannes; Stehr, Uwe; Fischer, Michael; Müller, Jens; Hein, Matthias; Hoffmann, Martin
Silicium-Keramik-Verbundsubstrat für einen HF-MEMS-Oszillator. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 704-707

Si, Shuhuao; Dittrich, Lars; Weigel, Christoph; Hoffmann, Martin
Verkleinerung periodischer Nanostrukturen für NIL-Master mit einstellbaren Strukturdimensionen. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 684-687

Weigel, Christoph; Hoffmann, Martin Ulrich; Schönefeld, Wolfgang
Fluor-basiertes Plasmatiefenätzen von Zerodur für mikrotechnische Anwendungen. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 662-665

Schmitt, Philip; Wedrich, Karin; Hoffmann, Martin
Autonomer Temperatur-Zeit-Integrator. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 574-577

Bichra, Mohamed; Müller, Lutz; Feßer, Patrick; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan
Nanostrukturierte Beugungsgitter für integrierte Metrologie. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 548-551

Bohm, Sebastian; Goj, Boris; Dittrich, Lars; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin
Modellierung des Kontaktverhaltens oszillierender Mikrotastsysteme. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 476-479

Goj, Boris; Bohm, Sebastian; Dittrich, Lars; Dressler, Lothar; Kühnel, Michael; Fröhlich, Thomas; Hoffmann, Martin
MEMS-basiertes Tensiometer zur Messung der Oberflächenspannung. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 472-475

Mehner, Hannes; Schmitt, Philip; Hoffmann, Martin Ulrich
Passiver mechanischer 2-Bit-Zähler zur Erfassung und Speicherung von Grenzwertüberschreitungen. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 348-351

Günther-Müller, Sarah; Endrödy, Csaba; Si, Shuhuao; Gropp, Sebastian; Weinberger, Stefan; Claes, Roland; Justo, Yolanda; D'heer, Herbert; Van Thourhout, Dries; Neft, Anna; Hoffmann, Martin
EWOD System für optische Schalter. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 246-249

Behlert, Regine; Gehring, Matthias; Mehner, Hannes; Wieland, Robert; Schrag, Gabriele
Entwicklung eines bionisch inspirierten, mikro-mechanischen Biegewandlers für effizienten fluidischen Massentransport. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 207-210

Müller, Lutz; Hoffmann, Martin; Maier, Konrad; Helwig, Andreas
Katalytische Silicium-Platin-Nanostrukturen für Niedertemperatur MEMS Wasserstoffsensoren. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 199-202

Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin
Rotationsaktorik für durchstimmbare Mikroprismen durch die thermomechanische Modulation der remanenten Spannung in Aluminiumnitrid Balken. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 139-142

Müller, Lutz; Mehner, Hannes; Hoffmann, Martin
MEMS Feldionisation-Gassensor auf Basis von Palladium-Nanostrukturen. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 101-104

Wedrich, Karin; Mehner, Hannes; Hoffmann, Martin
Passiver Schock-Maximalwertsensor. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 34-37

Fischer, Robert; Stubenrauch, Mike; Straube, Anja; Wedrich, Karin; Goj, Boris; Bartsch, Heike; Bichra, Mohamed; Rothe, Holger; Witte, Hartmut
System for automated cell cultivation and analysis. - In: Engineering for a changing world, (2017), insges. 2 S.

Bichra, Mohamed; Meinecke, Thomas; Müller, Lutz; Feßer, Patrick; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan
Innovative freeform measurement method using two dimensional binary diffractive grating based on nanostructured silicon. - In: Engineering for a changing world, (2017), insges. 7 S.

Lu, Pai; Müller, Lutz; Hoffmann, Martin; Chen, Xuyuan
Taper silicon nano-scaffold regulated compact integration of 1D nanocarbons for improved on-chip supercapacitor. - In: Nano energy, ISSN 2211-2855, Bd. 41 (2017), S. 618-625

Leopold, Steffen; Pätz, Daniel; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin
Stress-modulated tilt actuator for tunable optical prisms. - In: Sensors and actuators. Physical. - Amsterdam [u.a.] : Elsevier Science, 1990- , ISSN: 1873-3069 , ZDB-ID: 1500729-7, ISSN 1873-3069, Bd. 266 (2017), S. 328-337

A tunable optical prism MOEMS based on the deformation of a liquid droplet is presented. An aluminum-nitride membrane is tilted by a novel type of thermo-mechanical actuator. The actuation principle is based on a thermo-mechanical modulation of the intrinsic stress in aluminum-nitride beams. Based on an analytical model, the key parameters of the actuator are optimized. Furthermore, the influence of the intrinsic stress on the actuator properties is investigated. These dependencies and the model are verified by mechanical characterization of samples. Operation in air and with ambient fluid has been confirmed. An image shift of 30 mm is found in a microscopic setup which corresponds to 19 % of the field of view.

Krömker, Heidi; Hoffmann, Martin; Huntemann, Nadja
Wissensstrukturierung für das Lernen in den Ingenieurwissenschaften. - In: Technische Bildung im Spannungsfeld zwischen beruflicher und akademischer Bildung, (2017), S. 101-108

Lu, Pai; Halvorsen, Einar; Ohlckers, Per; Müller, Lutz; Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin; Grigoras, Kestutis; Ahopelto, Jouni; Prunnila, Mika; Chen, Xuyuan
Ternary composite Si/TiN/MnO2 taper nanorod array for on-chip supercapacitor. - In: Electrochimica acta, ISSN 1873-3859, Bd. 248 (2017), S. 397-408
Im Titel ist "2" tiefgestellt

Stubenrauch, Mike; Fischer, Robert; Hoffmann, Martin; Müller, Jens; Sinzinger, Stefan; Liefeith, Klaus; Witte, Hartmut
System for automated cell cultivation and analysis. - In: Biomedical engineering, ISSN 1862-278X, Bd. 62 (2017), S1, Seite S8
Enthalten in: Session 2: Cells, materials and biochemistry I

Si, Shuhao; Dittrich, Lars; Hoffmann, Martin
The NanoTuFe - fabrication of large area periodic nanopatterns with tunable feature sizes at low cost. - In: Microelectronic engineering, Bd. 180 (2017), S. 71-80

Lu, Pai; Du, Kang; Ohlckers, Per; Halvorsen, Einar; Müller, Lutz; Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin; Grigoras, Kestutis; Ahopelto, Jouni; Prunnila, Mika; Chen, Xuyuan
Silicon grass based nano functional electrodes for MEMS supercapacitors of improved energy density. - In: Transducers'17, Kaohsiung, ISBN 978-1-5386-2732-7, (2017), S. 1828-1831

Günther-Müller, Sarah; Endrödy, Csaba; Si, Shuhao; Weinberger, Stefan; Claes, Roland; Justo, Yolanda; D'heer, Herbert; Neft, A.; Hoffmann, Martin
EWOD system designed for optical switching. - In: MEMS 2017, ISBN 978-1-5090-5078-9, (2017), S. 1329-1332

Weigel, Christoph; Markweg, Eric; Müller, Lutz; Schulze, Marcel; Gargouri, Hassan; Hoffmann, Martin
A monolithic micro-optical interferometer deep etched into fused silica. - In: Microelectronic engineering, Bd. 174 (2017), S. 40-45

Si, Shuhao; Dittrich, Lars; Hoffmann, Martin
Low-cost fabrication of nanoimprint templates with tunable feature sizes at a constant pitch. - In: Microelectronic engineering, Bd. 170 (2017), S. 34-38

Krömker, Heidi; Hoffmann, Martin; Huntemann, Nadja
Anwendungsorientierte Fachlandkarten: Fallbeispiel Mikro-Nano-Integration. - In: Anwendungsorientierung und Wissenschaftsorientierung in der Ingenieurbildung, (2016), S. 36-42

Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Frank, Astrid; Schäffel, Christoph; Müller, Jens; Hoffmann, Martin
Fabrication of an RF-MEMS-switch on a hybrid Si-ceramic substrate. - In: 12th IMAPS/ACerS International Conference on Ceramic Interconnect and Ceramic Microsystems Technologies (CICMT 2016), ISBN 978-1-5108-2937-4, Bd. 2016 (2016), CICMT (Mai), Seite 000118-000121

Fischer, Michael; Welker, Tilo; Leistritz, Bianca; Gropp, Sebastian; Schäffel, Christoph; Hoffmann, Martin; Müller, Jens
Investigations of metal systems in a silicon ceramic composite substrate for electrical and thermal contacts as well as associated mounting aspects. - In: Additional conferences (Device packaging, HiTEC, HiTEN, & CICMT), ISSN 2380-4491, Bd. 2016 (2016), CICMT (Mai), Seite 000107-000110

Mehner, Hannes; Müller, Lutz; Biermann, Steffen; Hänschke, Frank; Hoffmann, Martin
Process flow for integration silicon grass with metallic nanostructures in surface micromachined systems. - In: Micro-Nano-Integration, (2016), S. 123-125

Müller, Lutz; Hoffmann, Martin; Maier, Konrad; Helwig, Andreas; Müller, Gerhard
Low temperature catalytic combustible hydrogen MEMS gas sensor enhanced by Si-Pt nanostructures. - In: Micro-Nano-Integration, (2016), S. 73-76

Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Müller, Jens; Hoffmann, Martin
Wetting behaviour of LTCC and glasses on nanostructured silicon surfaces during sintering. - In: Micro-Nano-Integration, (2016), S. 54-58

Krömker, Heidi; Hoffmann, Martin
Wissensplattform zur Mikro-Nano-Integration: das Unsichtbare sichtbar machen. - In: Mikro-Nano-Integration, (2016), S. 64-67

Hoffmann, Martin; Wedrich, Karin; Schmitt, Phillipp; Mehner, Hannes; Jurisch, Reinhard
Non-electrical sensing and storing an alternative to electrical energy harvesting. - In: Procedia engineering, ISSN 1877-7058, Bd. 168 (2016), S. 1621-1625

Woetzel, Stefan;
Mikrosystemtechnisch integriertes, optisch gepumptes Magnetometer. - Ilmenau : Universitätsbibliothek, 2016. - 1 Online-Ressource (xiii,124 Seiten, 18.79 MB)
Technische Universität Ilmenau, Dissertation 2016

Tag der Verteidigung: 31.08.2016

Die vorliegende Arbeit beinhaltet unterschiedliche Aspekte von Entwurf, Fertigung und Erforschung mikrofabrizierter Alkalidampfzellen. Alkalidampfzellen, also hermetisch versiegelte Volumina gefüllt mit Atomen eines Alkalimetalls, haben besondere Bedeutung als zentrales Element innerhalb von optisch gepumpten Magnetometern (OPM) sowie von kleinformatigen Frequenzstandards (bzw. Atomuhren). Moderne Entwicklungen in diesem Bereich gehen insbesondere zu einer Verringerung des Volumens bzw. der Größe der verwendeten Bauteile, da dies zum einen die bessere Integrierbarkeit der Sensoren gewährleistet und außerdem Probleme bei Messungen in inhomogenen Magnetfeldern (z.B. bei der Verwendung im Erdmagnetfeld) vermeidet bzw. beschränkt. Die Verringerung des Zellvolumens widerspricht jedoch gleichzeitig der Forderung an eine hohe Empfindlichkeit der Messung. Diesem aufkommenden Widerspruch zum einen, sowie dem mikrosystemtechnischen Fertigungsprozess der Zellen zum anderen ist diese Arbeit gewidmet. Hinsichtlich des Fertigungsprozesses werden Entwicklungen für die Handhabung des hier verwendeten, hochreaktiven Cäsiums sowie die Möglichkeit zur Passivierung des Zellkörpers mit dünnen Schichten aus Al2O3, abgeschieden mittels Atomlagenabscheidung, gegen den Einfluss des verwendeten Cäsiums vorgestellt. Hervorzuheben ist eine für den hermetischen Zellverschluss entwickelte Methode, welche anodisches Bonden bei Raumtemperatur und Spannungen im Bereich von 100 V erlaubt. Diese einzigartige Parameterkombination wird durch die Verwendung dünner Schichten eines lithiumhaltigen Glases mit hoher Ionenleitfähigkeit ermöglicht. Das Ergebnis dieser Arbeit besteht in einem Array aus mehreren Alkalidampfzellen, welche über Kanäle mit einer zentralen Struktur, dem Reservoir, verbunden sind. Das Reservoir dient der Aufnahme des Cäsiums. Der Aufbau des Arrays gewährleistet identische Eigenschaften bzw. Charakteristika der einzelnen Zellen. Insbesondere durch Anpassungen des verwendeten Puffergases sowie des in den Zellen herrschenden Puffergasdrucks konnte die erreichbare schrotrauschbegrenzte Empfindlichkeit der hergestellten Zellen auf Werte von ca. 150fT/ [Wurzel] Hz gesteigert werden. Bringt man diesen Wert in Relation zum Zellvolumen von 50mm^3 ergibt sich für die Zellen ein Wert von 33,6 fTcm^3/2 / [Wurzel] Hz. Dieser stellt für Messungen im verwendeten Arbeitsregime international einen Spitzenwert dar.

Stegner, Johannes; Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Podoskin, Dmitry; Stehr, Uwe; Müller, Jens; Hoffmann, Martin; Hein, Matthias
Compact low phase-noise MEMS-based RF oscillator on a dedicated silicon-ceramic composite substrate. - In: 2016 46th European Microwave Conference, ISBN 978-2-87487-043-9, (2016), S. 995-998

Goj, Boris; Dressler, Lothar; Dittrich, Lars; Hoffmann, Martin
Resonant three-dimensional electrostatic actuator in silicon technology. - In: ACTUATOR 16, ISBN 978-3-933339-26-3, (2016), S. 327-331

We introduce a controlled triaxial electrostatic actuator which is suitable for multiple applications such as force sensing, microprobing, nanoindenting and cell manipulation. The system comprises an arrangement of serpentine springs, three independently controlled electrostatic actuators, one for each Cartesian direction, and a stylus featuring a ruby ball that is utilised as force transducer. The design, the calculation and the characterisation of the triaxial electrostatic actuator are presented. Crucial features of the actuator are the multiple application scenarios, the compact design, the low actuation voltage and the independent motion in three Cartesian directions even though a shared suspension is employed.

Schneider, Mike;
Energieautarke Sensoren zur Erfassung von Temperatur-Zeit-Integralen. - Ilmenau : Universitätsbibliothek, 2016. - 1 Online-Ressource (IX, 125 Seiten)
Technische Universität Ilmenau, Dissertation 2016

Ziel der vorliegenden Arbeit ist die Entwicklung eines Sensorkonzeptes zur Überwachung von Temperatur-Zeit-Integralen, wie sie beispielsweise bei gekühlter Lagerung von Lebensmitteln oder der Sterilisation von Pharmaprodukten eine Rolle spielen. Im Fokus standen dabei die Anforderungen, welche sich aus der technologischen Umsetzung, Logistik, Produktsicherheit oder den Bedürfnissen des Verbrauchers ergeben. Um dem gerecht zu werden, wurde während des gesamten Entwicklungsprozesses eine Integration direkt in den Herstellungsprozess des Packstoffes, sowie die Anbindung an einen RFID-Transponder vorgesehen und berücksichtigt. Auf diese Weise sollen Konzepte dieser Art kostengünstig und sicher auf Item-Level, d.h. In einzelnen Produkten zur Anwendung kommen. Hierfür wurden verschiedene temperaturgesteuerte physikalische Konzepte wie die Diffusion von Flüssigkeiten in Polymere, Quervernetzung von Polymeren und Kapillareffekte untersucht und deren Umsetzbarkeit bewertet. Der Kapillareffekt erwies sich dabei als die Variante mit dem größten Potential hinsichtlich Einstellbarkeit auf verschiedene Szenarien. Der Kriechvorgang in einer Flüssigkeit mit temperaturabhängiger Viskosität wurde mittels vereinfachter Navier-Stokes-Gleichung für rechteckige Querschnitte wie sie mit planaren Herstellungstechniken hergestellt werden können, analytisch modelliert. Die Herausforderung lag hierbei im Gegensatz zum stationären Zustand auf der Beibehaltung der zeitlichen Abhängigkeit der Strömungsgeschwindigkeit. Aus dem Modell konnten so die für den Kriechprozess entscheidenden geometrischen und stofflichen Parameter bestimmt werden, welche die Kriechgeschwindigkeit beeinflussen. Damit ist es möglich Designrichtlinien hinsichtlich Materialauswahl und Geometrie für die jeweiligen Anwendungen abzuleiten. Abschließend wurde ein Demonstrator aufgebaut, der die Auswertung des Kriechvorgangs eines leitenden Wachses an definierten Stellen durch resistive Messung ermöglicht und gleichzeitig modular mit einem RFID-Transponder verbunden werden kann. Für den Aufbau wurde dabei ein Polymer als Träger für die Kanalstrukturen gewählt um so die Übertragbarkeit in den Herstellungsprozess von Verpackungsmaterialien zu demonstrieren.

Müller, Lutz; Mehner, Hannes; Hoffmann, Martin
MEMS gas ionization sensor with palladium nanostructures for use at ambient pressure. - In: 27th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop, (2016), 012023, insges. 5 S.

Mehner, Hannes; Müller, Lutz; Biermann, Steffen; Hänschke, Frank; Hoffmann, Martin
Process flow to integrate nanostructures on silicon grass in surface micromachined systems. - In: 27th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop, (2016), 012022, insges. 4 S.

Degenhardt, Sarah; Cheriguen, Yahia; Geiling, Thomas; Hoffmann, Martin
Micro-Venturi injector: design, experimental and simulative examination. - In: 27th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop, (2016), 012027, insges. 6 S.

Lu, Pai; Ohlckers, Per; Müller, Lutz; Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin; Grigoras, Kestutis; Ahopelto, Jouni; Prunnila, Mika; Chen, Xuyuan
Nano fabricated silicon nanorod array with titanium nitride coating for on-chip supercapacitors. - In: Electrochemistry communications, ISSN 1873-1902, Bd. 70 (2016), S. 51-55

Silva Cortes, Victor; Podoskin, Dmitry; Stegner, Johannes; Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Hein, Matthias; Hoffmann, Martin; Müller, Jens; Weigel, Robert; Fischer, Georg; Hagelauer, Amelie
Evaluation of a multiphysical RF MEMS oscillator based on LTE receiver performance requirements. - In: 2016 21st International Conference on Microwave, Radar and Wireless Communications (MIKON), ISBN 978-1-5090-2214-4, (2016), insges. 4 S.

Stegner, Johannes; Stehr, Uwe; Podoskin, Dmitry; Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Hoffmann, Martin; Müller, Jens; Hein, Matthias
Hybrid-integrated RF MEMS-based reference oscillator using a silicon-ceramic composite substrate. - In: 2016 German Microwave Conference, ISBN 978-3-9812668-7-0, (2016), S. 353-356

Leopold, Steffen; Knöbber, Fabian; Pätz, Daniel
Aluminum nitride and diamond membranes for tunable micro-optics. - In: Tunable micro-optics, (2016), S. 219-240

Pätz, Daniel; Leopold, Steffen; Zürbig, Verena; Deutschmann, Tobias
Adaptive scanning micro-eye. - In: Tunable micro-optics, (2016), S. 369-394

Müller, Jens; Hannappel, Thomas; Hoffmann, Martin; Jacobs, Heiko O.; Lei, Yong; Rangelow, Ivo W.; Schaaf, Peter
Application of nanostructuring, nanomaterials and micro-nano-integration for improved components and system's performance. - In: 2016 Pan Pacific Microelectronics Symposium (Pan Pacific), ISBN 978-0-9888873-9-8, (2016), insges. 10 S.

Bunge, Frank; Leopold, Steffen; Bohm, Sebastian; Hoffmann, Martin
Scanning micromirror for large, quasi-static 2D-deflections based on electrostatic driven rotation of a hemisphere. - In: Sensors and actuators, ISSN 1873-3069, Bd. 243 (2016), S. 159-166

Weinberger, Stefan; Nguyen, Tran Trung; Lecomte, Roméo; Cheriguen, Yahia; Ament, Christoph; Hoffmann, Martin
Linearized control of an uniaxial micromirror with electrostatic parallel-plate actuation. - In: Microsystem technologies, ISSN 1432-1858, Bd. 22 (2016), 2, S. 441-447

Mehner, Hannes; Schwebke, Silvan; Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin
Micromechanical binary counter mechanism for storing off-limit conditions. - In: MME 2015, (2015), S. 31

Leopold, Steffen; Pätz, Daniel; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin
The engineered eye - three-dimensional scanning of the object-space. - In: MME 2015, (2015), S. 22

Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Müller, Jens; Hoffmann, Martin
A hybrid SiCer substrate based on direct glass-based bonding of LTCC and silicon. - In: WaferBond '15, (2015), S. 21-22

Leopold, Steffen;
Aluminiumnitrid-Membranen für durchstimmbare refraktive Mikrooptiken. - Ilmenau : Universitätsbibliothek, 2015. - 1 Online-Ressource
Technische Universität Ilmenau, Dissertation 2015

Enthält Thesen

Während der Miniaturisierung optischer Systeme entstehen zwei zentrale Herausforderungen. Erstens sinkt der Informationsgehalt der Abbildung durch optische Mikrosysteme in Abhängigkeit von deren Größe. Zweitens muss während der Miniaturisierung optischer Systeme ihre Anpassungsfähigkeit erhalten bleiben. Dazu sind entsprechende Aktorkonzepte nötigt. Durchstimmbare optische Elemente können genutzt werden, um zeitlich nacheinander mehrere Teilbilder aufzuzeichnen. Eine Kombination dieser Bilder führt dann zu einer steigenden Gesamtinformation. Gleichzeitig ermöglicht dies eine durchstimmbare Informationsauswahl, bei der nur der relevante Teil der Gesamtinformation übertragen wird. Ziel dieser Arbeit ist der Aufbau optischer Mikrosysteme zur durchstimmbaren Informationsauswahl. Dies umfasst die dreidimensionale Abtastung des Objektraums sowie einen anamorphotischen Zoom. Die dazu benötigten durchstimmbaren Einzelelemente Linse, Zylinderlinse und Prisma werden in dieser Arbeit entworfen und charakterisiert. Die Umsetzung dieser Elemente erfolgt auf der Basis von nanokristallinen Aluminiumnitrid-Membranen. Durch ihr ideal elastisches Verhalten eignen sich die flexiblen und transparenten Dünnschichten für den Aufbau flüssigkeitsgefüllter Membranlinsen. Für thermomechanische Aktoren sind die hohe Temperaturleitfähigkeit und die hohe Energiedichte von Aluminiumnitrid vorteilhalft. Ein optimiertes Membrandesign ermöglicht die Fertigung kompakter Zylinderlinsen. Dabei beträgt die nutzbare Apertur 3&hahog;3mm 2, was 35 % der Membranfläche entspricht. Für den Aufbau von zwei gekreuzten Zylinderlinsen wird eine hybride Integration von Silicium und Mehrlagenkeramik genutzt. Dies kombiniert die Vorteile beider Technologien und reduziert den Abstand der optisch wirksamen Flächen. Aus insgesamt vier Zylinderlinsen besteht der anamorphotische Zoom. Er ermöglicht die Funktionalität eines klassischen Zooms sowie die individuelle Streckung und Stauchung der Bildhöhe und -breite. Mit diesem System sind Abbildungsmaßstäbe von -0,5 bis -2 erzielbar. Die Funktionalität der Prismen beruht auf der Deformation eines Flüssigkeitstropfens, wobei dieser einen Keil mit durchstimmbaren Winkel formt. Dazu wird ein neuartiger Aktor entwickelt, dessen Funktion auf der thermomechanischen Modulation der remanenten Spannung in Aluminiumnitrid-Balken beruht. Die dreidimensionale Abtastung des Objektraums erfolgt mittels einer sphärischen Membranlinse und zwei durchstimmbarer Prismen. Über die durchstimmbare Linse lässt sich bei fester Bildweite die abgebildete Objektebene auswählen. Mittels zwei gekreuzt angeordneter Prismen lässt sich diese Ebene dann abtasten. Dieses System erlaubt die horizontale und vertikale Verschiebung der Bildinformation um 15 % bzw. 30 % bezogen auf die Sensoroberfläche. Dies entspricht einer Steigerung der Gesamtinformation um 50 %.

Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Dittrich, Lars; Capraro, Beate; Müller, Jens; Hoffmann, Martin
Wetting behaviour of glasses on nanostructured silicon surfaces. - In: Journal of Electrical Engineering, ISSN 2328-2223, Bd. 3 (2015), 1, S. 15-20

Podoskin, Dmitry; Brückner, Klemens; Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Krauße, Dominik; Nowak, Jacek; Hoffmann, Martin; Müller, Jens; Sommer, Ralf; Hein, Matthias A.
Multi-technology design of a MEMS-based integrated RF oscillator using a novel silicon-ceramic compound substrate. - In: 2nd International Scientific Symposium "Sense. Enable. SPITSE." 2015, 22 June - 03 July 2015, ISBN 978-5-7629-1647-9, (2015), S. 24-27

Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Nowak, Jacek; Capraro, Beate; Sommer, Ralf; Hoffmann, Martin; Müller, Jens
Radio frequency microelectromechanical system-platform based on silicon-ceramic composite substrates. - In: Journal of microelectronics and electronic packaging, Bd. 12 (2015), 1, S. 37-42

Hanitsch, Stefan; Hoffmann, Martin
Self-aligning mold for hydrogel micro casting. - In: Biomedical engineering, ISSN 1862-278X, Bd. 60.2015, S1, S. S105

Wurmus, Helmut; Hoffmann, Martin
Das Fachgebiet Mikromechanische Systeme. - In: Jenaer Jahrbuch zur Technik- und Industriegeschichte, ISSN 2198-6746, Bd. 18 (2015), S. 319-331

Weinberger, Stefan;
Quasistatische Torsionsspiegel auf Basis von AIN-Festkörpergelenken, 2015. - Online-Ressource (PDF-Datei: XIV, 142 S., 5,26 MB) : Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2015
Parallel als Druckausg. erschienen

Mikrospiegel gehören zu den bekanntesten Mikrosystemen überhaupt. Die erste Veröffentlichung über Mikrospiegel geschah durch Peterson (IBM) im Jahr 1980 und löste zahlreiche Forschungsaktivitäten aus, die bis heute anhalten. Trotz all dieser Aktivitäten besteht der Bedarf an Mikrospiegeln, die eine quasistatische Strahlablenkung mit hoher Dynamik über einen großen Winkelbereich von mehr als ±10&ring; ermöglichen und dabei eine Spiegelplattengröße >Ø1 mm aufweisen, die sich zur Ablenkung eines Messstrahls eignet. Diese Arbeit hat das Ziel, einen Beitrag zur Entwicklung von quasistatischen Mikrospiegeln für messtechnische Zwecke zu liefern. Die vorgesehene Anwendung besteht in der Strahlablenkung für Freistrahlinterferometrie in einem optischen Mikrotrackersystem. Es werden Dünnschichttorsionsfedern mit einer Dicke zwischen 400 bis 600 nm erprobt. Aluminiumnitrid (AlN) wird auf Grund seiner nanokristallinen Struktur, die zu hervorragenden mechanischen Eigenschaften führt, in dieser Arbeit erstmals als Torsionsfedermaterial eingesetzt. Lebensdauer- und Bruchfestigkeitsuntersuchungen bestätigen die Eignung von AlN als Torsionsfedermaterial. Es ist untersucht worden, ob durch eine dreidimensionale Formgebung das Torsions- zu Biegesteifigkeitsverhältnis erhöht werden kann. Die torsionsweichen Federn ermöglichen große quasistatische Auslenkungen bei Verwendung von einem elektrostatischen Plattenaktor. Bei kardanisch aufgehängten Spiegeln sind quasistatische Auslenkungen der Spiegelplatten in einem Bereich von -7,3&ring; bis +9,3&ring; und der Rahmen im Bereich von -10,9&ring; bis +6,2&ring; erreicht worden, bevor es zur Instabilität (Pull-In-Effekt) kommt. Das Auslenken von Rahmen und Spiegelplatte führt zu einer Querbeeinflussung, wodurch die mögliche Auslenkung reduziert wird. Die erreichten quasistatischen Spiegelauslenkungen von uniaxialen Mikrospiegeln betragen etwa ±12&ring;. Die verwendeten Plattenaktoren ermöglichen einen kompakten Aufbau, sind gut mit den Technologien der Mikrosystemtechnik herstellbar und haben eine hohe Dynamik. Die übliche hohe Nichtlinearität der Winkel-Antriebsspannungs-Kennlinie wird durch neuartige Ansteuerungsverfahren überwunden, die eine nahezu lineare Kennlinie bei den uniaxialen Mikrospiegeln ermöglichen. Die Spiegelplatten weisen mit einem Reflexionsgrad von ca. 90% (lambda = 632,8 nm) und einem Krümmungsradius R >0,8 m, für eine Plattendicke zwischen 55 bis 70 [my]m, eine hohe optische Qualität auf.

Endrödy, B.; Mehner, Hannes; Hoffmann, Martin
Zweiachsiger Mikroschrittaktor mit großem Stellweg für die Positionierung von Blenden-Arrays. - In: MEMS, Mikroelemente, Systeme, (2015), S. 773-776

Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Hoffmann, Martin
Aufbau eines HF-MEMS-Schalters in einem Silicium-Keramik-Verbundsubstrat. - In: MEMS, Mikroelemente, Systeme, (2015), S. 665-668

Mehner, Hannes; Schwebke, Silvan; Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin
Autonomer binärer Zähler für die Erfassung von Grenzwertereignissen. - In: MEMS, Mikroelemente, Systeme, (2015), S. 342-345

Weigel, Christoph; Schneider, Mike; Hoffmann, Martin; Kahl, Sebastian; Jurisch, Reinhard
Autonomer Sensor für den Sauerstoffnachweis in Verpackungen mittels natürlicher Fettsäuren. - In: MEMS, Mikroelemente, Systeme, (2015), S. 278-281

Fischer, Michael; Karolewski, Dominik; Welker, Tilo; Schelestow, Kristina; Gropp, Sebastian; Hoffmann, Martin; Müller, Jens
Thermisches Verhalten von SiCer - ein innovatives Verbundsubstrat für MEMS. - In: MEMS, Mikroelemente, Systeme, (2015), S. 262-265

Weigel, A.; Grewe, Adrian; Hoffmann, Martin
Design und Fertigung eines optofluidischen Messsystems zur kapnometrischen Überwachung. - In: MEMS, Mikroelemente, Systeme, (2015), S. 218-221

Mehner, Hannes; Weise, Christoph; Schwebke, Silvan; Hampl, Stefan; Hoffmann, Martin
Autonomer Mikrosensor zur Integration von Stoßereignissen. - In: MEMS, Mikroelemente, Systeme, (2015), S. 159-162

Weigel, Christoph; Markweg, Eric; Hoffmann, Martin;
In Kieselglas monolithisch integriertes Interferometer. - In: MEMS, Mikroelemente, Systeme, (2015), S. 138-141

Leopold, Steffen; Pätz, Daniel; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin
Das Technische Auge - dreidimensionale Abtastung des Objektraums. - In: MEMS, Mikroelemente, Systeme, (2015), S. 73-76

The photoluminescence intensity of group III nitrides, nanowires, and heterostructures (NWHs) strongly depends on the environmental H2 and O2 concentration. We used this opto-chemical transducer principle for the realization of a gas detector. To make this technology prospectively available to commercial gas-monitoring applications, a large-scale laboratory setup was miniaturized. To this end the gas-sensitive NWHs were integrated with electro-optical components for optical addressing and read out within a com-pact and robust sensor system. This paper covers the entire realization process of the device from its conceptual draft and optical design to its fabrication and assembly. The applied approaches are verified with intermediate results of profilometric characterizations and optical performance measurements of subsystems. Finally the gas-sensing capabilities of the integrated detector are experimentally proven and optimized.

Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin;
Ein dreiachsiger oszillierender Mikrotaster für die Koordinatenmesstechnik. - In: MEMS, Mikroelemente, Systeme, (2015), S. 40-43

Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin;
Design and characterization of a resonant triaxial microprobe. - In: Journal of micromechanics and microengineering, ISSN 1361-6439, Bd. 25 (2015), 12, 125011, insges. 9 S.

Weigel, Christoph; Schneider, Mike; Schmitt, Jean; Hoffmann, Martin; Kahl, Sebastian; Jurisch, Reinhard
Self-sufficient sensor for oxygen detection in packaging via radio-frequency identification. - In: Journal of sensors and sensor systems, ISSN 2194-878X, Bd. 4 (2015), 1, S. 179-186

Endrödy, Csaba; Mehner, Hannes; Grewe, Adrian; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin
2D stepping microdrive for hyperspectral imaging. - In: Smart sensors, actuators, and MEMS VII; and cyber physical systems, 2015, 95170K, insges. 10 S.

Podoskin, Dmitry; Brückner, Klemens; Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Krauße, Dominik; Nowak, Jacek; Hoffmann, Martin; Müller, Jens; Sommer, Ralf
Multi-technology design of an integrated MEMS-based RF oscillator using a novel silicon-ceramic compound substrate. - In: 2015 German Microwave Conference (GeMiC), ISBN 978-1-4799-6681-3, (2015), S. 406-409

Hillenbrand, Matthias; Weiß, Robert; Endrödy, Csaba; Grewe, Adrian; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan
Chromatic confocal matrix sensor with actuated pinhole arrays. - In: Applied optics, ISSN 2155-3165, Bd. 54 (2015), 15, S. 4927-4935

Gropp, Sebastian; Frank, Astrid; Fischer, Michael; Schäffel, Christoph; Müller, Jens; Hoffmann, Martin
Electrostatic parallel-plate MEMS switch on silicon-ceramic-composite-substrates. - In: 2015 German Microwave Conference (GeMiC), ISBN 978-1-4799-6681-3, (2015), S. 414-417

Fischer, Michael; Gropp, Sebastian; Nowak, Jacek; Sommer, Ralf; Hoffmann, Martin; Müller, Jens
RF-MEMS-platform based on silicon-ceramic-composite-substrates. - In: 2015 German Microwave Conference (GeMiC), ISBN 978-1-4799-6681-3, (2015), S. 398-401

Endrödy, Csaba; Mehner, Hannes; Grewe, Adrian; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin
2D stepping drive for hyperspectral systems. - In: Journal of micromechanics and microengineering, ISSN 1361-6439, Bd. 25 (2015), 7, 074002, insges. 9 S.

We present the design, fabrication and characterization of a compact 2D stepping microdrive for pinhole array positioning. The miniaturized solution enables a highly integrated compact hyperspectral imaging system. Based on the geometry of the pinhole array, an inch-worm drive with electrostatic actuators was designed resulting in a compact (1 cm2) positioning system featuring a step size of about 15 [my]m in a 170 [my]m displacement range. The high payload (20 mg) as required for the pinhole array and the compact system design exceed the known electrostatic inch-worm-based microdrives.

Mehner, Hannes; Weise, Christoph; Schwebke, Silvan; Hampl, Stefan; Hoffmann, Martin
A passive microsystem for detecting multiple acceleration events beyond a threshold. - In: Microelectronic engineering, Bd. 145 (2015), S. 104-111

Endrödy, Csaba; Mehner, Hannes; Grewe, Adrian; Hoffmann, Martin
Linear micromechanical stepping drive for pinhole array positioning. - In: Journal of micromechanics and microengineering, ISSN 1361-6439, Bd. 25 (2015), 5, 055009, insges. 9 S.

A compact linear micromechanical stepping drive for positioning a 7 × 5.5 mm^2 optical pinhole array is presented. The system features a step size of 13.2 [my]m and a full displacement range of 200 [my]m. The electrostatic inch-worm stepping mechanism shows a compact design capable of positioning a payload 50% of its own weight. The stepping drive movement, step sizes and position accuracy are characterized. The actuated pinhole array is integrated in a confocal chromatic hyperspectral imaging system, where coverage of the object plane, and therefore the useful picture data, can be multiplied by 14 in contrast to a non-actuated array.

Podoskin, Dmitry; Shaukat, Navel; Brückner, Klemens; Blau, Kurt; Mehner, Hannes; Gropp, Sebastian; Hoffmann, Martin; Hein, Matthias A.
RF oscillators based on piezoelectric aluminium nitride MEMS resonators. - In: GeMiC 2014, (2014), insges. 4 S.

Hampl, Stefan; Leistritz, Bianca; Saft, Benjamin; Hoffmann, Martin; Hennig, Eckhard
Micromechanical, vertical comb-drive-structures for the construction of an electrostatic energy harvester. - In: Energy self-sufficient sensors, (2014), S. 14-19

Gropp, Sebastian; Weigel, Christoph; Hoffmann, Martin
(Oxygen on demand for clinical ventilation) :
Bedarfsgerechte Sauerstoffgabe in der klinischen Ventilation, Teilvorhaben: Patientennahe IR-Atemgasanalyse mit optofluidischer Messzelle : OXIvent - Abschlussbericht ; Berichtszeitraum: 01.09.2011 - 31.08.2014. - Ilmenau : Techn. Univ., Inst. für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano®, Fachgebiet Mikromechanische Systeme. - Online-Ressource (PDF-Datei: 27 S., 2.429 KB)Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden

Endrödy, Csaba; Mehner, Hannes; Grewe, Adrian; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin
Two-dimensional stepping drive for hyperspectral systems. - In: MME 2014 - Istanbul, (2014), insges. 4 S.

Goj, Boris;
Entwicklung eines dreiachsigen taktilen Mikromesssystems in Silicium-Technologie, 2014. - Online-Ressource (PDF-Datei: Getr. Zählung, 42,98 MB) Ilmenau : Techn. Univ., Diss., 2014

Ziel dieser Arbeit war der Entwurf und die Erforschung eines neuartigen dreiachsigen Mikrotastsystems, welches in Verbindung mit einer Nanopositionier- und Nanomessmaschine die Oberflächenvermessung makroskopischer Bauelemente ermöglicht. Eine zentrale Forderung in der Koordinatenmesstechnik stellt die Miniaturisierung des Antastelements (Rubinkugeln) dar, um Messobjekte mit Abmessungen im Mikrometerbereich zu vermessen. Die Miniaturisierung führt allerdings dazu, dass Effekte, die ursprünglich aus der Mikrowelt bekannt sind, berücksichtigt werden müssen. Grund dafür ist die Skalierung, welche eine Verschiebung der Kraftverhältnisse in der Mikrosystemtechnik bewirkt. Neben anderen Oberflächenkräften (elektrostatische Kräfte, van-der-Waals-Kräfte) ist die Kapillarkraft entscheidend für Mikrotastsysteme. Sie bildet sich durch dünne Wasserfilme auf den Oberflächen der Kontaktpartner aus und führt zum Kleben (Sticking) des Antastelements am Messobjekt. Schwerwiegende Folgen sind Fehlantastungen (engl.: false triggering) beim Anfahren des Messobjekts und ungewollte Schwingungen (engl.: snap back) beim Lösen des Kontakts. Hohe Steifigkeiten der mechanischen Aufhängung des Tastsystems minimieren die Wirkung von Sticking. Im Gegenzug dazu erfordern kleine Radien der Antastelemente eine niedrige Federsteifigkeit, da eine hohe Hertzsche Pressung zu Beschädigungen des Messobjekts führen würde. Dieser aufkommende Widerspruch zwischen hohen Federsteifigkeiten zur Minimierung der Kapillarkraft und niedrigen Federsteifigkeiten zur Herabsetzung der Hertzschen Pressung wird in dieser Arbeit gelöst. Es wird der Entwurf und die Erforschung eines dynamischen Mikrotastsystems dargestellt, welches durch oszillierende Bewegungen in drei unabhängigen Raumrichtungen Sticking vermeidet und Kontaktkräfte minimiert. Im Detail wird ein dreistufiger Entwicklungsprozess dokumentiert, indem drei Mikrotastsysteme mit unterschiedlicher Komplexität entstehen. Mit der ersten Entwicklungsstufe dem einachsigen Mikrotastsystem wird nachgewiesen, dass Sticking durch eine dynamische Antastung sicher vermieden wird. Ebenfalls liefert das einachsige Mikrotastsystem Erkenntnisse über das Kontaktverhalten zwischen Antastelement und Messobjekt. Die zweite Vorentwicklung (zweiachsiges Mikrotastsystem) erbringt den Nachweis, dass sich mehrere Schwingungsachsen unabhängig voneinander aktuieren und sensorisch auswerten lassen. Zusätzlich wird das Kontaktverhalten der zweiten sensitiven Achse untersucht. Das Ergebnis dieser Arbeit ist ein dreiachsiges Mikrotastsystem, welches in drei Raumrichtungen mit unterschiedlichen Resonanzfrequenzen (f = 880 Hz bis 2000 Hz) oszilliert. Das Kontaktverhalten zwischen dem Messobjekt und dem Antastelement wird durch die Kontaktsteifigkeit bestimmt, welche vom E-Modul der Kontaktmaterialien und dem Radius des Antastelements abhängt. Das dreiachsige Mikrotastsystem misst im Semi-Kontaktmodus, wobei das Antastelement die Oberfläche des Messobjekts kurzzeitig berührt. Die auftretenden Kontaktkräfte sind mit F = 12 N weit unter denen herkömmlicher taktiler Messsysteme. Erste Messungen mit dem dreiachsigen Mikrotastsystem zeigen, dass in vertikaler Richtung (z-Achse) die Eindringtiefe des Messobjekts mit einer maximalen Abweichung von 45 nm gemessen wird. In x- und y-Richtung erfolgt eine binäre Ermittlung des Kontakts (0 - kein Kontakt, 1 - Kontakt) mit einer Auflösung von 30 nm.Vorteile des in der Arbeit beschriebenen dreiachsigen Mikrotastsystems sind die niedrigen Kontaktkräfte, die hohe Dynamik durch das Vermeiden von Sticking, die kleine Anzahl weicher Klebestellen und die batch-kompatible, kostengünstige Fertigung. Ein weiterer Vorteil des dargestellten Mikrotastsystems ist dessen hohes Anwendungspotenzial: Neben dem Einsatz in Koordinatenmessmaschinen sind Applikationen als 3D-Kraftsensor, Rauheitsmesser, Werkstoffprüfer oder Zellmanipulator denkbar.

Dornbusch, Kay;
Einsatz von miniaturisierten Spektralsensoren für die Prozessanalytik von Flüssigphasenreaktionen in Mikrokanälen. - [Jena] : Leander Wiss., 2014. - 209 S. : Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2014
ISBN 978-3-9815368-7-4

Das in dieser Arbeit entwickelte neuartige optische System ist in der Lage, mit kosteneffizienten niederperformanten optischen Sensoren Intensitätsänderungen an sechs verschiedenen Stützstellen im sichtbaren Spektralbereich zu erfassen und für mikrofluidische Anwendungen auszuwerten. Durch den Einsatz von miniaturisierten Multispektralsensoren und verschiedenen Leuchtdioden als Lichtquelle ist es gelungen, die simultane Aufnahme der Absorptions- und Emissionsspektren von flüssigen Proben in Echtzeit durchzuführen. Damit ist es möglich die Kinetik verschiedener chemischer Reaktionen zu analysieren und deren Geschwindigkeitskonstante mit Hilfe unterschiedlicher Methoden, stopped- und accelerated-flow, zu bestimmen. Weiterhin können vielfältige, in der instrumentellen Analytik wichtige, Nachweisreaktionen schnell und mit einem geringen Probenvolumen im Mikroreaktor, d.h. kostengünstig und umweltschonend durchgeführt werden.Um die dazu benötigten optischen Systeme für die Absorptions- und Emissionsspektroskopie mit ihren Bauteilen zu charakterisieren, werden die verschiedenen Ansätze in eine Raytracing-Software überführt und analysiert. Die geometrisch-optische Berechnung gestattet dabei eine genaue Untersuchung des Systems und ermöglicht bereits in einem frühen Entwurfsstadium Aussagen über wesentliche Parameter. Für die Applikation des Systems werden einige typische Nachweisreaktionen aus den Life Sciences wie der Nachweis von Phosphationen im Trinkwasser oder die enzymatischen Nachweise von Zucker und Alkoholen getestet. Die Bestimmung der Geschwindigkeitskonstante wird für den Glucosenachweis mit Kaliumpermanganat und die Entfärbung von Kristallviolett durchgeführt.

Hanitsch, Stefan; Grohmann, Steffi; Berg, Albrecht; Moje, J.; Hoffmann, Martin
Method for testing of hydrogel sensor coatings. - In: Biomedical engineering, ISSN 1862-278X, Bd. 59.2014, Suppl. 1, S. S31-S33

Stubenrauch, Mike; Hanitsch, Stefan; Fischer, Robert; Bartsch, Heike; Straube, Anja; Hoffmann, Martin; Witte, Hartmut
BioMEMS for analysis and synthesis in life sciences. - In: Biomedical engineering, ISSN 1862-278X, Bd. 59.2014, Suppl. 1, S. S127

Polster, Tobias;
Aluminiumnitrid Dünnschichtmembranen : Charakterisierung und technologische Integration in den MEMS-Prozessfluss, 2014. - Online-Ressource (PDF-Datei: VII, 185 S., 11,73 MB) : Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2014
Parallel als Druckausg. erschienen

Diese Arbeit beschäftigt sich mit unterschiedlichen Aspekten des Materials Aluminiumnitrid (AlN) als Dünnschicht. Dabei wird ein Überblick zum aktuellen Stand der Technik auf Applikationsseite mit gleichzeitiger Abgrenzung zu den selbstragenden AlN-Membranen gegeben. Die selbstragenden AlN-Membranen stellen in dieser Arbeit die zentralen Elemente dar. Zudem werden wesentliche Membraneigenschaften wie der E-Modul, die intrinsische Verspannung und die thermische Leitfähigkeit anhand von membranbasierten Teststrukturen charakterisiert. Abschließend werden zwei Applikationsbeispiele nach den Regeln zur Prozessintegration umgesetzt und in ihrer Funktionalität demonstriert. Dies Regeln sind im Zuge der technologischen Versuche aufgestellt worden. Die bereits erwähnten AlN-Dünnschichtmembranen werden in dieser Arbeit als neue Funktionselemente eingeführt. Deren Herstellung kann über eine sehr einfache Prozessfolge mit wenigen Prozessschritten erfolgen. Im Rahmen dieser Arbeit werden zudem erstmals die mechanisch stabilen, selbsttragenden AlN-Pyramidenmembranen vorgestellt. Dabei handelt es sich um neuartige dreidimensionale Membranelemente, deren Herstellungsmöglichkeit aus den Untersuchungen zur technologischen Integration von AlN-Dünnschichten hervorgeht. Die in dieser Arbeit eingesetzten Membranelemente basieren alle auf AlN-Dünnschichten mit einer definierten kristallinen Struktur, der c-Achsentextur. Diese Struktur wird zum Einstieg in die Materialcharakterisierung näher betrachtet. Zudem werden die Parameter der Schichtabscheidung zum Erzielen dieser Struktur definiert. Zur Untersuchung der Membranelemente hinsichtlich ihrer mechanischen Eigenschaften werden Bulge-Test-Experimenten durchgeführt. Diese eröffnen die Möglichkeit Membran- bzw. Schichtspannung und biaxialen Modul zu analysieren. Die Bestimmung der thermischen Leitfähigkeit der AlN-Dünnschichten erfolgt ebenfalls auf Basis von Membranelementen. Dazu werden die entsprechend benötigten Heiz- und Temperaturmessstrukturen auf den Membranen integriert. Den Abschluss dieser Arbeit bildet die Vorstellung zweier Funktionalisierungsbeispiele von AlN-Membranen. Damit wird unterstrichen, wie vielfältig die Möglichkeiten der technologischen Integration sind. Eines der Beispiele beschreibt eine thermomechanisch aktuierte AlN-Membran. Das zweite Funktionalisierungsbeispiel befasst sich mit der Integration von Elektrodenkontakten auf den AlN-Pyramidenmembranen, welche die Möglichkeit zum Aufbau eines piezoelektrisch sensitiven Elementes aufzeigt.

Goj, Boris; Bartsch, Heike; Hanitsch, Stefan; Hoffmann, Martin; Müller, Jens
Temperature and humidity sensor based on planarized LTCC-surfaces :
Temperatur- und Feuchtesensor basierend auf planarisierten LTCC-Oberflächen. - In: Mikro-Nano-Integration, (2014), S. 127-130

Leopold, Steffen; Pätz, Daniel; Sinzinger, Stefan; Müller, Jens; Hoffmann, Martin
Hybride Integration von Silicium- und LTCC-Technologie zur Herstellung verstimmbarer Zylinderlinsen. - In: Mikro-Nano-Integration, (2014), S. 112-117

Markweg, Eric; Schädel, Martin; Brodersen, Olaf; Ortlepp, Hans Georg; Hoffmann, Martin; Mollenhauer, Olaf
Mikrotechnische Umsetzung eines integriert optischen Michelson-Interferometers für Auflösungen im Sub-Nanometerbereich. - In: Mikro-Nano-Integration, (2014), S. 107-111

Günschmann, Sabine; Müller, Lutz; Fischer, Michael; Hoffmann, Martin; Müller, Jens
Selektive Erzeugung von Nanostrukturen auf einer Waferoberfläche zur Realisierung von optischen und mechanischen Funktionen beim Aufbau eines Echtzeitölsensors. - In: Mikro-Nano-Integration, (2014), S. 69-74

Müller, Lutz; Günschmann, Sabine; Fischer, Michael; Müller, Jens; Hoffmann, Martin; Käpplinger, Indira; Brode, Wolfgang; Biermann, Steffen
Nanostrukturen als Problemlöser - Emissionserhöhung und Interferenzvermeidung am Bsp. eines IR-basierten Fluidsensors. - In: Mikro-Nano-Integration, (2014), S. 52-56

Mehner, Hannes; Endrödy, Csaba; Hoffmann, Martin
Linear stepping microactuator for hyperspectral systems. - In: 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN), ISBN 978-1-4799-3737-0, (2014), S. 117-118

Grewe, Adrian; Endrödy, Csaba; Hillenbrand, Matthias; Cu-Nguyen, Phuong-Ha; Seifert, Andreas; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan
Compact hyperchromatic imaging systems based on tunable optical microsystems. - In: 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN), ISBN 978-1-4799-3737-0, (2014), S. 129-130

We present hyperspectral imaging (HSI) systems based on a hyperchromatic confocal approach. Spatial filters are used to separate the spectral components of the light. The necessary multiplexing in time is realized by tuneable optics. In addition, we propose tunable systems with diffractive Alvarez-Lohmann lenses as well as fluidic micro lenses and present a demonstrator using Alvarez-Lohmann lenses. Micromechanical stepper actuators with large movement range are used to enhance the spatial resolution of those systems.

Pätz, Daniel; Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan
Tunable anamorphotic imaging system based on fluidic cylindrical lenses. - In: 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN), ISBN 978-1-4799-3737-0, (2014), S. 25-26

We present an anamorphotic imaging system with a separately tunable magnification in horizontal and vertical direction in order to change the aspect ratio of the image. The design is based on cylindrical membrane lenses made of aluminum nitride with tunable focal power to realize a vario system without moving elements. We demonstrate the design concept of cylindrical lenses with a very compact geometry, the optical system as well as experimental results.

Hoffmann, Martin
Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 5. GMM-Workshops, 8. - 9. Oktober 2014 in Ilmenau. - Berlin : VDE-Verl., 2014. - 1 CD-ROM. - (GMM-Fachbericht ; 81) ISBN 978-3-8007-3632-4

Hanitsch, Stefan; Hampl, Jörg; Fischer, Robert; Tobola, Justyna; Stubenrauch, Mike; Schober, Andreas; Witte, Hartmut; Hoffmann, Martin
Integration of hydrogels into BioMEMS. - In: Shaping the future by engineering, (2014), insges. 9 S.

Weigel, Christoph; Schneider, Mike; Hoffmann, Martin; Kahl, Sebastian; Jurisch, Reinhard
Low-energy-sensor for oxygen detection in packaging via RFID :
Niedrig-Energie-Sensor für den Sauerstoffnachweis in Verpackungen mittels RFID. - In: Sensoren und Messsysteme 2014, (2014), insges. 6 S.

Müller, Lutz; Günschmann, Sabine; Fischer, Michael; Müller, Jens; Hoffmann, Martin; Käpplinger, Indira; Brode, Wolfgang; Magi, André; Biermann, Steffen; Pignanelli, Eliseo; Schütze, Andreas
Development and optimization of a fluidic sensor system based on silicon and ceramic microtechnology components :
Entwicklung und Optimierung mikrotechnischer Silizium- und Keramikkomponenten zur Realisierung eines Fluidiksensors. - In: Sensoren und Messsysteme 2014, (2014), insges. 6 S.

Cu-Nguyen, Phuong-Ha; Grewe, Adrian; Endrödy, Csaba; Sinzinger, Stefan; Zappe, Hans; Seifert, Andreas
Compact tunable hyperspectral imaging system. - In: IEEE 27th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2014, ISBN 978-1-4799-3510-9, (2014), S. 1167-1170

Geiling, Thomas; Dressler, Lothar; Welker, Tilo; Hoffmann, Martin
Fine dust measurement with electrical fields - concept of a hybrid particle detector. - In: 9th IMAPS/AcerS International Conference and Exhibition on Ceramic Interconnect and Ceramic Microsystems Technologies (CICMT 2013), ISBN 978-1-62993-718-2, (2014), S. 131-136

Leopold, Steffen; Geiling, Thomas; Fliegner, Caroline; Pätz, Daniel; Sinzinger, Stefan; Müller, Jens; Hoffmann, Martin
Multifunctional LTCC substrates for thermal actuation of tunable micro-lenses made of aluminum nitride membranes. - In: 9th IMAPS/AcerS International Conference and Exhibition on Ceramic Interconnect and Ceramic Microsystems Technologies (CICMT 2013), ISBN 978-1-62993-718-2, (2014), S. 124-130

Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin;
Semi-contact measurements of three-dimensional surfaces utilizing a resonant uniaxial microprobe. - In: Measurement science and technology, ISSN 1361-6501, Bd. 25 (2014), 6, S. 064012, insges. 9 S.

Vorbringer-Dorozhovets, Nataliya; Goj, Boris; Machleidt, Torsten; Franke, Karl-Heinz; Hoffmann, Martin; Manske, Eberhard
Multifunctional nanoanalytics and long-range scanning probe microscope using a nanopositioning and nanomeasuring machine. - In: Measurement science and technology, ISSN 1361-6501, Bd. 25 (2014), 4, S. 044006, insges. 7 S.

An interferometer-based metrological scanning probe microscope (SPM) is successfully integrated into our nanopositioning and nanomeasuring machine (NPM machine) for high-precision measurements with nanometre uncertainty over a range of 25 mm × 25 mm × 5 mm. Both devices were developed at the Institute of Process Measurement and Sensor Technology of Ilmenau University of Technology, Germany. Outstanding results were achieved for different measurement tasks. With the NPM machine, truly long-range and long-term measurements are possible. Due to the tip wear, an automatic SPM cantilever replacement is preferable. Such a tip replacement is also required for the integration of multifunctional nanoanalytics. For example, for Kelvin probe force microscopy (KPFM), the measurement of topography and surface potential with different SPM tips is necessary. For this purpose, an electromagnetic tip changer was designed. The tip changer comprises three SPM probes. In order to retrieve the previous tip positions, additional fiducial marks were developed. The repeatability of relocation is less than 10 nm. The automatic tip changer and fiducial marks are integrated into a sample holder. The tip changer in combination with fiducial marks allows scanning distances three times longer (with the same type of SPM probes) and multifunctional nanoanalytics (with different SPM probes with special properties). Sample KPFM measurements are demonstrated. The developed tip changer, including special fiducial marks, improves the performance and functionality of the NPM machine crucially.

Müller, Lutz; Käpplinger, Indira; Biermann, Steffen; Brode, Wolfgang; Hoffmann, Martin
Infrared emitting nanostructures for highly efficient microhotplates. - In: Journal of micromechanics and microengineering, ISSN 1361-6439, Bd. 24 (2014), 3, 035014, insges. 9 S.

Weinberger, Stefan; Nguyen, Tran Trung; Ament, Christoph; Hoffmann, Martin
Quasi-static micromirror with enlarged deflection based on aluminum nitride thin film springs. - In: Sensors and actuators. Physical. - Amsterdam [u.a.] : Elsevier Science, 1990- , ISSN: 1873-3069 , ZDB-ID: 1500729-7, ISSN 1873-3069, Bd. 210 (2014), S. 165-174

Dittrich, Lars; Hoffmann, Martin;
Chip-integrated solutions for manipulation and sorting of micro droplets and fluid segments by electrical actuation. - In: Micro-segmented flow, (2014), S. 55-72

Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin
Resonant biaxial nanoprobe utilized for non-contact surface measurements. - In: Sensors & transducers, ISSN 2306-8515, Bd. 157 (2013), 10, S. 392-399

In this work a non-contact biaxial nanoprobe for surface profile scans of macroscopic objects with 150 nm accuracy is presented. The biaxial nanoprobe oscillates in two directions to overcome the challenges of sticking in contact mode. Two electrostatic actuators drive the nanoprobe while two electrostatic sensors measure the position of the tip ball. The contact behavior between the tip ball and the specimen is determined by the contact stiffness and the contact damping. Dependent on the dominating effect the nanoprobeoperatesat semi- or non-contact mode, respectively. The aims of this paper are the investigation of the contact behavior, the proof of the independent evaluation of the two axes and the check if sticking is safely avoided.

Weigel, Christoph
Niedrigenergie-Sensor zum Nachweis von Sauerstoff in Verpackungen mittels RFID - O2-SENS - Teilvorhaben: Erforschung passiver Sensorkonzepte : Schlussbericht O2Sens, öffentliche Fassung ; Berichtszeitraum: 01.01.2011 - 30.06.2013. - Ilmenau. - Online-Ressource (23 S., 1,69 MB)Förderkennzeichen BMBF 16SV5277. - Verbund-Nr. 01082506. - [Engl. T.: Final report: Low-energy-sensor for oxygen detection in packaging via RFID (O2Sens)]

Dittrich, Lars
Virtuelle Membranaktoren auf Nanostrukturen in Mikro-Pumpen : NanoMiPu ; Schlussbericht ; Laufzeit des Vorhabens: 01.11.2010 bis 30.06.2013. - Ilmenau : Techn. Univ., IMN MacroNano, Fachgebiet Mikromechanische Systeme. - Online-Ressource (20 S., 1,61 MB)Förderkennzeichen BMBF 16SV5368

Markweg, Eric; Weinberger, Stefan; Nguyen, Tran Trung; Ament, Christoph; Hoffmann, Martin
Mikrolasertracker für die 3D Koordinatenmessung : kürzere Bearbeitungszeiten, höhere Messgenauigkeit. - In: Optolines, ISSN 2193-9462, (2013), 33, S. 8-10

Vorbringer-Dorozhovets, Nataliya; Goj, Boris; Machleidt, Torsten; Franke, Karl-Heinz; Hoffmann, Martin; Manske, Eberhard
Multifunctional nanoanalytics and long-range SPM based on NPM machine. - In: Nanoscale 2013, (2013), S. 85

Klapperstück, Thomas; Glanz, Dagobert; Hanitsch, Stefan; Klapperstück, Manuela; Markwardt, Fritz; Wohlrab, Johannes
Calibration procedures for the quantitative determination of membrane potential in human cells using anionic dyes. - In: Cytometry, ISSN 1552-4930, Bd. 83A (2013), 7, S. 612-626

Hoffmann, Martin; Goj, Boris; Goj, Boris *1985-*; Dressler, Lothar
Kontaktlose Oberflächenantastung in bis zu drei Raumrichtungen zur Vermeidung von Sticking-Effekten in der Koordinatenmesstechnik. - In: 6. Kolloquium Mikroproduktion, 2013, B23, insges. 6 S.

Geiling, Thomas; Welker, Tilo; Bartsch, Heike; Müller, Jens
Measurement of nitrogen monoxide levels in gas flows with a micro total analytical system based on LTCC. - In: 7th IMAPS/AcerS International Conference and Exhibition on Ceramic Interconnect and Ceramic Microsystems Technologies, ISBN 978-1-62748-105-2, (2013), S. 130-136

Hanitsch, Stefan; Hoffmann, Martin
Test environment for hydrogels as functional sensor window. - In: Biomedical engineering, ISSN 1862-278X, Bd. 58 (2013), insges. 2 S.

Mehner, Hannes; Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin
Variation des intrinsischen Stressgradienten dünner Aluminiumnitridschichten. - In: Von Bauelementen zu Systemen, (2013), S. 622-625

Hampl, Stefan; Leistritz, Bianca; Saft, Benjamin; Hoffmann, Martin; Hennig, Eckhard
Ein- und mehrlagige vertikale Comb-Drive-Strukturen zur kapazitiven, niederfrequenten Energiegewinnung. - In: Von Bauelementen zu Systemen, (2013), S. 524-527

Dittrich, Lars; Endrödy, Csaba; Hoffmann, Martin;
Mikropumpe mit elektrostatischem Direktantrieb. - In: Von Bauelementen zu Systemen, (2013), S. 512-515

Hampl, Stefan; Hoffmann, Martin
Piezoelektrische AlN-Bimorphe als niederfrequent-resonante Mikroaktoren mit großem Stellweg. - In: Von Bauelementen zu Systemen, (2013), S. 480-483

Markweg, Eric; Weinberger, Stefan; Nguyen, Tran Trung; Schädel, Martin; Brodersen, Olaf; Ament, Christoph; Hoffmann, Martin
Mikrolasertracker zur multisensorischen 3D-Koordinatenmessung. - In: Von Bauelementen zu Systemen, (2013), S. 468-471

Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin;
Resonant non-contact microprobe in silicon :
Resonanter berührungsloser Mikrotastkopf in Silicium-Mikromechanik. - In: Von Bauelementen zu Systemen, (2013), S. 253-256

Grewe, Adrian; Endrödy, Csaba; Fütterer, Richard; Cu-Nguyen, Phuong-Ha; Steiner, S.; Hillenbrand, Matthias; Correns, Martin; Hoffmann, Martin; Linß, Gerhard; Zappe, Hans P.; Seifert, Andreas; Kley, E. B.; Sinzinger, Stefan
Opto-mechanical microsystems for hyperspectral imaging :
Opto-mechanische Mikrosysteme zur hyperspektralen Bildgebung. - In: Von Bauelementen zu Systemen, (2013), S. 139-142

We present approaches and systems for hyperspectral imaging devices. The first approach is based on resonant waveguide gratings. Another two systems employ a hyperchromatic confocal approach for the spectral separation of light. The necessary multiplexing in time is realized by tuneable optics. Here we use fluidic micro lenses as well as diffractive Alvarez-Lohmann Lenses. To increase the resolution of such systems micromechanical stepper actuators with large travel range are designed.

Müller, Lutz; Hoffmann, Martin; Käpplinger, Indira; Brode, Wolfgang; Biermann, Steffen
Silicium-Platin Nanostrukturen für hochgradig Infrarot-emissive Oberflächen in Hotplate-Emittern. - In: Von Bauelementen zu Systemen, (2013), S. 87-90

Leopold, Steffen; Pätz, Daniel; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin
Tunable micro-lenses based on aluminium nitride membranes :
Adaptive Mikrolinsen basierend auf Aluminiumnitrid Membranen. - In: Von Bauelementen zu Systemen, (2013), S. 173-176

Tunable micro-lenses based on deformable membranes consist of a liquid, whose surface is defined by a pressure chamber and a membrane. If a pressure is applied, the membrane deflects spherically. Thus the liquid within the pressure chamber, which is covered with the membrane, forms a plano-convex lens. Within this contribution aluminium nitride membranes for tunable lenses are investigated. They benefit from long-term-stability and a nearly ideal spherical deformation. For the mechanical and optical characterization we use 500 nm thick membranes with a diameter of 3 mm. For an applied pressure of 20 kPa, we observed membrane delections of up to 64 [my]m and refractive powers between 0 and 25 dpt.

Yan, Yong; Hao, Bo; Wang, Dong; Chen, Ge; Markweg, Eric; Albrecht, Arne; Schaaf, Peter
Understanding the fast lithium storage performance of hydrogenated TiO 2 nanoparticles. - In: Journal of materials chemistry. Materials for energy and sustainability / Royal Society of Chemistry. - London [u.a.] : RSC, 2013- , ISSN: 2050-7496 , ZDB-ID: 2702232-8, ISSN 2050-7496, Bd. 1 (2013), 46, S. 14507-14513

Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin;
Non-contact biaxial nanoprobe utilized for surface measurements of MEMS. - In: Nanotechnology 2013: electronics, devices, fabrication, MEMS, fluidics and computational, ISBN 978-1-4822-0584-8, (2013), S. 197-200

Pätz, Daniel; Sinzinger, Stefan; Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin
Imaging systems with aspherically tunable micro-optical elements. - In: Imaging systems and applications, ISBN 978-1-55752-975-6, (2013), insges. 3 S.

We present a micro-optical imaging system with active scanning function to expand the field of view of a single lens. We demonstrate design concepts for focusing and scanning elements, fabrication fundamentals as well as experimental results with multiple individually tunable lenses.

Grewe, Adrian; Hillenbrand, Matthias; Endrödy, Csaba; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan
Advanced phase plates for confocal hyperspectral imaging systems. - In: Applied industrial optics, ISBN 978-1-55752-975-6, (2013), insges. 3 S.

We present innovative confocal hyperspectral imaging systems. The focal length of the systems can be adjusted to change the filtered wavelength band. The active focus variation is achieved by hyperchromatic Alvarez-Lohmann-phase plates.

Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin;
Non-contact measurements of three-dimensional surfaces utilizing a miniaturized uniaxial nanoprobe. - In: ISMTII 2013, (2013), S. 138

Mehner, Hannes; Leopold, Steffen; Leopold, Steffen *1983-*; Hoffmann, Martin;
Variation of the intrinsic stress gradient in thin aluminum nitride films. - In: Journal of micromechanics and microengineering, ISSN 1361-6439, Bd. 23 (2013), 9, 095030, insges. 9 S.

Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin;
Resonant probing system comprising a high accurate uniaxial nanoprobe and a new evaluation unit. - In: Journal of micromechanics and microengineering, ISSN 1361-6439, Bd. 23 (2013), 9, 095012, insges. 10 S.

Leopold, Steffen; Polster, Tobias; Pätz, Daniel; Knöbber, Fabian; Ambacher, Oliver; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin
MOEMS tunable microlens made of aluminum nitride membranes. - In: Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS, ISSN 1932-5134, Bd. 12 (2013), 2, S. 023012, insges. 8 S.

We present tunable lenses based on aluminum nitride membranes. The achievable tuning range in the refractive power is 0 to 25 dpt with an external pressure load of ≤20 kPa. The lenses are manufactured using MOEMS technology. For 500-nm-thick membranes with a diameter of 3 mm, a spherical deflection profile is found. The system provides good long-term stability showing no creep or hysteresis. A model for the refractive power versus applied pressure is derived and validated experimentally. Based on this model, design guidelines are discussed. One essential parameter is the residual stress of the aluminum nitride layer that can be controlled during deposition.

Weinberger, Stefan; Hoffmann, Martin
Aluminum nitride supported 1D micromirror with static rotation angle >11&ring;. - In: MOEMS and miniaturized systems XII, ISBN 978-0-8194-9385-9, 2013, 86160E, insges. 9 S.

Leopold, Steffen; Pätz, Daniel; Knöbber, Fabian; Ambacher, Oliver; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin
Tunable cylindrical microlenses based on aluminum nitride membranes. - In: MOEMS and miniaturized systems XII, ISBN 978-0-8194-9385-9, 2013, 861611, insges. 9 S.

Leopold, Steffen; Müller, Lutz; Kremin, Christoph; Hoffmann, Martin
Online monitoring of the passivation breakthrough during deep reactive ion etching of silicon using optical plasma emission spectroscopy. - In: Journal of micromechanics and microengineering, ISSN 1361-6439, Bd. 23 (2013), 7, 074001, insges. 6 S.

Markweg, Eric; Nguyen, Tran Trung; Ament, Christoph; Hoffmann, Martin; Schädel, Martin; Brodersen, Olaf
Integration of a position photodiode for a micro laser tracker system. - In: Smartsystems integration, ISBN 978-3-8007-3490-0, (2013), insges. 8 S.

Welker, Tilo; Geiling, Thomas; Bartsch, Heike; Müller, Jens
Design and fabrication of transparent and gas-tight optical windows in low-temperature co-fired ceramics. - In: International journal of applied ceramic technology, ISSN 1744-7402, Bd. 10 (2013), 3, S. 405-412

Markweg, Eric; Hoffmann, Martin
Optical scanners based on thermo-optical tuning of an integrated-optical waveguide mode. - In: MOEMS and miniaturized systems XII, ISBN 978-0-8194-9385-9, 2013, 86160A, insges. 8 S.

Heidrich, Nicola; Knöbber, Fabian; Polyakov, Vladimir; Cimalla, Volker; Pletschen, Wilfried; Sah, Ram Ekwal; Kirste, Lutz; Leopold, Steffen; Hampl, Stefan; Ambacher, Oliver; Lebedev, Vadim
Corrugated piezoelectric membranes for energy harvesting from aperiodic vibrations. - In: Sensors and actuators, ISSN 1873-3069, Bd. 195 (2013), S. 32-37

Laqua, Daniel; Hampl, Stefan; Hoffmann, Martin; Husar, Peter
Proof of concept for energy harvesting using piezoelectric microstructures for intelligent implants using eye-motion classified with the Integrated Eyetracker. - In: World Congress on Medical Physics and Biomedical Engineering, (2013), S. 1397-1400

Gerbach, Ronny;
Zerstörungsfreie Charakterisierung mikromechanischer Strukturen für produktionsbegleitende Anwendungen. - Halle (Saale) : Fraunhofer Institut für Werkstoffmechanik IWM, 2012. - XIX, 130, XII S.. - (Wissenschaftlicher Bericht) : Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2012
Enth. außerdem: Thesen

Die Überwachung von Fertigungsschritten in der Mikrosystemtechnik ist ein wichtiger Punkt zur Erhöhung der Ausbeute und zur Reduzierung von Produktionskosten. Dies beinhaltet eine Charakterisierung aller Systembestandteile in frühzeitigen Produktionsschritten und ein Aussortieren fehlerhafter Bauelemente. Eine besondere Herausforderung stellen die mechanischen Bestandteile der Mikrosysteme dar, für deren Charakterisierung nichtelektrische Messgrößen benötigt werden und somit ein Einsatz der in der Mikroelektronik standardmäßig verwendeten Testmethoden nicht möglich ist. Die vorliegende Arbeit stellt grundlegende Untersuchungen an mikromechanischen Strukturen vor, deren Ergebnisse für eine zerstörungsfreie Strukturcharakterisierung in frühen Produktionsschritten eingesetzt werden können. Hierfür werden das Verformungsverhalten und die Eigenschwingungen mikromechanischer Balken, Platten und Membran numerisch mit der Finite-Elemente-Methode und experimentell mittels Weißlichtinterferometrie und Laser-Doppler-Vibrometrie untersucht. Aufbauend auf den ermittelten Eigenschaften werden gesuchte Geometrie- und mechanische Materialkenngrößen durch simulationsgestützte Parameteridentifikationen bestimmt und durch zerstörende Prüfmethoden validiert. Darüber hinaus werden Untersuchung von Bauelementen mit künstlich erzeugten Fehlern, die in Defekttyp und -geometrie möglichen Herstellungsschäden bei der Fertigung von Mikrosystemen entsprechen, vorgestellt. Aufbauend auf diesen Ergebnissen werden mögliche Anwendungen wie auch Einsatzgrenzen der entwickelten Methoden aufgezeigt und beurteilt.

Bechtold, Franz; Heymel, Armin; Hummel, Wolf; March, Barbara; Schneider, Mike; Steinke, Arndt
New generation of dew point sensors based on LTCC substrate with decoupled contact system. - In: Proceedings, (2012), S. 000191-000199

Hampl, Stefan; Hoffmann, Martin
Piezoelektrischer AlN-Bimorph als resonanter Mikroaktor. - In: Mikro-System-Technik Chemnitz '12, (2012), S. 75-78

Goj, Boris; Hoffmann, Martin;
Resonant nanoprobe with integrated measurement system. - In: Conference proceedings, (2012), S. 726-729

Welker, Tilo; Geiling, Thomas; Bartsch, Heike; Müller, Jens
Design and fabrication of gas tight optical windows in LTCC. - In: Proceedings, (2012), S. 000579-000583

Markweg, Eric; Hillenbrand, Matthias; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin
Planar plano-convex microlens in silica using ICP-CVD and DRIE. - In: Optical systems design 2012, 2012, 85500T, insges. 7 S.

A microlens suitable for integration with photonic elements on the same substrate is presented. It is fabricated utilizing planar standard technologies such as UV lithography, ICO-CVD and Deep Reactive Ion Etching. For reaching an optical 3D functionality with 2D structuring methods a variation of the refractive index during the layer desposition process in the vertical direction is used. For the horizontal direction, parallel to the substrate, the shape of etched side walls determines the focus. This procedure allows the independent control of light propagation in two perpendicular directions with planar technologies. To demonstrate the potential of the technology, optical elements for the collimation of fiber-beased light sources are presented.

Dittrich, Lars; Endrödy, Csaba; Hoffmann, Martin;
Dimensionierung und Technologiekonzept für eine neuartige Mikropumpe ohne bewegliche mechanische Bauteile. - In: Mikro-Nano-Integration, (2012), 10, insges. 6 S.

Müller, Lutz; Hoffmann, Martin
Silicium-Metall Nanostrukturen mit ultrahoher Absorption im infraroten Strahlungsbereich. - In: Mikro-Nano-Integration, (2012), 7, insges. 6 S.

Król, József;
Beitrag zur Integration von thermomechanischen flüssigkristallinen Elastomeren als Aktor in die Mikromechanik, 2012. - Online-Ressource (PDF-Datei: VIII, 134 S., 2,52 MB) : Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2012
Enth. außerdem: Thesen

Die vorliegende Arbeit ist ein Beitrag zur monolithischen Integration von thermomechanischen flüssigkristallinen Elastomeren (FULCE) als Aktor in die Mikromechanik. Es wird dargestellt, welche üblichen Aktoren in der Mikromechanik verwendet werden und verdeutlicht, welche Vorteile eine neuartige Aktorfamilie, die funktionellen flüssigkristallinen Elastomere herausstellt. Aus der Sicht der Anwendung wird der potentielle Aktorwerkstoff beschrieben und das mögliche Anwendungsgebiet in der Mikro- beziehungsweise Nanotechnologie eingeschränkt. Die Randbedingungen der Mikromechanik, die für den Einsatz des Aktors notwendig sind, werden erarbeitet. Es werden Literaturangaben bezüglich der mechanischen Aktorspannung experimentell untersucht, und es wird ein möglicher Ablaufplan für die erfolgreiche nicht-hybride Integration des Werkstoffes dargestellt. Aus dem potentiellen Aktorwerkstoff wird durch Prozessierung der Aktor hergestellt. Bei den Demonstratoren wird die Funktionsfähigkeit des Aktors mittels optischer Polarisationsmikroskopie sowie mittels thermoelastische Experimente als Funktionstests nachgewiesen. Für die Weiterführung der Forschung werden Hinweise vorgeschlagen.

Knöbber, Fabian; Zürbig, Verena; Heidrich, Nicola; Hees, Jakob; Sah, Ram Ekwal; Baeumler, Martina; Leopold, Steffen; Pätz, Daniel; Ambacher, Oliver; Lebedev, Vadim
Static and dynamic characterization of AlN and nanocrystalline diamond membranes. - In: Physica status solidi, ISSN 1862-6319, Bd. 209 (2012), 10, S. 1835-1842

Dittrich, Lars; Endrödy, Csaba; Hoffmann, Martin;
Design and technology concept for a novel micropump coping without moving mechanical components. - In: 23rd Micromechanics and Microsystems Europe Workshop, (2012), insges. 4 S.

Mehner, Hannes; Brückner, Klemens; Karolewski, Dominik; Michael, Steffen; Hein, Matthias A.; Hoffmann, Martin
Stress controlled piezoelectric AlN-MEMS-Resonators with molybdenum electrodes for GHz applications. - In: 23rd Micromechanics and Microsystems Europe Workshop, (2012), insges. 4 S.

Geiling, Thomas; Leopold, Steffen; Cheriguen, Yahia; Hoffmann, Martin
Fine dust measurement with electrical fields concept for a capacitive setup. - In: 23rd Micromechanics and Microsystems Europe Workshop, (2012), insges. 4 S.

Goj, Boris; Vorbringer-Dorozhovets, Nataliya; Wystup, Clemens; Hoffmann, Martin; Manske, Eberhard
Electromagnetic changer for AFM tips. - In: 23rd Micromechanics and Microsystems Europe Workshop, (2012), insges. 4 S.

Goj, Boris; Hoffmann, Martin;
Design of a biaxial nanoprobe utilizing Matlab Simulink. - In: 23rd Micromechanics and Microsystems Europe Workshop, (2012), insges. 4 S.

Weinberger, Stefan; Cheriguen, Yahia; Hoffmann, Martin
Static large-angle micromirror with aluminum nitride springs. - In: 23rd Micromechanics and Microsystems Europe Workshop, (2012), insges. 4 S.

Hebel, Robert; Dittrich, Lars; Hoffmann, Martin;
On the influence of laser cutting manufacturing tolerances on the spring rate of machined tubular springs. - In: 23rd Micromechanics and Microsystems Europe Workshop, (2012), insges. 4 S.

Leopold, Steffen; Kremin, Christoph; Hoffmann, Martin
Controlled silicon grass generation using optical plasma emission spectroscopy. - In: 23rd Micromechanics and Microsystems Europe Workshop, (2012), insges. 4 S.

Hoffmann, Martin
Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 4. GMM-Workshops, 12. - 13. November 2012 in Berlin. - Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2012. - 1 CD-ROM. - (GMM-Fachbericht ; 74) ISBN 978-3-8007-3473-3

Scharff, Peter; Schneider, Andrea
23rd Micromechanics and Microsystems Europe Workshop : MME 2012 Ilmenau, September 9 - 12, Ilmenau, Germany ; proceedings. - Ilmenau : Verl. ISLE, 2012. - 1 USB-Stick ISBN 978-3-938843-71-0

Sinzinger, Stefan; Cahill, Brian; Metze, Josef; Hoffmann, Martin
Optofluidic microsystems for application in biotechnology and life sciences. - In: Optical Nano- and Microsystems for Bioanalytics, (2012), S. 305-323

Reinlein, Claudia;
Thermo-mechanical design, realization and testing of screen-printed deformable mirrors, 2012. - Online-Ressource (PDF-Datei: 201 S., 7,45 MB) : Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2012
Enth. außerdem: Thesen

Die primäre Zielstellung dieser Dissertation ist die Entwicklung ungekühlter, unimorph deformierbarer Spiegel (DM) zum Ausgleich thermischer Linsen in Hochleistungslasersystemen. Die sekundäre Zielstellung ist die Entwicklung eines Herstellungsprozesses für DM, der hauptsächlich auf Waferleveltechnologien beruht und somit manuelle Prozesse reduziert. Der DM besteht aus einem Spiegelsubstrat auf dessen Rückseite eine piezoelektrische Schicht zwischen zwei Elektroden aufgebracht ist. Diese Art von Spiegeln wurde bereits erfolgreich in Hochleistungslasersystemen eingesetzt. Eine weitere Erhöhung der Laserleistungsdichte erfordert jedoch neue thermische Kompensationstechniken, bei der die Spiegelperformance nicht durch Temperaturschwankungen in der Spiegelbaugruppe vermindert wird. Ein hierfür entwickeltes Mehrlagendesign integriert mehrere Schichten in den Spiegelaufbau, dessen thermo-mechanische Parameter sich vom Substrat und der piezoelektrischen Schicht unterscheiden. Mittels analytischen Methoden und der Methode der finiten Elemente wurde eine Optimierung im Hinblick auf großen piezoelektrischen Hub und optimierte thermisch-induzierte Deformation durchgeführt. Diese wird entweder durch eine homogene Temperaturveränderung in der Spiegelmembran oder durch Absorption von Laserstrahlung generiert. Die dabei hervorgerufenen Veränderungen werden abhängig von Diskontinuitäten der piezoelektrischen Schicht, den mechanischen Randbedingungen, der spiegelnden Kupferschichtdicke und der Spiegelfassungsmaterialen simuliert. Ein aus sechs Arbeitsschritten bestehende Herstellungsprozess für DM mit siebgedruckter piezoelektrischer Aktorstruktur wurde entwickelt. Fünf Schritte sind davon auf Waferlevel prozessierbar. Einzig die Bearbeitung der Spiegelfläche mittels eines ultrapräzisen Drehprozesses ist keine Serienfertigung. Im Gegensatz zum Stand der Technik für DM ist die elektrische Verdrahtung der strukturierten Elektroden auch auf Waferlevel prozessierbar und das Spiegelsetup ist monolithisch.Thermisch induzierte Deformationen durch homogene Temperaturveränderung kann durch eine sog. zero deflection Konfiguration ausgeglichen werden. Laserinduzierte Deformationen werden mit gegenläufigen, thermisch homogen induzierten Deformationen kompensiert. Dieser Ansatz wird als Compound loading bezeichnet und in einem praktischen Spiegelaufbau umgesetzt. Im realisierten DM wird eine Deformation, induziert durch 1.3 W absorbierte Laserleistung, über eine homogene Temperaturerhöhung um 34 K kompensiert. Damit wird gezeigt, dass die entwickelten und vorwiegend mit parallelen Fertigungstechnologien hergestellten Spiegel für Hochleistungslaseranwendungen geeignet sind.

Bartsch, Heike; Albrecht, Arne; Hoffmann, Martin; Müller, Jens
Microforming process for embossing of LTCC tapes. - In: Journal of micromechanics and microengineering, ISSN 1361-6439, Bd. 22 (2012), 1, 015004, insges. 9 S.

Dittrich, Lars; Hoffmann, Martin
SESeFA, Sortierstation auf Basis des Electrowettings für Segmented-Flow-Anwendungen ; Abschlussbericht ; Laufzeit des Vorhabens: 01.04.2010 bis 31.03.2011. - Ilmenau : Technische Univ., IMN MacroNano, Fachgebiet Mikromechanische Systeme. - Online-Ressource (19 S., 1,64 MB)Förderkennzeichen BMBF 16SV5058. - Engl. Berichtsbl. u.d.T.: Sorting station based on electrowetting for segmented flow applications (SESeFA). - Auch als gedr. Ausg. vorhanden. - Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden

Williamson, Adam;
Black silicon for photodiodes: experimentally implemented and FDTD simulated, 2011. - Online-Ressource (PDF-Datei: 167 S., 39,1 MB) : Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2011
Richtiger Name des Verf.: Adam Williamson

Die hier vorgelegten experimentelle Ergebnisse zeigen die Herstellung von schwarzem Siliziumzur Anwendung in Photodioden im Bereich zwischen 200 nm und 800 nm durch Plasmabearbeitung. Berechnungen verschiedener Nanostrukturgeometrien mit der Finite-Differenzen-Methode im Zeitbereich (FDTD) werden mit Ulbrichtkugel Reflexionmessungen von physikalischen Strukturen verglichen. Die spektrale Empfindlichkeit der schwazen Siliziumphotodioden im roten Bereich (675 nm - 750 nm) treffen das 0.5 A/W Ziel. Im blauen Bereich (375 nm - 425 nm) wird eine Verbesserung von Photodioden in der Wafermitte von +0.07A/W im Vergleich zu oxidebedeckten Photodioden erreicht. Klare Unterschiede zwischen verschiedenen Spitzen der Nanostrukturen werden experimentell und theoretisch belegt. Sie sind entscheidend, um die Reflexion gering zu halten. Das Entstehen der Nanostrukturen in unserer SF6/O2 Plasmamischung wird durch dieSiliziumätzrate in Abhängigkeit von der Fluorkonzentration (mit einem veränderlichen Fuor-zu-Sauerstoff Verhältnis) in zwei Bereichen erklärt. In einem Bereich gibt es überschüssige Fluorradikalerzeugung (schwache Passivierung) und im anderen überschüssige Fluorradikalverbrauch (starke Passivierung). Dies wird experimentell gezeigt. Inhärente Ungleichmäßigkeiten in der Plasmaanlage, die ein kleines Prozessfenster mit extrem anisotropischen Nanostrukturen und nachteiliger Mitte-zu-Rand Waferuniformität ergeben, werden durch die Einführung von einem Nanoloading Schritt beseitigt. Die Siliziumoberfläche wird am Anfang mit einer Reihe von sehr uniformen Nanopfeiler geätzt. Diese Nanoloading-Maske wird anschließend mit Chemikalien, die allein keine Nanostrukturen ergeben, plasmageätzt. Die entsprechenden Ergebnisse sind isotropischer und haben Eigenschaften, die für Reflexionsabsenkung erwünscht sind. Dadurch entwickeln wir eine Abkoppelung zwischen die Abhängigkeit der erreichbaren Nanostrukturgeometrien und Plasmaanlagengeometrie. Erweitertes Nanoloading wird benutzt, um die Prozesse erfolgreich von blanken zu maskierten Scheiben zu transferieren. FDTD Ergebnisse zeigen, dass der größte Teil der Lichtabsorbtion im Bereich vom 200 nm zu 800 nm direkt in der Antireflexschicht der Nanostrukturen stattfindet. Dies ist im starken Vergleich zu der Situation mit einer normalen Antireflexschicht. Weitere FDTD Simulationenuntersuchen die Periodizität von Nanostrukturen, und zeigen deutliche Gittereigenschaften. Die ideale Breite der Strukturen für Reflexionsabsenkung wird zwischen 100 nm und 200 nm im interessanten Spektralbereich (200 nm - 800 nm) berechnet. Periodische Strukturen mit Breiten über 200 nm reflektieren Licht in verschiedene Gitterordnungen. Die ideale Strukturhöhe für vernachlässigbare Reflexion wird in diesem Bereich mindestens 500 nm. Allerdings, erweisen sich die periodischen Stuktursimulationen nicht als die richtige Methode, um die Ulbrichtkugel Messungen von physikalischen Strukturen zu beurteilen. Das Hauptproblem ist eine Überlappung zwischen Nanostrukturen (z.B. ungetrennt während eines Plasmaprozesses) stört die Zustände für Periodizität (die Diffraction in die Komponentwinkeln) entsprechend der Breite der Stukturen, und stört auch die Gradientbrechungsindex (Dadurch ist Reflexion erhöht. FDTD Simulationen werden am Besten in Übereinstimmung mit den Eigenschaften der physikalischen selbstorganisierten Nanostrukturen gebracht, wenn eine nichtperiodische Oberfläche mit einer simuliert wird. Randbedingungen für FDTD in Bezug auf Simulationen von nichtsenkrecht einfallendem Licht in 2D werden diskutiert. Dispersion im Injektionswinkel führt zu Schwierigkeiten, wenn man Rechnungen mit einer Breitbandquelle durchführen will, weil nur einfallendes Licht mit der zentralen Wellenlänge den vorgegebenen Einfallswinkel hat. Die größte und kleinste Wellenlänge im Quellspektrum zeigen die stärkste Abweichung. Alle Wellenlägen einzeln nacheinander zu simulieren würde zu einer nicht akzeptablen Rechenzeit führen. Die hier gezeigte Lösung teilt das komplette gewünschte Spektrum, in kleinere simulierbare Bänder, und ergibt ausreichende Ergebnisse und schränkt gleichzeitig Dispersionsfehler ein. Weiterhin wird es hier gezeigt, dass eine mögliche Verbesserung der winkelabhängigen PML Leistung erreichbar ist, wenn ein Gradientindex vor der PML eingeführt wird. Es wird experimentell bewiesen, dass Reflexionsabsenkung nicht immer mit ausreichenden elektrischen Eigenschaften verbunden ist, weil das Plasmaätzen um die Oberflächentopographie zu ändern auch stark die Lebensdauer der Minoritätträger wegen eines Anstieges von Rekombination durch Gitterschädigung und einer allgemeinen Vergrößerung in Oberfläche ändert.

Hoffmann, Martin; Bartsch, Heike; Fischer, Michael; Hampl, Stefan; Kremin, Christoph; Leopold, Steffen; Müller, Jens; Polster, Tobias; Stubenrauch, Mike
Mikro-Nano-Integration in der Sensorik - Nanostrukturen als neue Option. - In: 10. Dresdner Sensor-Symposium, (2011), S. 127-129

Goj, Boris; Dittrich, Lars; Erbe, Torsten; Hoffmann, Martin; Dumstorff, Gerrit
Entwurf und Herstellung hybrider dreiachsiger Sensormodulkonzepte. - In: Proceedings, (2011), S. 817-820

Müller, Lutz; Kremin, Christoph; Hoffmann, Martin
Mittels Nanostrukturierung optimierte Bimorph-Biegeaktoren großer Auslenkung. - In: Proceedings, (2011), S. 704-707

Polster, Tobias; Hoffmann, Martin; Mehner, Hannes; Oeder, Andreas; Sinzinger, Stefan
Optisch gepulste Mikroplasmaquelle für die Integration von Nanotomographie in eine Nanomessmaschine. - In: Proceedings, (2011), S. 697-700

Burkhardt, T.; Kamm, A.; Hornaff, M.; Beckert, E.; Eberhardt, R.; Tünnermann, Andreas; Gebhardt, S. E.; Müller, Jens; Hoffmann, Martin; Bruchmann, Claudia
Smarte adaptiv-optische Mikrosysteme - Aufbautechnologie und thermomechanische Charakterisierung. - In: Proceedings, (2011), S. 587-590

Hampl, Stefan; Laqua, Daniel; Heidrich, Nicola; Cimalla, Volker; Lebedev, Vadim; Polster, Tobias; Hoffmann, Martin
AlN-based piezoelectric microgenerator for energy supply of miniaturized implants :
AlN-basierte piezoelektrische Mikrogeneratoren zur Energieversorgung miniaturisierter Implantate. - In: Proceedings, (2011), S. 309-312

Heidrich, Nicola; Knöbber, Fabian; Cimalla, Volker; Lebedev, Vadim; Sah, Ram Ekwal; Pletschen, Wilfried; Ambacher, Oliver; Hampl, Stefan
AlN-basierte mikroelektromechanische Strukturen für Implantate. - In: Proceedings, (2011), S. 269-272

Weinberger, Stefan; Markweg, Eric; Nguyen, T.; Hoffmann, Martin; Ament, Christoph
Positionserfassung von flexiblen Roboterarmen mit einem optischen Mikrotrackersystem. - In: Proceedings, (2011), S. 130-133

Markweg, Eric; Nguyen, Tran Trung; Weinberger, Stefan; Ament, Christoph; Hoffmann, Martin
Development of a miniaturized multisensory positioning device for laser dicing technology. - In: Physics procedia, ISSN 1875-3892, Bd. 12.2011, Part B, S. 387-395

Sánchez-Ferrer, Antoni; Fischl, Tamás; Stubenrauch, Mike; Albrecht, Arne; Wurmus, Helmut; Hoffmann, Martin; Finkelmann, Heino
Liquid-crystalline elastomer microvalve for microfluidics. - In: Advanced materials, ISSN 1521-4095, Bd. 23 (2011), 39, S. 4526-4530

Heidrich, Nicola; Hampl, Stefan; Laqua, Daniel; Cimalla, Volker; Hoffmann, Martin; Husar, Peter
Biocompatible piezoelectric microstructures utilizing eye motion for self-sufficient IOP-sensor devices. - In: Biomedical engineering, ISSN 1862-278X, Bd. 56.2011, Suppl. 1, F-2, insges. 1 S.

Heidrich, Nicola; Knöbber, Fabian; Sah, Ram Ekwal; Pletschen, Wilfried; Hampl, Stefan; Cimalla, Volker; Lebedev, Vadim
Biocompatible AlN-based piezo energy harvesters for implants. - In: 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference (TRANSDUCERS), 2011, ISBN 978-1-4577-0157-3, (2011), S. 1642-1644

Polster, Tobias; Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin
Airborne particle generation for optical tweezers by thermo-mechanical membrane actuators. - In: Smart sensors, actuators and MEMS V, ISBN 978-0-8194-8655-4, 2011, 80061F, insges. 7 S.

Hampl, Stefan; Cimalla, Volker; Polster, Tobias; Hoffmann, Martin
AlN-based piezoelectric bimorph microgenerator utilizing low-level non-resonant excitation. - In: Smart sensors, actuators and MEMS V, ISBN 978-0-8194-8655-4, 2011, 80061E, insges. 11 S.

Schneider, Mike; Hoffmann, Martin
Non-electrical-power temperature-time integrating sensor for RFID based on microfluidics. - In: Smart sensors, actuators and MEMS V, ISBN 978-0-8194-8655-4, 2011, 80661V, insges. 6 S.

Leopold, Steffen; Kremin, Christoph; Ulbrich, Angela; Krischok, Stefan; Hoffmann, Martin
Formation of silicon grass: nanomasking by carbon clusters in cyclic deep reactive ion etching. - In: Journal of vacuum science & technology, ISSN 2166-2754, Bd. 29 (2011), 1, S. 011002, insges. 7 S.

Pezoldt, Jörg; Kups, Thomas; Stubenrauch, Mike; Fischer, Michael
Black luminescent silicon. - In: Physica status solidi. Current topics in solid state physics. - Berlin : Wiley-VCH, 2002-2017 , ISSN: 1610-1642 , ZDB-ID: 2102966-0, ISSN 1610-1642, Bd. 8 (2011), 3, S. 1021-1026

Fischer, Robert; Steinert, S.; Fröber, Ulrike; Voges, Danja; Stubenrauch, Mike; Hofmann, G. O.; Witte, Hartmut
Cell cultures in microsystems: biocompatibility aspects. - In: Biotechnology & bioengineering, ISSN 1097-0290, Bd. 108 (2011), 3, S. 687-693

Heyne, Marko; Mehner, Hannes; Erbe, Torsten; Theska, René
Initial investigations of rolling friction characteristics in planar ball guides with a novel measurement set-up. - In: 10th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instrument, ISMTII 2011, (2011), S. 119

Köhler, J. Michael; Möller, Frances; Schneider, Steffen; Günther, P. Mike; Albrecht, Arne; Groß, Alexander G.
Size-tuning of monodisperse PMMA nanoparticles by micro-continuous-flow polymerization using a silicon micro-nozzle array. - In: The chemical engineering journal, ISSN 1873-3212, Bd. 167 (2011), 2/3, S. 688-693

Heyne, Marko; Mehner, Hannes; Erbe, Torsten; Theska, René
Experimental investigation in the friction characteristics of high precision planar ball guides. - In: Proceedings of the 11th International conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, (2011), S. 43-46

Heyne, Marko; Erbe, Torsten; Theska, René; Mehner, Hannes
Wälzreibverhalten von Kugel-Ebene-Kontakten in planaren Führungen : Versuchsaufbau und Vorversuche. - In: Gleit- und Wälzlagerungen, (2011), S. 423-427

Hoffmann, Martin; Kremin, Christoph; Stubenrauch, Mike; Fröber, Ulrike; Polster, Tobias; Fischer, Michael; Bartsch de Torres, Heike; Müller, Jens; Sinzinger, Stefan; Witte, Hartmut
Integration von nanostrukturierten Materialien in mikrofluidische Systeme: Perspektiven und Herausforderungen. - In: Programm, ISBN 978-3-00-034073-4, (2011), S. 25-26

Leopold, Steffen; Pätz, Daniel; Knöbber, Fabian; Polster, Tobias; Ambacher, Oliver; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin
Tunable refractive beam steering using aluminum nitride thermal actuators. - In: MEMS adaptive optics V, ISBN 978-0-8194-8468-0, 2011, 79310B, insges. 7 S.

Witte, Hartmut; Stubenrauch, Mike; Fröber, Ulrike; Fischer, Robert; Voges, Danja; Hoffmann, Martin
Integration of 3-D cell cultures in fluidic microsystems for biological screenings. - In: Engineering in life sciences, ISSN 1618-2863, Bd. 11 (2011), 2, S. 140-147

A life support system for the cultivation of adherent 2-D and scaffold-based 3-D cell cultures in a microfluidic device, a Bio-Micro-Electro-Mechanical System (BioMEMS) is presented. The miniaturization level and system set-up allow incubator-independent operation modes and long-term experiments with real-time microscope observation. A dedicated seeding procedure for adherent cells into the microstructures is one key issue of the BioMEMS developed. Several seeding methods for the cells were evaluated. Biocompatibility of all materials, surfaces and methods could be demonstrated. First experiments with several cell types show the feasibility of the approach employing standard laboratory protocols. At present, the modular design and set-up offer a broad application spectrum as well as its future extension to e.g. culti.

Knöbber, Fabian; Bludau, Oliver; Röhlig, Claus-Christian; Sah, Ram Ekwal; Williams, O. A.; Kirste, Lutz; Leopold, Steffen; Pätz, Daniel; Cimalla, Volker; Ambacher, Oliver; Lebedev, Vadim
Dynamic characterization of thin aluminum nitride microstructures. - In: Physica status solidi, ISSN 1610-1642, Bd. 8 (2011), 2, S. 479-481

Leopold, Steffen; Polster, Tobias; Geiling, Thomas; Hoffmann, Martin
Erzeugung nadelförmiger Nanostrukturen aus Aluminiumnitrid (AIN) durch reaktives Plasmaätzen. - In: Mikro-Nano-Integration, (2011), S. 17-20

Neue Funktionalitäten in Mikrosystemen durch Nanostrukturen. Die Nanotechnologie hat in den letzten Jahren viel Aufsehen mit neuen Forschungsergebnissen erregt, darunter waren z. B. bionisch inspirierte Effekte wie Gecko- oder Lotuseffekt ebenso wie die überraschenden Eigenschaften von Carbon Nanotubes (CNT). Doch wie kann man diese funktionalen Nanostrukturen in Zukunft in der Makrowelt nutzen? - In vielen Fällen nur durch die Integration in Mikrosysteme, die die Brücke von der Nano- zur Makrowelt schlagen! Die daraus resultierende Herausforderung der Mikro-Nano-Integration (MNI) ist die skalenübergreifende, industriell umsetzbare Integration von Nanostrukturen in Mikrosysteme: - Welche neuen Funktionalitäten können in Mikrosystemen durch Nanostrukturen erreicht werden? - Wie sind diese im Mikrosystem realisierbar? Welche Technologien stehen dabei zur Verfügung und sind diese qualitätsgesichert in der Produktion verwendbar? - Wie können Nanostrukturen im Mikrosystem charakterisiert werden, um die Qualität zu sichern? Insbesondere für Unternehmen bietet der Workshop eine exzellente Gelegenheit, mit potenziellen Kooperationspartnern auf dem Gebiet der Mikro-Nano-Integration in Kontakt zu treten. Der Workshop lässt bewusst viel Zeit für die Diskussion der Fragestellungen und soll den aktuellen Stand der Technik aus Sicht der Forschung und industriellen Umsetzung in kompakter Form vermitteln. Wir freuen uns ganz besonders, dass am ersten Tag die 25 neuen Projekte der Ausschreibung des BMBF zur Mikro-Nano-Integration vom März 2010 vorgestellt werden und deshalb der Workshop in Kooperation mit dem BMBF durchgeführt werden kann.

Polster, Tobias; Leopold, Steffen; Stauden, Thomas; Hoffmann, Martin
Untersuchungen zur Nanoporosität von AIN Membranen. - In: Mikro-Nano-Integration, (2011), S. 54-58

Fröber, Ulrike; Weiß, Thomas; Stubenrauch, Mike; Hildebrand, Gerhard; Schade, R.; Witte, Hartmut; Liefeith, Klaus
Charakterisierung 3D-ECM analoger Biointerfaces auf Basis der Zwei-Photonen-Polymerisation in BioMEMS. - In: Biomaterialien, ISSN 2191-4672, Bd. 11 (2010), 1, S. 97-98

Laqua, Daniel; Just, Thomas; Hampl, Stefan; Cimalla, Volker; Bludau, Oliver; Husar, Peter; Hoffmann, Martin
Conception of an implantable RF-transmitter with self-sufficient power supply for intraocular pressure monitoring :
Konzeption eines implantierbaren RF-Transmitters mit autarker Energieversorgung zum intraokularen Druckmonitoring. - In: Biomedical engineering, ISSN 1862-278X, Bd. 55.2010, Suppl. 1, I, S. 137-140

Lilienthal, Katharina; Stubenrauch, Mike; Fischer, Michael; Schober, Andreas
"Glas Gras" in Kieselglas für neue Integrationsmöglichkeiten in MEMS, MOEMS und BIOMEMS. - In: Mikro-Nano-Integration, (2010), S. 49-53

Polster, Tobias; Hoffmann, Martin;
Aluminiumnitrid Dünnschicht-Membranen - nanokristalline Materialstruktur als Basis hoher mechanischer Stabilität. - In: Mikro-Nano-Integration, (2010), S. 143-147

Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin;
Einsatz von nanokristallinem Aluminiumnitrid (AIN) in mikrosystemtechnischen Aktorkonzepten. - In: Mikro-Nano-Integration, (2010), S. 148-152

Kremin, Christoph; Leopold, Steffen; Leopold, Steffen *1983-*; Hoffmann, Martin;
Untersuchung zur selbst-organisierten Nanomaskierung in zyklischen Tiefenätzprozessen für die reproduzierbare Erzeugung von nanostrukturierten Silicium. - In: Mikro-Nano-Integration, (2010), S. 60-64

Stubenrauch, Mike; Schwandt, Morris; Kremin, Christoph; Hecht, Siegmar; Hoffmann, Martin
Statische und dynamische Prüfung von Silizium-Nano-Klettverschlüssen. - In: Mikro-Nano-Integration, (2010), S. 111-115

Weinberger, Stefan; Jakovlev, Oleg; Winkelmann, Cord-Hinrich; Markweg, Eric; Polster, Tobias; Hoffmann, Martin
Development of a novel micromirror with high static rotation angle for measurement applications. - In: Abstracts, ISBN 978-90-816737-1-6, (2010), S. 289-292

Leopold, Steffen; Polster, Tobias; Geiling, Thomas; Pätz, Daniel; Knöbber, Fabian; Albrecht, Arne; Ambacher, Oliver; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin
Structuring techniques of aluminiuim nitride masks for deep reactive ion etching (drie) of silicon. - In: Abstracts, ISBN 978-90-816737-1-6, (2010), S. 76-79

Huang, Ning-Ping; Stubenrauch, Mike; Köser, Joachim; Taschner, Nicole; Aebi, Ueli; Stolz, Martin
Towards monitoring transport of single cargos across individual nuclear pore complexes by time-lapse atomic force microscopy. - In: Journal of structural biology, ISSN 1095-8657, Bd. 171 (2010), 2, S. 154-162

Kremin, Christoph;
Fabrication and application of self-masked silicon nanostructures in deep reactive ion etching processes, 2010. - Online-Ressource (PDF-Datei: 160 S., 54,3 MB) Ilmenau : Techn. Univ., Diss., 2010

Siliciumgras (SG) ist eine nanoskalige Oberflächenmodifikation, welche durch selbstorganisierte Prozesse während des Plasmaätzens hervorgerufen wird. Sie kann genutzt werden, um neue Funktionalitäten zu ermöglichen oder die Effizienz von MEMS, biologischen MEMS oder MOEMS zu verbessern. Diese Eigenschaften und die einfache Herstellung macht sie zu einem viel versprechenden Forschungsthema. Diese Arbeit untersucht die Herstellung, Modifizierung und Anwendung von SG aus dem zyklischen reaktiven Ionentiefenätzprozess (c-DRIE). Zielstellung ist sowohl die kontrollierte Erzeugung als auch die Modifizierung des SG. Die Arbeit konzentriert sich auf folgende drei Hauptthemen: den selbstorganisierten Nanomaskierungsprozess (NM-Prozess), die Prozessierung und Modifikation von SG und die Integration und Anwendung in MEMS. Um eine Entstehungstheorie des SG im c-DRIE Prozess abzuleiten, werden verschiedene Analysen mittels REM, AFM, XPS und AES genutzt, als auch prozessanalytische Verfahren eingesetzt. Es wird gezeigt, dass die NM aus kohlenstoffreichen Clustern besteht, deren Morphologie über eine Variation von Prozessparametern verändert werden kann. Die Erzeugung der NM im c-DRIE Prozess basiert auf dem kontrollierten Abtrag der Passivierungsschicht. Dies wird durch eine Prozesskontrolle mittels OES erreicht, welche es erlaubt, den NM-Prozess selbst bei variierenden Prozessbedingungen zu initiieren. Es werden verschiedene Einflüsse auf die Entstehung der NM und deren Morphologie untersucht und festgestellt, dass das Phänomen der Kohlenstoffpartikelerzeugung in C4F8-Plasmen eine große Wirkung hat. Es wird die Prozessierung von SG analysiert, wobei sich zeigt, dass abhängig von den angewendeten Prozessparametern die resultierenden Profile und die Seitenwandmorphologie des SG verändert werden können. Weiterhin wird sowohl die Metallisierung von SG mittels physikalischer Gasphasenabscheidung und stromloser Galvanik als auch die Eignung von unterschiedlichem SG für die Aufbau- und Verbindungstechnik und die optische Anwendung im infraroten Bereich untersucht. Schließlich wird die Integration von SG in MEMS beschrieben. Dabei werden grundlegende Informationen zu Integrationsverfahren, Anforderungen und Einschränkungen gegeben. Abschließend wird die praktische Anwendung von SG in MEMS anhand eines thermomechanischen Cantilevers demonstriert.

Pätz, Daniel; Leopold, Steffen; Knöbber, Fabian; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin; Ambacher, Oliver
Tunable compound eye cameras. - In: Micro-optics 2010, ISBN 978-0-8194-8189-4, 2010, 77160K, insges. 7 S.

VERDIAN : Abschlussbericht der TU Ilmenau. - Ilmenau. - Online-Ressource (96 S., 4 MB)Förderkennzeichen BMBF 03WKY01M. - Verbund-Nr. 01049006

Goj, Boris; Dittrich, Lars; Erbe, Torsten; Rosenbaum, Sören; Koch, Ina; Drüe, Karl-Heinz; Ströhla, Tom; Hoffmann, Martin
Radially magnetized permanent magnets for miniaturized low power magnetic valves. - In: Actuator 10, (2010), S. 373-377

Bartsch, Heike; Rensch, Christian; Fischer, Michael; Schober, Andreas; Hoffmann, Martin; Müller, Jens
Thick film flow sensor for biological microsystems. - In: Sensors and actuators, ISSN 1873-3069, Bd. 160 (2010), 1/2, S. 109-115

Lilienthal, Katharina; Fischer, Michael; Stubenrauch, Mike; Schober, Andreas
Self-organized nanostructures in silicon and glass for MEMS, MOEMS and BioMEMS. - In: Materials science and engineering, ISSN 1873-4944, Bd. 169 (2010), 1/3, S. 78-84

Goj, Boris; Dittrich, Lars; Erbe, Torsten; Rosenbaum, Sören; Hoffmann, Martin
High precision test device for calibration of miniaturized three-dimensional magnetic sensors. - In: Mechanika, (2010), S. 166-171

Fischer, Michael; Bartsch, Heike; Pawlowski, B.; Barth, S.; Hoffmann, Martin; Müller, Jens
SiCer - ein innovativer Substratwerkstoff für MEMS. - In: Thüringer Werkstofftag 2010, (2010), S. 6

Mache, Thomas; Jakob, Christine; Dittrich, Lars; Hoffmann, Martin
Batch-taugliche Fertigungsansätze für funktionenintegrierende feinwerktechnische Systemkomponenten mit maßgeschneiderten Eigenschaften. - In: Thüringer Werkstofftag 2010, (2010), S. 79-84
Parallel als Druckausg. erschienen

Schilling, Cornelius; Fröber, Ulrike; Fischer, Robert; Stubenrauch, Mike; Hoffmann, Martin; Witte, Hartmut
Werkstoffmix für BioMEMS - Interaktion von Bio-Mikrosystemen mit deren Werkstoffen. - In: Thüringer Werkstofftag 2010, (2010), S. 109-114

Lilienthal, Katharina; Stubenrauch, Mike; Fischer, Michael; Schober, Andreas
Fused silica "glass grass": fabrication and utilization. - In: Journal of micromechanics and microengineering, ISSN 1361-6439, Bd. 20 (2010), 2, 025017, insges. 11 S.

Dittrich, Lars; Mache, Thomas; Hoffmann, Martin;
Batch-taugliche Fertigungsansätze für feinwerktechnische Sytemkomponenten. - In: Mikro-System-Technik Chemnitz '09, ISBN 978-3-00-029135-7, (2009), S. 85-89

Bartsch de Torres, Heike;
Mikrostrukturierung von LTCC-Grünfolien durch Prägen, 2009. - Online-Ressource (PDF-Datei: 145 S., 5872 KB) Ilmenau : Techn. Univ., Diss., 2009

Gefüge ablaufenden Prozesse sowie der Kraftfluss im Komposit werden aus der Werkstoffbeschaffenheit erklärt. Experimentelle Untersuchungen der mechanischen Eigenschaften kommerziell verfügbarer LTCC-Grünfolien unter Scherbelastung und Druckbelastung werden zur quantitativen Beurteilung von Elastizität, Plastizität und Kompressibilität durchgeführt. Die Herausarbeitung der für den Abformprozess bestimmenden Materialeigenschaften und Gestaltungsfaktoren erfolgt anhand unterschiedlicher Geometrien wie Kavitäten und Feinstrukturen durch visioplastische Versuche und Profilmessungen.Hierauf basiert die im Rahmen der Arbeit erarbeitete phänomenologische Beschreibung des Prägevorgangs. Unter Nutzung der DoE-Methodik wird der Prägeprozess systematisch optimiert. Der Parameterbereich wird anhand der mechanischen Materialeigenschaften eingegrenzt. Für das Material DP 951 ist das Optimum innerhalb des Prozessfensters zur Abformung von Feinstrukturen beschrieben. Zusätzlich werden weitere Ergebniskriterien wie die Formfüllung, stressbedingte Verformung und Entformbarkeit in die Optimierung einbezogen. Als signifikantester Prozessparameter erweist sich die Schmierung. Trockenschmierschichten und Trennmittel werden auf Wirksamkeit und Prozesskompatibilität geprüft. Dabei erweist sich die Nutzung von Leinöl als geeignete Schmiermethode zur Abformung von 80 m tiefen Feinstrukturen mit einer Breite von 50 mym. Die Stabilität der Lagetoleranzen als wesentlicher Aspekt der fertigungstechnischen Eingliederung des Prägens in LTCC-Arbeitsabläufe wird anhand einer Studie nachgewiesen. Die ermittelte Positionsgenauigkeit beträgt 0,05 % oder besser. Funktionelle Vorteile geprägter Mikrostrukturen zeigen sich bei sensorischen und fluidischen Anwendungen. Durch die Oberflächenglättung beim Prägen von Siebdruckschichten steigt das Dichtverhalten von LTCC-Membranventilen auf das Dreifache. Die Integrierbarkeit von Dichtsitzgeometrien in eine monolithisch hergestellte Ventilkammer durch Siebdruck von Karbonpasten ist gegeben. Fluidkanäle sind ohne Fremdstoffe unter ausschließlicher Verwendung von LTCC-Standardtechnologien realisiert. Ihre Integration in freitragende Brücken oder Membranen ermöglicht die thermisch entkoppelte Durchflussmessung in Fluidsystemen bei gleichzeitiger Biokompatibilität. Sensorspulen profitieren von der Gütesteigerung, die sich aus der Querschnittserhöhung geprägter Leiterbahnen ergibt. Die Empfindlichkeitssteigerung von LTCC-Wirbelstromsensoren durch Nutzung der Prägetechnologie um Faktor zwei ist nachgewiesen.

Weinberger, Stefan; Lukman, D.; Hoffmann, Martin
Thermooptisch verstimmbare Bragg-Reflektoren aus neuartigen organisch-/anorganischen Schichtsystemen. - In: Proceedings, ISBN 978-3-8007-3183-1, (2009), insges. 4 S.

Polster, Tobias; Hoffmann, Martin
Konzept und Modellierung eines piezoelektrischen 3D-Tastelementes auf Basis von Aluminiumnitrid-Dünnschichten. - In: Proceedings, ISBN 978-3-8007-3183-1, (2009), insges. 4 S.

Lilienthal, Katharina; Fischer, Michael; Stubenrauch, Mike; Schober, Andreas
Selbstorganisierte Nanostrukturen in Kieselglas für neue Technologiekonzepte in MEMS, MOEMS und BioMEMS. - In: Proceedings, ISBN 978-3-8007-3183-1, (2009), insges. 4 S.

Mache, Thomas; Jakob, Christine; Dittrich, Lars; Hoffmann, Martin
Herstellung von funktionsintegrierenden Galvanowerkstoffen mit maßgeschneiderten Eigenschaften für Mikrodirektantriebe. - In: Proceedings, ISBN 978-3-8007-3183-1, (2009), insges. 4 S.

Fröber, Ulrike; Lehmann, Silvia Veronika; Würfel, Richard; Mämpel, Jörg; Stubenrauch, Mike; Witte, Hartmut
Automated control of micromanipulators - a tool for BioMEMS based cell culture. - In: IEEE Symposium on Industrial Electronics & Applications, 2009, ISBN 978-1-4244-4682-7, (2009), S. 850-855

Fröber, Ulrike; Stubenrauch, Mike; Voges, Danja; Schilling, Cornelius; Lehmann, S.; Hoffmann, Martin; Witte, Hartmut
Mikrosysteme für die Entwicklung von 3D-Biointerfaces auf Hydrogel-Basis. - In: Oberflächentechnik für die Praxis, ISBN 978-3-00-028446-5, (2009), S. 252-256

Fröber, Ulrike; Stubenrauch, Mike; Weiß, Thomas; Berg, A.; Voges, Danja; Schade, R.; Hildebrand, Gerhard; Schnabelrauch, M.; Liefeith, Klaus; Hoffmann, Martin; Witte, Hartmut
Microsystems for the characterization of 3D-ECM analogous bio-interfaces. - In: Biomaterials, cellular and tissue engineering, artificial organs, (2009), S. 94-97

Hoffmann, Martin; Schneider, Mike; Menges, Georg; Werner, Martin
Smart passive sensors with RFID read-out for item tagging. - In: SENSOR 2009, (2009), S. 189-193

Hoffmann, Martin; Schneider, Mike; Menges, Georg; Werner, Martin
Lebensmittelqualität kontrollieren. - In: Labor-Praxis, ISSN 0344-1733, Bd. 33 (2009), 9, S. 24-26

Hoffmann, Martin; Wystup, Clemens
Der Nanoklettverschluss als Verbindungselement in der Nanopositionier- und Nanomesstechnik. - In: Proceedings, ISBN 978-3-8007-3183-1, (2009), insges. 3 S.

Hoffmann, Martin;
Anwendungen nanostrukturierter Grenzflächen in Mikrosystemen am Beispiel von Si-Gras und Herausforderungen für die Forschung. - In: Proceedings, ISBN 978-3-8007-3183-1, (2009), insges. 4 S.

Sánchez-Ferrer, Antoni; Fischl, Tamás; Stubenrauch, Mike; Wurmus, Helmut; Hoffmann, Martin; Finkelmann, Heino
Photo-crosslinked side-chain liquid-crystalline elastomers for microsystems. - In: Macromolecular chemistry and physics, ISSN 1521-3935, Bd. 210 (2009), 20, S. 1671-1677

Fischl, Tamás;
Hybride Integration von flüssigkristallinen Elastomeren in die Mikrotechnik, 2009. - Online-Ressource (PDF-Datei: 98 S., 3687 KB) Ilmenau : Techn. Univ., Diss., 2009
Enth. außerdem: Thesen

Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Integration von flüssigkristallinen Elastomeren in die Mikrotechnik. Das Ziel ist die Suche neuartiger Applikationen und Mechanismen für die Mikroaktorik. Der erste Teil gibt eine allgemeine Zusammenfassung über die typischen Erscheinungsformen und die physikalischen Eigenschaften des flüssigkristallinen Zustandes und führt in das Gebiet des flüssigkristallinen Elastomers (FULCE) ein. Das Kapitel behandelt die zu der Charakterisierung der FULCE-Materialien nötigen wichtigsten messtechnischen Methoden.Der wesentliche Teil der Arbeit beschäftigt sich mit der Vorstellung solcher Applikationen, die aus der hybriden Integration der Silizium-Technologie und der flüssigkristallinen Elastomere entstanden sind. FULCE-Materialien mit ihren gummielastischen aktuatorischen Eigenschaften bieten für die Aktuatortechnik neuartige Möglichkeiten. Die Arbeit nutzt einen Typ des FULCEs mit einer thermo-mechanischen Umsetzung. Die Umsetzung erfolgt mit einer großen spontanen Kontraktion gefolgt von kleiner mechanischer Spannung (mit kleiner Kraft). Die Kapitel stellen Applikationen an den Beispielen eines Greifers vor, eines superelastischen Membranegelenkes auf Silikonbasis und eines Mikroventils. Der Greifer befasst sich mit solchen Fragen, wie der Aktuator in einer Applikation gesteuert, wie ein Aktuator auf einer Siliziumstruktur befestigt oder wie das Silizium mit einem Laser bearbeitet werden kann, wenn der Aktuator auf der Strukturoberfläche schon fixiert ist. Das Ziel der superelastischen Membrane ist, solche passiv-aktiven Systeme zu entwickeln, die kein starres Silizium enthalten, und die damit Bewegungen mit mehreren Freiheitsgraden ermöglichen. Das Silizium dient in dieser Applikation als Mikroabformungswerkzeug, um dem Silikon eine Gestalt nach dem Vernetzen zu geben. Das selbe Kapitel beschäftigt sich mit der Verwirklichung der elektrischen Oberflächenleitfähigkeit von gummielastischen Materialien. Diese kann erreicht werden durch die Anlagerung von Rußpartikeln auf der Materialoberfläche. Die Idee verfolgt das Ziel, dass entweder der Aktuator elektrisch gesteuert werden kann (M. Chambers), oder die Deformation eines passiven elastischen Materials durch die Widerstandsänderung an der Oberfläche gemessen werden kann.Das Mikroventil kombiniert die Elastizität und die Dichtungseigenschaften des FULCE-Materials derartig, dass damit das Mikroventil die Strömung von Medien in der flüssigen und Gasphase stoppen kann. Die Kapitel stellen die Funktionsprinzipien, die Schritte der zu der Gestaltung notwendigen Technologien und die charakteristischen Eigenschaften der Applikationen vor. Um das Funktionsprinzip der Anwendungen zu verstehen, wird neben der Messtechnik auch die FiniteElemente-Methode verwendet. Bei der Gestaltung der Applikationen werden solche klassische Mikrotechnologien angewendet, wie zum Beispiel die Lithographie, das nasschemische und trockenchemische Ätzen oder das Metallaufdampfen. Der Aktuator wird immer hybrid auf die Strukturen aufgebracht. Es werden bei der Entwicklung auch solch nicht herkömmliche Technologieschritte, wie das Black-Silicon-Bonden genutzt und auch neu gedacht. Das Bonden wird bei der Fixierung und elektrischen Kontaktierung des elastischen und elektrisch-leitfähigen FULCEs oder Silikons verwendet. Ziel ist es, bei der Anwendung eine möglichst einfache Integrierbarkeit und eine effektive Nutzung der potentiellen Deformierbarkeit des Aktuators zu erreichen. Die Nachgiebigkeit der Strukturen soll in der Richtung der Bewegung minimiert werden, um eine große Kontraktion zu erhalten. Für diesen Zweck wird in einigen Anwendungen auch Silikon verwendet. In dieser Dissertation wird sich zum ersten Mal mit der Integration von flüssigkristallinen Elastomeren in der Mikrotechnik beschäftigt. Die Anwendungen sind die ersten, die auf diesem neuartigen Gebiet entstanden sind.

Stubenrauch, Mike; Schwandt, Morris; Hecht, Siegmar; Hoffmann, Martin
Reliability aspects of mechanical interlocking bond interfaces with nanostructured silicon grass. - In: 2009 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, (DTIP), ISBN 978-1-424-43874-7, (2009), S. 167-169

Polster, Tobias; Hoffmann, Martin
Aluminum nitride based 3D, piezoelectric, tactile sensor. - In: Procedia chemistry, ISSN 1876-6196, Bd. 1 (2009), 1, S. 144-147

Perrone, Ruben; Bartsch de Torres, Heike; Hoffmann, Martin; Mach, Matthias; Müller, Jens
Miniaturized embossed low resistance fine line coils in LTCC. - In: Journal of microelectronics and electronic packaging, ISSN 1551-4897, Bd. 6 (2009), 1, S. 42-48

Fischer, Michael; Bartsch de Torres, Heike; Pawlowski, B.; Gade, Robert; Barth, S.; Mach, Matthias; Stubenrauch, Mike; Hoffmann, Martin; Müller, Jens
Silicon on ceramics - a new integration concept for silicon devices to LTCC. - In: Journal of microelectronics and electronic packaging, ISSN 1551-4897, Bd. 6 (2009), 1, S. 1-5

Stubenrauch, Mike; Schwandt, Morris; Hecht, Siegmar; Hoffmann, Martin
Reliability aspects of mechanical interlocking bond interfaces with nanostructured silicon grass. - In: Collection of papers presented at the Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, ISBN 978-2-355-00009-6, (2009), S. 167-169

Kremin, Christoph; Leopold, S.; Stubenrauch, Mike; Hoffmann, Martin
Variation von nanostrukturiertem Silicium aus DRIE-Tiefenätzprozessen zur Integration in Si-basierte MEMS. - In: Mikro-Nano-Integration, (2009), insges. 6 S.

Stubenrauch, Mike; Fröber, Ulrike; Fischer, Michael; Kremin, Christoph; Witte, Hartmut; Hoffmann, Martin
Klebe- und klemmfreies Anschlusskonzept für mikrofluidische Systeme mittels nanostrukturierter Oberflächen. - In: Mikro-Nano-Integration, (2009), insges. 2 S.

Stubenrauch, Mike; Schwandt, Morris; Hecht, Siegmar; Kremin, Christoph; Fischer, Michael; Hoffmann, Martin
Zuverlässigkeitsaspekte bei Nanoklettverschlüssen. - In: Mikro-Nano-Integration, (2009), insges. 3 S.

Fischer, Michael; Bartsch de Torres, Heike; Hoffmann, Martin; Müller, Jens; Pawlowski, B.; Barth, S.
Silizium-Keramik-Verbundsubstrat eine neue Plattform für die Mikro-Nano-Integration. - In: Mikro-Nano-Integration, (2009), insges. 3 S.

Stubenrauch, Mike; Fröber, Ulrike; Voges, Danja; Schilling, Cornelius; Hoffmann, Martin; Witte, Hartmut
A modular BioMEMS platform for new procedures and experiments in tissue engineering. - In: Journal of micromechanics and microengineering, ISSN 1361-6439, Bd. 19 (2009), 7, 074013, insges. 6 S.

Fröber, Ulrike; Stubenrauch, Mike; Voges, Danja; Hoffmann, Martin; Witte, Hartmut
Bio-microsystem for cell cultivation and manipulation and its peripherals. - In: 4th European Conference of the International Federation for Medical and Biological Engineering, (2009), S. 2384-2387

Hoffmann, Martin; Kallenbach, Matthias; Neumann, Karsten; Herrig, Martin; Zöppig, Veit; Dittrich, Lars
Resonant ultra low-power valve with high nominal width. - In: Actuator 08, (2008), S. 1026-1029

Kremin, Christoph; Oeder, Andreas; Schumacher, Jens T.; Grodrian, Andreas; Metze, Josef; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin
Integrierter mikrofluidischer Chip aus SU-8 zur elektrischen und optischen Manipulation biologischer Proben. - In: Technische Systeme für die Lebenswissenschaften, (2008), S. 209-213

Stubenrauch, Mike; Albrecht, Arne; Hild, Wolfram; Mollenhauer, Olaf; Guddei, Bernhard; Spiller, Sabine; Schäffel, Christoph; Katzschmann, Michael; Spiller, Frank
Novel precison positioning system with integrated planar guides. - In: Prospects in mechanical engineering, (2008), insges. 2 S.

Fröber, Ulrike; Stubenrauch, Mike; Voges, Danja; Schilling, Cornelius; Bley, Kornelia; Koch, Manfred; Hoffmann, Martin; Witte, Hartmut
Bio-MEMS for water analytics. - In: Prospects in mechanical engineering, (2008), insges. 2 S.

Wystup, Clemens; Stubenrauch, Mike; Hoffmann, Martin
"Black silicon" adjustment chips - a nanointerface for the conditioning of multifunctional AFM scanning tips. - In: Prospects in mechanical engineering, (2008), insges. 2 S.

Dittrich, Lars; Kallenbach, Matthias; Bonitz, Björn; Mache, Thomas; Hoffmann, Martin
Batch-capable fabrication approach for a highly efficient miniaturized magnetic valve. - In: Prospects in mechanical engineering, (2008), insges. 2 S.

Miloševiâc, Miloš; Živkoviâc, Života; Wurmus, Helmut
Specific aspects of modeling and simulation of piezoelectric drop-on-demand micropumps. - In: Prospects in mechanical engineering, (2008), insges. 14 S.

Nikolov, George; Nikolova, Boyanka; Marinov, Marin; Hecht, Sigmar
Atmospheric data logging system. - In: Prospects in mechanical engineering, (2008), insges. 14 S.

Polster, Tobias; Albrecht, Arne; Weinberger, Stefan; Hoffmann, Martin
Aluminium nitride a smart multifunctional material for MEMS. - In: Prospects in mechanical engineering, (2008), insges. 5 S.

Witte, Hartmut; Hoffmann, Martin; Liefeith, Klaus; Schnabelrauch, Matthias; Jandt, Klaus D.
ECM analogous biointerfaces for biomedical and biophysical applications. - In: Prospects in mechanical engineering, (2008), insges. 2 S.

Mämpel, Jörg; Stubenrauch, Mike; Fetter, Robert; Andrada, Emanuel; Jimenez-Lopez, Omar Eduardo; Witte, Hartmut; Fischer, Martin S.
InspiRat - technical biology: how to analyse vertebrate climbing. - In: Prospects in mechanical engineering, (2008), insges. 2 S.

Djamiykov, Todor; Milushev, Mladen; Hecht, Siegmar; Marinov, Marin
A sensor component of a walking machine's joint. - In: Prospects in mechanical engineering, (2008), insges. 2 S.

Bartsch de Torres, Heike; Rensch, Christian; Thelemann, Torsten; Müller, Jens; Hoffmann, Martin
Fully integrated bridge-type anemometer in LTCC-based microfluidic systems. - In: Advances in science and technology, ISSN 1662-0356, Bd. 54 (2008), S. 401-404

A thick film anemometer for in situ control of the flow rate in fluidic systems was designed, manufactured and characterized. The sensor is integrated in a retention modulus consisting of Low Temperature Cofired Ceramics (LTCC). These materials allow the cost-effective realisation of fluidic microsystems with integrated electronics. The challenge of the work is to design an anemometer under the exclusive use of thick film technologies. The necessity to trim resistors causes the external use of relevant pastes. Therefore, the use inside of a closed fluidic system requires the leak of process gases and, at the same time, a maximal heat-insulating of the sensor element from the substrate. Free-standing elements necessitate the control of stress due to shrinking mismatch, TCE mismatch, density gradients and deformation during the lamination. In the presented solution, embossed flue channels prevent blow forming on a free-standing bridge. The anemometer has a linear sensor characteristic for flow rates up to 0.1 ml/min. The layout guarantees that the fluid gets only in contact with the basic ceramic material, which is compatible with a wide range of biological substances. Therefore the sensor is applicable in contact with cell fluids or PCRreagents.

Bartsch de Torres, Heike; Gade, Robert; Albrecht, Arne; Hoffmann, Martin
Systematic characterization of embossing processes for LTCC tapes. - In: Journal of microelectronics and electronic packaging, ISSN 1551-4897, Bd. 5 (2008), 4, S. 142-149

Embossing of LTCC green tapes allows the defined patterning of conductor paths and fluidic channels with excellent edge moulding. However, basic process settings have not systematically been investigated up to now. We present a comprehensive overview, regarding basic process variables and new manufacturing approaches. Because the moulding quality depends on the visco-elastic properties of the tape, rheological measurements were carried out. The influence of the basic process parameters, that is, temperature, pressure, time and friction were investigated systematically under the use of design of experiments. The influence of these parameters on the forming of micro patterns down to 10 ?m was investigated, as also where the stress of the tape caused by the plastic deformation, the accuracy of edge moulding and the demoulding behaviour of embossed tape. Optimum parameters were derived. From Analysis of Variances it is clear that the friction exerts the most important influence on the moulding of fine patterns. Position tolerances of embossed patterns were determined and relaxation effects studied in order to ensure stable process conditions. It was possible to improve the leakage characteristics of valve seats by making use of embossed patterns like smoothed metallization and 3-dimensional sealing ring. The leakage characteristic of valve seats could be improved by the factor of four.

Kremin, Christoph; Stubenrauch, Mike; Hoffmann, Martin
Variations of nanostructured silicon in deep reactive ion etching processes. - In: Technical digest, (2008), S. 335-338

Polster, Tobias; Albrecht, Arne; Hoffmann, Martin
Thin free standing AlN membranes - mechanical stable and flexible structural material for MEMS devices. - In: Technical digest, (2008), S. 85-88

Stubenrauch, Mike; Fröber, Ulrike; Voges, Danja; Schilling, Cornelius; Witte, Hartmut; Hoffmann, Martin
Bio-MEMS with integrated polymer scaffolds for tissue engineering. - In: Technical digest, (2008), S. 65-68

Kups, Thomas; Kremin, Christoph; Hoffmann, Martin; Spieß, Lothar
Surface investigation of SU-8 by atomic force and scanning electron microscopy. - In: Materials science, ISBN 978-3-540-85225-4, (2008), S. 693-694

Mache, Thomas; Dittrich, Lars; Kallenbach, Matthias; Jakob, Christine
Herstellung von Mikroventilbauteilen für magnetische Mikrodirektantriebe. - In: Vorträge, ISBN 978-3-9806061-7-2, (2008), insges. 6 S.

Die Miniaturisierung technischer Systeme ist ein seit Jahren anhaltender Entwicklungstrend. Ein großes Marktpotential wird von magnetischen Mikrodirektantrieben für die Ventiltechnik erwartet. Da in pneumatischen Steuerungsprozessen die Notwendigkeit zur Miniaturisierung besteht, wurden die Möglichkeiten und Grenzen der Mikrogalvanoformung für die Herstellung von Mikroventilbauteilen im Rahmen des Projektes "Vernetzte integrierte magnetische Direktantriebe" (VERDIAN) untersucht werden. Die Entwicklung von funktionsoptimierten bzw. funktionenintegrierenden Materialien und deren galvanische Abscheidung in mikrostrukturierte Resistmasken bieten dabei eine ideale Möglichkeit zur Volumenreduzierung.

Fischer, Michael; Bartsch de Torres, Heike; Pawlowski, B.; Gade, Robert; Barth, S.; Mach, Matthias; Stubenrauch, Mike; Hoffmann, Martin; Müller, Jens
Silicon on ceramics - a new integration concept for silicon devices to LTCC. - In: Proceedings and exhibitor presentations, (2008), S. 264-268

Perrone, Ruben; Bartsch de Torres, Heike; Hoffmann, Martin; Mach, Matthias; Müller, Jens
Filling methods for embossed low resistance fine line coils in LTCC. - In: Proceedings and exhibitor presentations, (2008), S. 229-234

Bartsch de Torres, Heike; Gade, Robert; Albrecht, Arne; Hoffmann, Martin
Systematic characterisation of embossing processes for LTCC-tapes. - In: Proceedings and exhibitor presentations, (2008), S. 19-26

Sinzinger, Stefan; Amberg, Martin; Oeder, Andreas; Hein, D.; Kremin, Christoph; Hoffmann, Martin; Metze, Josef; Grodrian, Andreas
Integrated micro-opto-fluidic systems for optical manipulation of cell cultures. - In: Optical micromanipulation by nonlinear nanophotonics, (2008), S. 33-34

Fischer, Michael; Bartsch de Torres, Heike; Pawlowski, Beate; Mach, Matthias; Gade, Robert; Barth, Stefan; Hoffmann, Martin; Müller, Jens
Silicon on ceramics - a new concept for micro-nano-integration on wafer level. - In: Microsystems, photonics, sensors, fluidics, modeling, and simulation, ISBN 978-1-4200-8505-1, (2008), S. 157-160

Dittrich, Lars; Kallenbach, Matthias; Bonitz, Björn; Mache, Thomas; Hoffmann, Martin
Heterogeneous actuator integration for miniaturized low-power magnetic valves. - In: Actuator 08, (2008), S. 145-148

Bartsch, Heike
Schlussbericht zum Projekt "Realisierung neuartiger Verbindungsverfahren zwischen selbstorganisierten, nanostrukturierten Siliciumoberflächen und adaptierten LTCC-Folien" : "Nano-SilKe". - Ilmenau. - Online-Ressource (31 S., 3,03 MB)Förderkennzeichen BMBF 16SV3566. - Verbund-Nr. 01056573 - W3MNI025. - Engl. Titel: Final Report for the project "Nano-SilKe". - Literaturverz.

Kallenbach, Matthias; Mühlke, Christian; Hoffmann, Martin
Microsystems-engineering solutions for inductive components with high ampacity. - In: Smart systems integration 2008, (2008), S. 447-450

Dittrich, Lars; Kallenbach, Matthias; Kallenbach, Matthias *1972-*; Hoffmann, Martin;
MiniMags - microtechnical challenges miniaturizing electro-magnetic valves. - In: Smart systems integration 2008, (2008), S. 412-414

Bartsch de Torres, Heike; Fischer, Michael; Gade, Robert; Mach, Matthias; Müller, Jens; Hoffmann, Martin; Pawlowski, B.; Barth, S.
A new method for wafer level integration of Silicon components on LTCC. - In: Smart systems integration 2008, (2008), S. 392-394

Oeder, Andreas; Amberg, Martin; Kremin, Christoph; Grodrian, Andreas; Hoffmann, Martin; Metze, Josef; Sinzinger, Stefan
Optische Manipulation von Mikropartikeln in mikro-opto-fluidischen Systemen. - In: DGaO-Proceedings, ISSN 1614-8436, Bd. 109.2008, B27, insges. 2 S.

Keppler, Angela; Himmerlich, Marcel; Kremin, Christoph; Schumacher, Jens T.; Grodrian, Andreas; Schäfer, Jürgen A.; Metze, Josef; Hoffmann, Martin; Krischok, Stefan
Chemical modification and radiation induced degradation of the photoresist SU-8. - In: 72nd annual meeting and DPG spring meeting of the Condensed Matter Section and the divisions: Physics Education, History of Physics, Radiation and Medical Physics as well as the working groups: Equal Opportunities, Industry and Business, Information, Physics and Disarmament, Physics of Socio-Economic Systems, Young DPG, 2008, CPP 10.3

Milushev, Mladen; Hecht, Siegmar; Djamiykov, Todor
Design of a sensor for the stepping contact force of a walking machine. - In: Prospects in mechanical engineering, (2008), S. 79-80

Schumacher, Jens T.; Grodrian, Andreas; Kremin, Christoph; Hoffmann, Martin; Metze, Josef
Hydrophobic coating of microfluidic chips structured by SU-8 polymer for segmented flow operation. - In: Journal of micromechanics and microengineering, ISSN 1361-6439, Bd. 18 (2008), 5, 055019, insges. 6 S.

Kallenbach, Matthias; Baumbach, Jens
Messtechnik: Maghyst erfasst Parameter im montierten Zustand : dem Magneten ins Herz geschaut. - In: Industrie-Anzeiger, ISSN 0019-9036, Bd. 130 (2008), 20, S. 44-46

Fröber, Ulrike; Stubenrauch, Mike; Voges, Danja; Müller, René; Witte, Hartmut; Hoffmann, Martin
Biomikrosysteme zur Kultivierung von Indikatororganismen für Umwelt-Monitoring, Gefahrstoffdetektion und Zytodiagnostik. - In: 4. Workshop "Chemische und biologische Mikrolabortechnik", (2008), insges. 2 S.

Kallenbach, Eberhard; Eick, Rüdiger; Quendt, Peer; Ströhla, Tom; Feindt, Karsten; Kallenbach, Matthias
Elektromagnete : Grundlagen, Berechnung, Entwurf und Anwendung ; mit 34 Tabellen
3., bearb. und erg. Aufl.. - Wiesbaden : Vieweg + Teubner, 2008. - XII, 402 S.. - (Studium) ISBN 3-8351-0138-2
CD-ROM u.d.T.: Electromagnetic field simulation. - Stud. version. - Ansoft Corporation. - Enth. d. Magnetfeldberechnungsprogramm Maxwell

Polster, Tobias; Albrecht, Arne; Hoffmann, Martin; Michael, Steffen
Aluminiumnitrid als piezoelektrisches Membranmaterial für MEMS. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2007, (2007), S. 553-556

Fischer, Michael; Bartsch de Torres, Heike; Stubenrauch, Mike; Müller, Jens; Hoffmann, Martin
Bonding of LTCC and silicon substrates using adapted black silicon. - In: Conference on Wafer Bonding for MEMS Technologies and Wafer Level Integration, (2007), S. 63-64

Loew, R.; Meier, Petra
Simulation of reiterated mechanical load of silicone rubber. - In: Finite elements in analysis and design, ISSN 0168-874X, Bd. 43 (2007), 6/7, S. 453-462

Kallenbach, Matthias; Bartsch de Torres, Heike; Albrecht, Arne; Hoffmann, Martin; Kipka, Annette; Bechtold, Franz; Kucera, Ute
Geprägt, nicht gewickelt : Massenproduktion von stromtragfähigen Mikro-Induktivitäten. - In: Mikroproduktion, ISSN 1614-4538, (2007), 3, S. 48-51

Kallenbach, Matthias; Bartsch de Torres, Heike; Hoffmann, Martin
Keramik leitet Ströme. - In: Design & Elektronik, ISSN 0933-8667, (2007), 6, S. 74-77

Bartsch, Heike; Fischer, Michael; Klett, Maren; Augspurger, Caroline; Schober, Andreas; Hoffmann, Martin
Funktionskeramiken für biotechnologische Anwendungen. - In: Oberflächentechnik für die Praxis, (2007), S. 333-334

Stubenrauch, Mike; Fischer, Michael; Kremin, Christoph; Lilienthal, Katharina; Fröber, Ulrike; Voges, Danja; Witte, Hartmut; Hoffmann, Martin
"Black Silicon" - einstellbare Nanostrukturen mit neuen Applikationsfeldern. - In: Oberflächentechnik für die Praxis, (2007), S. 220-221

Albrecht, Arne; Polster, Tobias; Weinberger, Stefan; Hoffmann, Martin
Dünne piezoelektrische AlN-Monomorph-Membranen. - In: Mikro-System-Technik Chemnitz '07, ISBN 978-3-00-022168-2, (2007), S. 53-58

Hecht, Siegmar; Hoffmann, Martin
Reliability of "black silicon" for MEMS packaging. - In: Micromaterials and nanomaterials, ISSN 1619-2486, Bd. 6 (2007), S. 95

Kallenbach, Matthias; Dittrich, Lars; Hoffmann, Martin
Aktorik für Miniatur- und Mikroventile. - In: Ingenieur-Nachrichten, (2007), 4, S. 5

Kallenbach, Matthias; Otto, Rainer
Gefaltet, nicht gewickelt. - In: Industrie-Anzeiger, ISSN 0019-9036, Bd. 129 (2007), 39, S. 56

Kallenbach, Eberhard; Beyer, Frank; Baumbach, Jens; Rosenbaum, Sören; Kallenbach, Matthias; Otto, Rainer; Dingelstadt, René; Beljajev, Nikolai; Elsäßer, Alfred
Verbesserung der dynamischen Parameter von Magnetventilen durch Optimierung des Energiemanagements des heterogenen Gesamtsystems. - In: Mechatronik 2007, Innovative Produktentwicklung, (2007), S. 85-102

Stubenrauch, Mike; Fischer, Michael; Kremin, Christoph; Hoffmann, Martin; Müller, Jens
Bonding technology for silicon with polymers and ceramics based on black silicon. - In: MST news, ISSN 0948-3128, (2007), 1, S. 40-41

Meier, Petra; Lang, Michael
A compliant self-actuated device for minimally invasive surgery. - In: Smart Systems Integration 2007, (2007), S. 557-5559

Kallenbach, Matthias; Bartsch, Heike; Hintz, Michael; Hoffmann, Martin
High-inductive small-size microcoils with high ampacity. - In: Smart Systems Integration 2007, (2007), S. 505-507

Fischer, Michael; Stubenrauch, Mike; Hintz, Michael; Hoffmann, Martin; Müller, Jens
Bonding of ceramic and silicon - new options and applications. - In: Smart Systems Integration 2007, (2007), S. 477-479

Bartsch, Heike; Hoffmann, Martin
Embossing of microfluidic structures in ceramic multilayer. - In: Smart Systems Integration 2007, (2007), S. 423-425

Low Temperature Cofired Ceramics, also referred to as LTCC, are interesting materials for the realisation of MEMS in the mesoscale, i.e. dimensions in the range of 100 [my]m up to millimetres. By laminating of several layers to one green part, complex three-dimensional structures are achievable. The typical pattern width of conventional used techniques like punching or laser cutting amounts to approx. 100 [my]m. These techniques usually cut the tape's thickness completely, therefore only structures with a depth of integral multiples of the tape's thickness can be produced and the precision depends on the tolerance of the doctor blade process. Microembossing adds to the variety of technologies for processing LTCC tapes. Structure dimensions of 50 [my]m can be realised easily. In addition to previous studies, focused on the aspect to produce conductor paths of high ampacity by embossing, the present work introduces an embossing technique to achieve fluidic channels with dimensions in the [my]m range under the use of conventional technologies. The embossing step, as a parallel procedure, can be easily integrated in the LTCC process chain. Embossing can be carried out either as the first step or after pre-processing like punching and via filling. The main process parameters are temperature, dwell time and the die's pressure. The embossing has been carried out at a temperature of 57&ring;C, using a die's pressure of 120 MPa and a dwell time of 5 minutes. Under this conditions, DuPont's 951 GreenTape AX has been moulded with an embossing die made of silicon. Figure 1 depicts profile scans of the mould and the embossed ceramic in the green stage. The lateral dimensions are impressed accurately. In z-dimension the embossed height is reduced to approx. 92 % of the mould's depth. The reason of this derivation might be the elastic deformation of the tape material. The embossed structures have been covered with one layer of DuPont's GreenTape 951 AT, which has a thickness of 114 [my]m in the green stage. No fugitive phases or any other additives have been used. The primary structures height has been reduced of approx. 10 [my]m by the lamination step. The samples have been sawn to examine the channels geometry after sintering. Figure 2 depicts a cross section and a longitudinal section of a channel. The channels have rectangular cross sections and dimensions of 35 [my]m × 35 [my]m. The dimensions of the mould are 50 [my]m in lateral direction and 65 [my]m in z-direction, respectively. In combination with electrical assembling, complex packages for pressure sensors, fluidic devices or BIO MEMS can be produced by this technique. A technique to produce micro fluidic channels in low temperature cofired ceramics (LTCC) is presented. The materials offer a high potential for chip integration and feature inert character as well as temperature resistance. To avoid contaminations, no fugitive phases or other additives have been used for the manufacturing of channels with rectangular cross sections. Fluidic interconnections for pressure sensors or chemical analysis devices can be produced with this method. In combination with other techniques, complex packaging for MEMS fluidic integrations or BIO MEMS can be realised.

Fischl, Tamás; Albrecht, Arne; Stubenrauch, Mike; Król, József; Wurmus, Helmut; Hoffmann, Martin; Sánchez-Ferrer, Antony; Chambers, Martin
Integration of functional liquid crystalline elastomers in the microtechnics. - In: Smart Systems Integration 2007, (2007), S. 403-406

Polster, Tobias; Hoffmann, Martin; Albrecht, Arne; Tonisch, Katja; Ambacher, Oliver; Stauden, Thomas; Donahue, Mary; Michael, Steffen
AlN as a piezoelectric material for integrated micro and nano sensors on silicon. - In: Smart Systems Integration 2007, (2007), S. 249-255

Stubenrauch, Mike; Fischer, Michael; Kremin, Christoph; Albrecht, Arne; Hoffmann, Martin
Black silicon as a smart structure for the bonding of polymers with silicon. - In: Smart Systems Integration 2007, (2007), S. 161-166

Horvath, Balazs;
Entwicklung einer optischen Messmethode zur Analyse lateraler Mikrostrukturoberflächen, 2007. - Online-Ressource (PDF-Datei: 116 S., 3682 KB) : Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2007
Parallel als Druckausg. erschienen

Ein neuartiges optisches Messverfahren wird vorgestellt, das für die Rauhigkeitsanalyse von vertikalen Mikrostrukturbereichen geeignet ist. Die senkrechten Oberflächen werden mit einem konvergenten Laserstrahl beleuchtet und die reflektierten objektiven Specklestrukturen über dem Einfallsstrahl in einem möglichst breiten Raumteil erfasst. Da die Ortsfrequenz des Specklemusters im ungekehrten Verhältnis zum Durchmesser des jeweiligen Einfallsstrahls steht,können das primäre Messsignal und die sekundären Störreflexionen mit Hilfe eines angepassten räumlichen Bandpass-Filters getrennt werden. Die Rauhigkeitsparameter der Strukturwände lassen sich aus den aufgestellten Speckle-Kontrast, Kreuz- und Auto-Korrelationsmodellen ableiten. Die experimental ermittelten Kennlinien der Speckle-Kontrast Methode verfolgen die theoretische Beziehung und ihre Anwendungsbereiche lassen sich bis zu Rq=0.2..0.25 æm erweitern. Neben den konventionellen angularen- und spektralen Kreuz-Korrelationstechniken wird ein neuartiges Ortskorrelationsverfahren vorgeschlagen, wobei der optische Rauheitsparameter durch geringfügige Verschiebung der Probe errechnet wird. Es wird nachgewiesen, dass die verwendeten Winkeldifferenzen oder Probenverschiebungen einen Einfluss auf die Kennliniengradienten ausüben. Dadurch können der Messbereich und die Genauigkeit der Vermessung verändert werden und der Messprozess lässt sich zu vordefinierten Bedingungen anpassen. Die vertikalen Oberflächen von Mikrostrukturen sind in einem Bereich von Rq=0..0,5 æm mit einer Genauigkeit von r=±8-10 nm zu analysieren. Zur Untersuchung der Messunsicherheit wird eine wahrscheinlichkeitstheoretische Methode abgeleitet, wobei zur Berechnung der Konfidenzradien sowohl die systematischen als auch die zufälligen Fehler berücksichtigt werden. Auf Basis der Kirchhoffschen Beugungstheorie wird ein Simulationsmodell entwickelt, mit dem die Funktionen von Speckle-Vermessungen für beliebige Beleuchtungen, Materialeigenschaften und geometrischen Anordnungen modelliert werden können. Dadurch besteht die Möglichkeit, praktisch nicht erfassbare Effekte und die technische Realisierbarkeit jeglicher Speckle-Auswertung zu untersuchen.

Löschner, Udo;
Laserumformen von Siliziummikrostrukturen, 2007. - Online-Ressource (PDF-Datei: 205 S., 5925 KB) : Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2007
Parallel als Druckausg. erschienen

In dieser Arbeit werden erstmalig grundlegende theoretische und praktische Untersuchungen zum Umformen von Siliziummikrostrukturen mit Hilfe von Laserstrahlung durchgeführt. Vorangestellt ist eine gründliche Analyse des Kenntnisstandes der Technik. Die Simulation des Laserumformprozesses von Siliziummikrostrukturen an einem auf die experimentellen Untersuchungen zugeschnittenen FE-Modell gibt Aufschluss über die entstehenden Temperatur-, Dehnungs- und Spannungsfelder im Material und die entstehenden Biegewinkel. Die Berechnungsergebnisse fließen in eine modellhafte Beschreibung des laserinduzierten Biegeprozesses von Siliziummikrostrukturen ein. Die experimentellen Untersuchungen mit Nd:YAG-Laserstrahlung der Wellenlängen 1064 nm und 532 nm liefern Erkenntnisse zu wichtigen Parametern im Laserumformprozess wie beispielsweise zum Einfluss von Laserleistung, der Anzahl an wiederholten Bearbeitungen oder der Bearbeitungsgeschwindigkeit. Die experimentellen Ergebnisse sind denen aus den Simulationsrechnungen gegenübergestellt. Nach der Umformung werden die Biegeproben hinsichtlich Veränderungen gegenüber unverformten Proben beurteilt. Neben Materialveränderungen in der Biegezone liegen sowohl geometrische Abweichungen als auch veränderte mechanische Festigkeitseigenschaften vor. Durch den Aufbau eines Regelkreises mit dem Biegewinkel als Stellgröße lässt sich die Reproduzierbarkeit der hergestellten Umformungen von den Toleranzfeldern im Laserumformprozess entkoppeln und dadurch deutlich verbessern. Das entwickelte Verfahren eignet sich sehr gut zum Umformen von Siliziumbauteilen für verschiedenste Anwendungen. Speziell entworfene mikromechanische Bauteile aus Silizium können so umgeformt werden, dass sie in der Lage sind, andere Bauteile mechanisch in ihrer Lage zu fixieren, zu führen, zu stapeln oder sogar mechanische oder elektrische Aufgaben auch über mehrere Waferebenen zu übertragen. Abschließend werden spezielle Umformuntersuchungen mit Laser und zusätzlichem Biegewerkzeug durchgeführt.

Stubenrauch, Mike; Fischer, Michael; Kremin, Christoph; Hoffmann, Martin; Müller, Jens
Bonding of silicon with filled and unfilled polymers based on black silicon. - In: Micro & nano letters, ISSN 1750-0443, Bd. 2 (2007), 1, S. 6-8

Gentemann, Roland B.; Teufer, Daniel; Temmen, Katrin; Hoffmann, Martin
3D-fibre channels in silicon by electrical breakdown - new opportunities for optical fibre alignment and microfluidics. - In: International journal of electronics and communications, ISSN 1618-0399, Bd. 61 (2007), 3, S. 172-176

Tonisch, Katja; Weise, Frank; Stubenrauch, Mike; Cimalla, Volker; Ecke, Gernot; Will, Florentina; Romanus, Henry; Mrotzek, Susanne; Hofmeister, H.; Hoffmann, Martin; Hülsenberg, Dagmar; Ambacher, Oliver
Growth of silicon nanowires on UV-structurable glass using self-organized nucleation centres. - In: Physica, ISSN 1386-9477, Bd. 38 (2007), 1/2, S. 40-43

Tonisch, Katja; Cimalla, Volker; Will, Florentina; Weise, Frank; Stubenrauch, Mike; Albrecht, Arne; Hoffmann, Martin; Ambacher, Oliver
Nanowire-based electromechanical biomimetic sensor. - In: Physica, ISSN 1386-9477, Bd. 37 (2007), 1/2, S. 208-211

Cimalla, Volker; Stubenrauch, Mike; Weise, Frank; Fischer, Michael; Tonisch, Katja; Hoffmann, Martin; Ambacher, Oliver
Suspended nanowire web. - In: Applied physics letters, ISSN 1077-3118, Bd. 90 (2007), 10, S. 101504, insges. 3 S.

Kallenbach, Eberhard; Kallenbach, Matthias; Zöppig, Veit
Micromechatronical challenges miniaturizing valves. - In: Meeting abstracts, ISSN 2151-2043, Bd. MA2006-02 (2006), 49, 2149

Gebinoga, Michael; Groß, Gregor Alexander; Albrecht, Arne; Lübeck, Thomas; Henkel, Thomas; Hoffmann, Patrick; Klemz, Uwe; Schlingloff, Gregor; Frank, Thomas; Schober, Andreas
"Syn&Sort": a chip-based tool for combinatorial synthesis. - In: QSAR & combinatorial science, ISSN 1611-0218, Bd. 25 (2006), 11, S. 1063-1068
Erratum. - Bd. 26.2007, 4, S. 581

Fischer, Michael; Stubenrauch, Mike; Kups, Thomas; Romanus, Henry; Morales, Francisco M.; Ecke, Gernot; Hoffmann, Martin; Knedlik, Christian; Ambacher, Oliver; Pezoldt, Jörg
Self organization and properties of Black Silicon. - In: Information technology and electrical engineering - devices and systems, materials and technologies for the future, (2006), insges. 9 S.

Tonisch, Katja; Cimalla, Volker; Will, Florentina; Haupt, Christian; Cengher, Dorin; Weise, Frank; Stubenrauch, Mike; Albrecht, Arne; Hoffmann, Martin; Ambacher, Oliver
First steps towards a nanowire-based electromechanical biomimetic sensor. - In: Information technology and electrical engineering - devices and systems, materials and technologies for the future, (2006), insges. 2 S.

Kittler, Gabriel; Spitznas, Armin; Lübbers, Benedikt; Lebedev, Vadim; Wegener, Dennis; Schober, Andreas; Gebinoga, Michael; Schwierz, Frank; Polyakov, Vladimir M.; Weise, Frank; Ambacher, Oliver
AlGaN/GaN-sensors for monitoring of enzyme activity by pH-measurements. - In: Information technology and electrical engineering - devices and systems, materials and technologies for the future, (2006), insges. 3 S.

Cimalla, Irina; Will, Florentina; Tonisch, Katja; Lebedev, Vadim; Niebelschütz, Merten; Himmerlich, Marcel; Krischok, Stefan; Cimalla, Volker; Kittler, Gabriel; Kremin, Christoph
Impact of device processing on the surface properties and the biocompatibility of AlGaN/GaN HEMT sensors. - In: Information technology and electrical engineering - devices and systems, materials and technologies for the future, (2006), insges. 2 S.

Stubenrauch, Mike; Fischer, Michael; Bernasch, M.; Bagdahn, J.
Room temperature bonding of nanostructured silicon wafers and mechanical characterization. - In: 2nd International Workshop on Wafer Bonding for MEMS Technologies, (2006), S. 37-38

Schober, Andreas; Weise, Frank; Cimalla, Irina Nicoleta; Gebinoga, Michael; Fischer, Michael; Lilienthal, Katharina; Kremin, Christoph; Lübbers, Benedikt; Kittler, Gabriel; Ambacher, Oliver; Friedrich, Thomas
Neuartige Sensoren für nano- und pikofluidische Systeme in biotechnischen Anwendungen. - In: Technische Systeme für Biotechnologie und Umwelt, (2006), S. 141-147

Hecht, Siegmar; Hoffmann, Martin
Zuverlässigkeit von MEMS in der Mikro-Mechatronik. - In: Mechatronische Systeme - Entwurf, Anwendungen und Perspektiven, (2006), S. 27-32

Kallenbach, Matthias; Bussinger, Frank; Kallenbach, Eberhard; Hermann, Rolf
Miniaturisation of magnetic actuators for small powerful industrial small size application. - In: Actuator 2006, ISBN 978-3-933339-08-9, (2006), S. 116-119

Bartsch de Torres, Heike; Hintz, Michael; Thelemann, Torsten; Hoffmann, Martin
Sagging-control of LTCC-membranes using a statistical model. - In: The 17th MicroMechanics Europe Workshop, MME'06, (2006), S. 9-12

Stubenrauch, Mike; Wurmus, Helmut; Hoffmann, Martin; Albrecht, Arne
Abschlussbericht für das Verbundprojekt "Kristalloides P-Protein, - Prototyp bioanaloger Nanoaktuatoren", Teilprojekt 3: Prototypische Anwendungen : Berichtszeitraum: 01.09.02 - 31.12.05. - Ilmenau : Inst. f. Mikro- u. Nanotechnologien, FG Mikromechanische Systeme, Techn. Univ.. - Online-Ressource (28 S., 2,02 MB)Förderkennzeichen BMBF 0312014C. - Verbund-Nr. 01022372

Fischl, Tamás; Albrecht, Arne; Wurmus, Helmut; Hoffmann, Martin; Stubenrauch, Mike; Sánchez-Ferrer, Antoni
Liquid crystalline elastomers for microengineering :
Flüssigkristalline Elastomere für die Mikrotechnik. - In: Kunststoffe, ISSN 0023-5563, Bd. 96 (2006), 10, S. 30-34

Förster, Christian; Cimalla, Volker; Stubenrauch, Mike; Rockstuhl, Carsten; Brueckner, Klemens; Hein, Matthias; Pezoldt, Jörg; Ambacher, Oliver
Micromachining of novel SiC on Si structures for device and sensor applications. - In: Silicon carbide and related materials - 2005, (2006), S. 1111-1114

Stubenrauch, Mike; Fischer, Michael; Kremin, Christoph; Stoebenau, Sebastian; Albrecht, Arne; Nagel, Ole
Black silicon - new functionalities in microsystems. - In: Journal of micromechanics and microengineering, ISSN 1361-6439, Bd. 16.2006, 6, S. S82-S87

Frank, Thomas; Kempf, Wolfgang; Müller, Ralf; Stubenrauch, Mike; Schilling, Cornelius; Witte, Hartmut
Ein Beispiel für Gradientenreaktoren nach bionischem Prinzip für chemische Umsetzungen im Mikromaßstab. - In: Abstracts, (2006), insges. 1 S.

Gebinoga, Michael; Albrecht, Arne; Lübeck, Thomas; Groß, Gregor Alexander; Henkel, Thomas; Hoffmann, Patrick; Klemm, Uwe; Schlingloff, Gregor; Frank, Thomas; Schober, Andreas
"Syn & Sort": a ship based tool for combinatorial synthesis and biological screening. - In: Abstracts, (2006), insges. 1 S.

Schober, Andreas; Kittler, Gabriel; Lübbers, Benedict; Cimalla, Volker; Fischer, Michael; Spitznas, Armin; Gebinoga, Michael; Cimalla, Irina Nicoleta; Yanev, Vasil; Himmerlich, Marcel; Kerekes, Tibor; Kittler, Mario; Drüe, Karl-Heinz; Hintz, Michael; Krischok, Stefan; Burgold, Jörg; Weise, Frank; Ambacher, Oliver; Kremin, Christoph; Lilienthal, Katharina
Eine neue Klasse von Sensoren für mikro- und nanofluidische Systeme für biotechnologische Anwendungen. - In: Abstracts, (2006), insges. 1 S.

Bergmann, René; Kremin, Christoph; Albrecht, Arne; Frank, Thomas
Strukturbildung beim Mikro-Sandstrahlen mit Maskierung. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [06.06], insges. 9 S.

Nikolov, George; Nikolova, Boyanka; Marinov, Marin; Hecht, Siegmar
Resistance temperature detector calibration in LabVIEW environment. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [05.P.08], insges. 9 S.

Marinov, Marin; Topalov, Ivan; Djamiykov, Todor; Hecht, Siegmar
Intelligent sensor node for building monitoring and control applications. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [05.P.07], insges. 8 S.

Djamiykov, Todor; Nenov, Nikolay; Ovcharov, Stefan; Hecht, Siegmar; Milushev, Mladen
Real-time position determination of light spot. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [05.P.04], insges. 6 S.

Miloševic, Miloš; Živkovic, Života; Burgold, Jörg; Wurmus, Helmut
Modeling of coupled fluid-structure integration at a high resolution microstructured cantilever sensor for fluid flow velocities measuring. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [04.04], insges. 11 S.

Kallenbach, Matthias;
Magnetische Aktoren in Mikrosystemen. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [04.02], insges. 14 S.

Botiov, Julian; Albrecht, Arne; Wurmus, Helmut; Drüe, Karl-Heinz; Hintz, Michael
LTCC Technologie als Grundlage für mikromechanische Funktionselemente. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [04.10], insges. 14 S.

Zöppig, Veit; Kallenbach, Eberhard; Beyer, Frank; Baumbach, Jens; Ströhla, Tom; Kallenbach, Matthias
Fast acting magnetic actuators for automotive applications. - In: Proceedings of the twentieth annual meeting, (2005), S. 246-249

Barth, Stephan; Koch, H.; Peinke, Joachim; Burgold, Jörg; Wurmus, Helmut
Laser-Cantilever-Anemometer. - In: Progress in turbulence, (2005), S. 129-132

Schober, Andreas; Kittler, Gabriel; Lübbers, Benedict; Buchheim, Carsten; Majdeddin, Ali; Cimalla, Volker; Fischer, Michael; Spitznas, Armin; Gebinoga, Michael; Yanev, Vasil; Himmerlich, Marcel; Kerekes, Tibor; Kittler, Mario; Drüe, Karl-Heinz; Hintz, Michael; Krischok, Stefan; Burgold, Jörg; Weise, Frank; Ambacher, Oliver; Gottwald, Eric
A novel class of sensors for micro- and nanofluidic systems in biotechnological applications. - In: 7. Dresdner Sensor-Symposium - neue Herausforderungen und Anwendungen in der Sensortechnik, (2005), S. 143-146

Schober, Andreas; Kittler, Gabriel; Buchheim, Carsten; Majdeddin, Ali; Cimalla, Volker; Fischer, Michael; Yanev, Vasil; Himmerlich, Marcel; Krischok, Stefan; Schäfer, Jürgen A.; Romanus, Henry; Sändig, Torsten; Burgold, Jörg; Weise, Frank; Wurmus, Helmut; Drüe, Karl-Heinz; Hintz, Michael; Thust, Heiko; Gebinoga, Michael; Kittler, Mario
A novel class of sensors for system integrative concepts in biotechnological applications. - In: NSTI BioNano, (2005), S. 489-492

Albrecht, Arne; Fischer, Michael; Kremin, Christoph; Nagel, Ole Jens Otto; Stubenrauch, Mike; Wurmus, Helmut
Room temperature bonding for MEMS using black silicon. - In: Micro system technologies 2005, (2005), S. 111-117

Stubenrauch, Mike; Burgold, Jörg; Voges, Danja; Schilling, Cornelius; Knoblauch, Michael; Peters, Winfried S.
A new method for handling and manipulation of valuable biological specimen in MEMS. - In: Biomedical engineering, ISSN 0013-5585, Bd. 50.2005, Suppl. 1, Pt. 1, S. 191-192

Breckenfelder, Chr.; Krüger, S.
Forschungsverbundprojekt "Entwurf und Modellierung von Antriebssystemen für die Mikrosystemtechnik" - MODAN - www.modan.org : Abschlussbericht des Teilprojektes "Entwicklung netzwerkfähiger Entwurfsmodule für Mini- und Mikroaktoren" der Technischen Universität Ilmenau. - Ilmenau : [Fak. f. Maschinenbau - Inst. f. Mikrosystemtechnik, Mechatronik u. Mechanik], Techn. Univ.. - Online-Ressource (17 S., 803 KB)Förderkennzeichen BMBF 16SV1553. - Literaturverz.

Kallenbach, Matthias;
Entwurf von magnetischen Mini- und Mikroaktoren mit stark nichtlinearem Magnetkreis, 2005. - Online-Ressource (PDF-Datei: 176 S., 3738 KB) : Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2005
Parallel als Druckausg. erschienen

Die vorliegende Arbeit stellt eine Erweiterung der Entwurfsmethodik für mechatronische Systeme nach der VDI-Richtlinie 2206 für mikromechatronische Systeme dar. Die Spezifika des mikromechatronischen Entwurfs werden unter funktionellen und geometrisch-stofflichen Aspekten betrachtet und bewertet. In Ergänzung zur VDI 2206 werden außerdem allgemeine Konstruktionsrichtlinien und Konstruktionsprinzipien für den Entwurfsprozess von Mikroaktoren dargelegt. Magnetische Aktoren weisen ein großes Einsatzpotential im Mikrobereich auf. Sie werden bisher im Vergleich zu elektrostatischen Aktoren jedoch nur wenig eingesetzt. Wie anhand von Ähnlichkeitsgesetzen für die Verkleinerung magnetischer Aktoren nach dem Reluktanzprinzip gezeigt wird, weisen sie im Mini- und Mikrobereich teilweise größere Stellkräfte bei größeren Hüben auf als vergleichsweise elektrostatische und piezoelektrische Mikroaktoren, wenn sie optimal ausgesteuert werden. Gegenstand der Arbeit ist weiterhin die Untersuchung verschiedener Magnetkreisgrundformen von neutralen und polarisierten Hub- und Klappankermagneten und deren Bewertung anhand von berechneten charakteristischen Kennlinien. Die Berechnung der optimalen Hauptabmessungen acht verschiedener Magnetkreisgrundformen mit und ohne Bauraumbeschränkungen zeigt die starken Unterschiede antriebstechnischer Eigenschaften (Magnetarbeit, Bauvolumen, maximaler Hub) in Abhängigkeit von der Magnetkreisgrundform und der Stromdichte. In diesem Zusammenhang wird die Durchflutungssteuerbarkeit von Magnetaktoren definiert, die für die Bewertung von magnetischen Aktoren und die Integration in mechatronische Systeme wichtig ist. Resonante Antriebssysteme sind im besonderen Maße für die Entwicklung von verlustarmen, schnellen und kleinen Aktorsystemen geeignet. In der Arbeit wird auf den Entwurf eines derartigen Systems eingegangen und anhand eines Miniaktors für Gaswechselventile gezeigt, dass die Grenze der Schnellwirkung bei Nutzung dieses Wirkprinzips in den Bereich kürzerer Schaltzeiten verschoben werden kann. Ein besonders interessanter Aspekt für die Integration mechatronischer Systeme ist die Reduzierung der Hardwarekomplexität. Es wird ein neuartiges Verfahren zur sensorlosen Positionsbestimmung von Magnetankern vorgeschlagen, das auch für stark nichtlineare Magnetkreise geeignet ist. Durch Simulation wird der Funktionsnachweis erbracht.

Müller, Alexander; Albrecht, Bernhard; Grosch, Jürgen; Stubenrauch, Mike; Emmerich, Edeltraut; Mollenhauer, Olaf; Schade, Hans-Peter; Witte, Hartmut
Analyse und Bewertung gehörrichtiger Schallimmissions- und Schallemmissionsmessungen bei Diskothekenlärm. - In: Prävention von arbeitsbedingten Gesundheitsgefahren und Erkrankungen, (2005), S. 453-469

Für chronische Belastungen wie Lärm kann bisher nur selten eine evidenz-basiert reproduzierbare Dosis-Wirkungsbeziehung zu individuellen Schädigungen exponierter Arbeitnehmer belegt werden. Gleiche externe Reize führen durch die variante Prädisposition von Arbeitnehmern zu individuellen Beanspruchungen. Folgerichtig konzentriert sich die arbeitsmedizinische Forschung für die Bewertung von Beanspruchungen auf eine höhere Quantifikation der Messgrößen für die Prädisposition und die Belastung. Ziel der Studie war es, mittels eines Experiments eine standardisierte Kontrolle der Lärmbelastung für Besucher einer Diskothek sowie eine standardisierte Kontrolle der psychophysischen Reaktion (Beanspruchung) auf diese Exposition durchzuführen. Neben der Beschreibung von physikalischen Reizgrößen durch konventionelle Messverfahren wie den A-bewerteten Schalldruckpegel wurden psychoakustische Empfindungsgrößen wie die Lautheit (DIN 45 631), die Schärfe und die Rauhigkeit berechnet. An diesem Experiment nahmen 25 männliche Probanden im Alter von 22 bis 28 Jahren teil. Sie repräsentierten durchschnittliche Besucher einer Diskothek. Um die psychophysische Reaktion zu erfassen, erfolgten audiometrische Untersuchungen (Tonschwellenaudiometrie, Distorsionsprodukte otoakustischer Emissionen) vor und nach einer definierten Schallexposition während normaler Veranstaltungsabende in dieser Diskothek. Weiterhin wurden die Probanden zu Art, Dauer, Häufigkeit von Lärmbelastungen in der Freizeit sowie individuellen Hörgewohnheiten, Motivation und Stimmungslage befragt. Grundlage für die Auswertung war die Annahme, dass die gewählten Beschreibungsgrößen für die Reize überzufällig mit den Beschreibungsgrößen für individuelle Reaktionen korrelieren. Der Vergleich der Ergebnisse aus der Berechnung der (psycho-)physischen Kennwerte, welche die von einem Geräusch ausgehende Belastung bzw. Beanspruchung beschreiben sowie die probandenspezifische Reaktion sprechen für einen engen Zusammenhang zwischen der Lautheit und den zeitweiligen Hörschwellenverschiebungen (TTS) der Probanden, welche durch Distorsionsprodukte otoakustischer Emissionen ermittelt wurden.

Kallenbach, Matthias;
Ein Beitrag zur Entwicklungsmethodik mikromechatronischer Systeme. - In: Mechatronik 2005, (2005), S. 109-124

Knoblauch, Michael; Stubenrauch, Mike; Burgold, Jörg; Warmann, Steve; Shen, Amy Q.; Pickard, William F.; Voges, Danja; Peters, Winfried S.
Forisomes - an unusual contractile system from higher plants and its potential as an actuator in technical microsystems. - In: Tagungsunterlagen, (2005), insges. 1 S.
Publ. entstand im Rahmen der Veranst.: 3rd International Symposium on Adaptive Motion in Animals and Machines, 2005, Ilmenau

Weise, Frank; Burgold, Jörg; Dressler, Lothar; Wurmus, Helmut; Ambacher, Oliver
Dosierung von Flüssigkeiten im Pikoliterbereich. - In: Mikrosystemtechnik Kongress 2005, (2005), S. 697-699

Stubenrauch, Mike; Albrecht, Arne; Fischer, Michael; Kremin, Christoph
Fügeverfahren für Mikrobauteile auf der Basis von "Black Silicon". - In: Mikrosystemtechnik Kongress 2005, (2005), S. 175-177

Kallenbach, Matthias; Bartsch, Heike; Albrecht, Arne; Botiov, Julian; Hintz, Michael
Mikroprägen als Strukturierungsverfahren für LTC-Keramik. - In: Mikrosystemtechnik Kongress 2005, (2005), S. 535-538

Dünn, Christoph;
Ein Beitrag zur Herstellung integrierter Drehratensensoren in SiGe. - Aachen : Shaker, 2005. - Getr. Zählung [ca. 190 S.]. - (Berichte aus der Mikrosystemtechnik) : Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2005
ISBN 3-8322-4296-1

In der Kraftfahrzeugtechnik sind mikromechanische Drehratensensoren bereits weit verbreitet, sowohl in Fahrsicherheits- als auch in Navigationssystemen. Die derzeitigen Drehratensensorkonzepte und Herstellungstechnologien können allerdings den zukünftigen Anforderungen, insbesondere hinsichtlich benötigter hoher Sensorauflösung und niedriger Produktionskosten nicht mehr gerecht werden. Vor diesem Hintergrund wird in der Arbeit ein neues Sensorkonzept in einer neuen Herstellungstechnologie entwickelt. Um eine bestmögliche Auflösung zu erreichen, verfolgt das Konzept eine vollresonante Auswertung des kapazitiv angetriebenen und ausgewerteten Zwei-Masse-Schwingers. Als Herstellungstechnologie fällt die Wahl auf Silizium-Germanium (SiGe), weil aufgrund der niedrigen Abscheidetemperatur des SiGes eine modulare und monolithische Back-End-Integration von mechanischem Schwinger und Auswerte-IC möglich ist. Dies verbessert ebenfalls die Sensorauflösung. Da kaum Erfahrungen über die Herstellung und Prozessierung von Funktionsschichten mikromechanischer Sensoren aus SiGe vorliegen, muss vor der Umsetzung eine Reihe wesentlicher Verbesserungen und Entwicklungen durchgeführt werden. Die größte Hürde stellt dabei der in der Literatur fälschlicherweise als Stressgradient bezeichnete Parameter dar, welcher um zwei Größenordnungen zu hoch ist. Da in der Literatur keine Ansätze zur Reduzierung des sogenannten Stressgradienten auf den geforderten Wert zu finden sind, werden als Schwerpunkt der Arbeit neue Lösungsideen entwickelt und verifiziert. Bei den Strategien handelt es sich um Variation der Abscheideparameter, Ausheilen der Funktionsschicht in unterschiedlichen Atmosphären, Abscheidung der SiGe-Schicht auf verschiedenen Untergründen, Verwendung mehrlagiger SiGe-Schichtaufbauten sowie Entfernen der Randschicht um die SiGe-Funktionsschicht. Dabei wird durch Kombination eines mehrlagigen Schichtaufbaus mit dem Entfernen der Randschicht erstmals der für Drehratensensoren geforderte Wert erreicht. Weitere experimentell gewonnene Erkenntnisse sind u.a. die starke Abhängigkeit des sogenannten Stressgradienten von der Schichtdicke und die Bildung einer stark verspannten SiO2-Schicht beim Entfernen der Randschicht mit H2O2, welche aber nicht zur Reduzierung des Stressgradienten eingesetzt werden kann. Modelle auf der Basis der Experimente liefern für zukünftige Schicht-Optimierungen ein essentielles Verständnis über den Verlauf des Stressgradienten innerhalb der Schicht. Aufgrund dieser theoretischen Überlegungen kann sowohl eine verspannte Randschicht als auch ein konstanter Dehnungsgradient innerhalb der Schicht ausgeschlossen werden, vielmehr erscheint eine exponentielle Abnahme einer Zugspannung innerhalb der Schicht zur Schichtunterseite hin als realistisch. Nach Bereitstellung der drehratensensor-tauglichen SiGe-Funktionsschicht können das Sensordesign wie auch die Entwicklung eines Prozessflusses für den Demonstrator begonnen werden. Beim Entwurf des Demonstrators werden die Vorteile der SiGe-Technologie, wie z.B. der Wegfall der Perforierung der Resonatorrahmen durch große Unterätzweiten beim Opferschichtätzen konsequent genutzt. Ebenso wird aber auch den elektromagnetischen Wechselwirkungen zwischen Resonator und IC durch eine geeignete Leiterbahnführung Rechnung getragen. Die Entwicklung der einzelnen Prozessschritte erfolgt sowohl auf speziellen Testwafern als auch auf Produktwafern. Besonders hervorzuheben ist dabei die Verbesserung des Opferschichtätzens von Germanium mit H2O2 durch Zugabe eines Puffers, der einen Angriff auf die offenen Aluminium-Bondpads und Leiterbahnen verhindert.

Schilling, Cornelius; Müller, Ralf; Kempf, Wolfgang; Stubenrauch, Mike; Witte, Hartmut
Ein netzbasiertes Lehr- und Informationssystem zur ökologischen, toxikologischen und medizintechnischen Relevanz chemischer Elemente für Techniker und Ingenieurstudenten. - In: Macro and trace elements, (2004), S. 525-531

Brundel, M.; Stubenrauch, Mike; Wurmus, Helmut; Sanchez-Ferrer, Antoni
Functional liquid-crystalline elastomers in microsystems. - In: MST news, ISSN 0948-3128, (2004), 4, S. 38-39

Yanev, Vasil; Krischok, Stefan; Opitz, Andreas; Wurmus, Helmut; Schäfer, Jürgen A.; Schwesinger, Norbert; Ahmed, Syed-Imad-Uddin
Influence of the RF power on the deposition rate and the chemical surface composition of fluorocarbon films prepared in dry etching gas plasma. - In: Surface science, ISSN 1879-2758, Bd. 566/568 (2004), 2, S. 1229-1233

Zentner, Lena; Böhm, Valter; Bögelsack, Gerhard; Zimmermann, Klaus; Schilling, Cornelius; Blickhan, Reinhard; Witte , Hartmut
Spider legs - or : on the stability behaviour of elastic beams under internal pressure. - In: First International Industrial Conference Bionik 2004, (2004), S. 143-150

Stubenrauch, Mike; Frank, Thomas; Schilling, Cornelius; Witte, Hartmut
"Tight Junctions" - MicroLab-Module in der Biomechatronik. - In: Abstracts, (2004), insges. 1 S.

Schober, Andreas; Albrecht, Arne; Groß, Gregor Alexander; Frank, Thomas; Henkel, Thomas
Abstract: "Syn & Sort" : ein Chip basiertes Tool zur kombinatorischen Synthese und biologischem Screening. - In: Abstracts, (2004), insges. 1 S.

Schober, Andreas; Kittler, Gabriel; Buchheim, Carsten; Majdeddin, Ali; Cimalla, Volker; Fischer, Michael; Yanev, Vasil; Himmerlich, Marcel; Krischok, Stefan; Schäfer, Jürgen A.; Romanus, Henry; Sändig, Torsten; Burgold, Jörg; Weise, Frank; Wurmus, Helmut; Drüe, Karl-Heinz; Hintz, Michael; Thust, Heiko; Gessner, Jörg; Kittler, Mario; Schwierz, Frank; Doll, Theodor; Manske, Eberhard; Mastylo, Rostyslav; Jäger, Gerd; Knedlik, Christian; Winkler, Gerd; Kern, Heinrich; Hoffmann, R.; Spieß, Lothar; Spitznas, Armin; Gottwald, Eric; Weibezahn, Karl-Friedrich; Wegener, Dennis; Schwienhorst, Andreas; Ambacher, Oliver
A novel class of sensors for system integrative concepts in biotechnological applications. - In: Technische Systeme für Biotechnologie und Umwelt, (2004), S. 163-169

Thust, Heiko; Perrone, Rubén; Drüe, Karl-Heinz; Albrecht, Arne
Feinstrukturierung durch photodefinierbare Materialien : Übersicht und Anwendung. - In: Tagungsband zum Symposium Verfahren der Keramischen Mehrlagentechnik: Stand und Zukunftsperspektiven, (2004), S. 124-131

Zukünftige mikroelektronische Schaltkreise erfordern weiter steigende Integrationsdichten bei immer weiter ansteigenden Arbeits- und Taktfrequenzen mit möglichst niedrigen Kosten und hoher Ausbeute. - Für eine hohe Integrationsdichte sind sowohl schmale Leitungen und Abstände als auch, insbesondere für hohe Frequenzen, exakte Leitungsquerschnitte und Kanten neben hoher Leitfähigkeit der Leitermaterialien und niedriger Verluste im Dielektrikum wesentliche Kriterien. Für einen Multilayeraufbau müssen aber die Via- Durchmesser zur Durchkontaktierung in der gleichen Größe sein, wie die möglichst schmalen Leitungen. Dies gilt für High- Density Verdrahtungen wie für Höchstfrequenzeinsatz. Die Standard Siebdrucktechnologie für Dickschicht und LTCC- Technik hat ihre Grenzen nicht nur bezüglich der minimal druckbaren Leitungsbreiten, -abstände und der Kantenqualität, sondern wegen der Siebdehnung während des Druckprozesses auch in der Positioniergenauigkeit. Diese Grenzen liegen für Leiterbahnen um 80 æm, für Viadurchmesser bei Siebdruck bei >300 æm. Mit der Multilayer- HTCC- und LTCC-Technologie, bei der die Vias in ungesinterte Folien meist gestanzt werden, erreicht man bei dünnen Folien Durchkontaktierungen in der Größenordnung dieser minimalen Leitbahnen.

Voges, Danja; Stubenrauch, Mike; Schilling, Cornelius; Witte, Hartmut
Bio-MEMS : wie können Einzeller oder Motorproteine in technischen Systemen "überleben"?. - In: Technische Systeme für Biotechnologie und Umwelt, (2004), S. 461-465

Witte, Hartmut; Ostendorf, U.; Schilling, Cornelius; Voges, Danja; Stubenrauch, Mike
Wie kann Biomechatronik die Präventation von Erkrankungen des Bewegungsapparates unterstützen?. - In: Prävention von arbeitsbedingten Gesundheitsgefahren und Erkrankungen, (2004), S. 291-304

Horvath, Balàzs; Hertzsch, Albrecht
Non-contact characterization of vertical regions of microstructures based on monochromatic speckle techniques. - In: Measurement science and technology, ISSN 1361-6501, Bd. 15 (2004), 5, S. 923-932

Kallenbach, Matthias; Beljajev, N.; Kallenbach, Eberhard; Saffert, Eugen
Fast acting magnetic drives for automotive applications. - In: Actuator 2004, (2004), S. 735-738

Müller, Alexander; Albrecht, Bernhard; Grosch, J.; Stubenrauch, Mike; Emmerich, R.; Mollenhauer, O.; Schade, Hans-Peter; Witte, Hartmut
Miniaturized dosimeters for an individualized prevention of noise-related impairment in the working environment. - In: Beiträge zur 38. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für Biomedizinische Technik im VDE - BMT 2004, 22 -24 September 2004, TU Ilmenau, (2004), S. 1028-1029

Voges, Danja; Stubenrauch, Mike; Schilling, Cornelius
BIO-MEMS - how can organisms or cell organelles "Survive" in technical systems?. - In: Beiträge zur 38. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für Biomedizinische Technik im VDE - BMT 2004, 22 -24 September 2004, TU Ilmenau, (2004), S. 1018-1019

Marinov, Marin; Djamiykov, Todor; Hecht, Siegmar; Wurmus, Helmut
System for remote machine condition monitoring. - In: Session 4-10, (2004), S. 202-207

Marinov, Marin; Djamiykov, Todor; Milushev, Mladen; Hecht, Siegmar
Internet-based environmental data acquisition. - In: Session 4-10, (2004), S. 92-97

Albrecht, Arne;
Grundlagen einer magnetischen Manipulation von Partikeln für Anwendungen in der miniaturisierten kombinatorischen chemischen Reaktionstechnik, 2004. - Online-Ressource (PDF-Datei: 141 S., 12,2 MB) : Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2004
Parallel als Druckausg. erschienen

Die Miniaturisierung und Parallelisierung kombinatorischer Verfahren in der Chemie, die beispielsweise für die pharmazeutische Wirkstoffsuche genutzt werden, erfordert neue Wege für die Substanzmanipulation. Während eine Vielzahl von technischen Lösungen für die Substanzdosierung bis hinunter in den Picoliterbereich verfügbar sind, erfordert der Substanztransfer im Mikrobereich, d.h. das Aufnehmen und erneute Abgeben kleinster Substanzmengen bei mehrstufigen Reaktionen neue Lösungen. In dieser Arbeit wird aufbauend auf dem Prinzip der Festphasensynthese ein neues Prinzip zum hochparallelen Substanztransfer mittels magnetischer Partikel vorgestellt. Im Gegensatz zu bisher vor allem in der Biochemie üblichen magnetischen Mikropartikeln werden makroskopische Magnetpartikel verwendet, auf die im magnetischen Feld so große Kräfte einwirken, dass sie aus einer Reaktionslösung durch die Flüssigkeitsoberfläche hindurch entnommen werden können. Durch die große Wirkdistanz des magnetischen Feldes kann diese Entnahme ohne direkten Kontakt des Magnetsystems zur Reaktionslösung erfolgen, wodurch sich die Gefahr der Kontamination reduziert. Im ersten Teil dieser Arbeit werden, ausgehend von der Beschreibung der relevanten fluid-mechanischen und magnetischen Effekte sowie experimentellen Untersuchungen, Konzepte für die magnetische Manipulation entwickelt und Lösungsvarianten dimensioniert. Dabei wird auch das Skalierungsverhalten dargestellt und die minimal mögliche Partikelgröße abgeschätzt. Das entwickelte magnetische Manipulationssystem besteht aus mehreren Komponenten. Ein zeilenförmiger Magnet erzeugt bei Überstreichen der Reaktionsplatten eine so große Kraft auf die magnetischen Partikel, dass sie in eine Transportplatte übernommen werden. Dort werden sie durch eine Magnetmatrix, die dem Raster der Reaktionskammern entspricht, während des Transports fixiert. Der zweite Teil der Arbeit ist der technologischen Realisierung der magnetischen Makropartikel und der Reaktionskammerplatten mit integrierter Magnetmatrix gewidmet. Es werden verschiedene Verfahren zur Herstellung der magnetischen Partikel verglichen und die magnetischen Eigenschaften bewertet. Ebenso werden geeignete Verfahren zur Herstellung der Reaktionskammerplatten, zur Einbettung der Magnetmatrix und zum Aufbau der Verbundplatten untersucht. Der Fokus liegt dabei auf dem Mikropulverstrahlen. Die favorisierten technologischen Verfahren werden an Reaktionskammerplatten mit 1536 und 6144 Kammern evaluiert.

Albrecht, Arne; Botiov, Julian; Fischer, Michael; Drüe, Karl-Heinz; Hintz, Michael; Wurmus, Helmut
Alternative ways to high current structures in ceramic substrates. - In: Micro system technologies 2003, (2003), S. 486-488

Albrecht, Arne; Botiov, Julian; Fischer, Michael; Drüe, Karl-Heinz; Hintz, Michael; Schmidt, Udo; Thust, Heiko; Wurmus, Helmut
Alternative Ansätze zur Herstellung hochstromtragfähiger Leiter in LTCC. - In: Deutsche IMAPS Konferenz, (2003), insges. 10 S.

Witte, Hartmut; Voges, Danja; Schwerda, D.; Schilling, N.; Fischer, M. S.
Eine Beschreibungsgröße für die Gleichförmigkeit zyklischer Bewegungen. - In: Prävention von arbeitsbedingten Gesundheitsgefahren und Erkrankungen, (2003), S. 323-336

Halbedel, Bernd; Albrecht, Arne; Frank, Thomas; Henkel, Thomas; Kunze, Ullrich; Mayer, Günter; Schober, Andreas; Wurmus, Helmut
Magnetic micro components for micro reaction technology :
Magnetische Mikrokomponenten für die Mikroreaktionstechnik. - In: Materials science and engineering technology, ISSN 1521-4052, Bd. 34 (2003), 7, S. 677-679

Kallenbach, Matthias; Beyer, Frank; Baumbach, Jens; Keilig, Ralf; Kallenbach, Eberhard
Grenzen der Schnellwirkung von Antriebssystemen mit stark nichtlinearen Magnetaktoren. - In: 5. VDI-Mechatroniktagung 2003 - Innovative Produktentwicklung, (2003), S. 541-554

Wurmus, Helmut;
Mikrotechniken auch für KMU's. - In: Ingenieur-Nachrichten, (2003), 6, S. 5

Qiao, Feng;
Biologisch inspirierte mikrotechnische Werkzeuge für die Mikromontage und die Minimal-Invasive Chirurgie, 2003. - Online-Ressource (PDF-Datei: 128 S., 6838 KB) : Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2003
Parallel als Druckausg. erschienen

"Natur findet die Form". Die konstruktiven Eigenschaften und Funktionsprinzipien der Lebewesen wurden in Millionen Jahren Evolution durch Spezialisierung erworben. Bionik verbindet so die Biologie mit der Technik und gibt als Methode der Umsetzung von Funktionsprinzipien biologischer Systeme dem Konstrukteur eine von der Evolution begründete Logik in die Hand. - In der Mikrosystemtechnik ist eine Vielfalt von Mikrokomponenten entwickelt worden. In der Kombination verschiedener Mikroteile zu einem hybriden System besteht das nächste Forschungsziel. Das Manipulieren dieser Mikrokomponenten ist eine der Schlüsseltechnologien für die weitere Systemintegration. Die Einbeziehung bionischer Entwurfskriterien in die Greifer- und Manipulationstechnik stellt anwendungsorientierte Erweiterungen der Greifer-Grundstruktur nach dem Vorbild biologischer Systeme bereit. - Mundwerkzeuge von Wirbellosen bieten in ihrer modellhaften Abstraktion Anregungen für die Konstruktion des Greifmechanismus und der Greifer-Wirkflächengestaltung. Sie sind - unter Maßgabe der Spezifik der Mikrodimension - störungstolerant und nachgiebig. In der Mikrosystemtechnik werden die monolithischen Getriebe durch nachgiebige Mechanismen realisiert. - Glastechnologie mit fotoempfindlichem Glas, FOTURAN, wurde gewählt für die Fertigung des Greifers. Ein Mikrogreifer mit linearer Kraft-Auslenkung-Kennlinie wurde hergestellt. - Ein strömungsunterstütztes Ätzverfahren wurde entwickelt, mit dem tiefe Strukturen mit einer Wandneigung von ca. 1&ayn; in 2mm Glas realisiert wurden. Auf der Basis der 2mm-Glastechnologie wurden Greifer mit Piezostapel-Aktuatoren entwickelt. Der Einsatz der Finite-Elemente-Methode (FEM) ermöglichte die Optimierung der Gestaltung von mikrostrukturierten Festkörpergelenken für die Realisierung einer großen Auslenkung mit möglichst reduzierter mechanischer Spannung. Ein Greifweg von 2(400æm konnte von den beiden Greifarmen realisiert werden. - Nach dem Prinzip der Flügelkopplung einer Wanze (Graphosoma spec.) wird Silikon-Elastomer eingesetzt, um die Funktionsteile durch ein elastisches Gelenk zu verbinden. Damit wird der Bewegungsbereich der Funktionsteile, unter Verminderung der Bruchgefahr, wesentlich größer. - Mit "Fingerspitzengefühl" kann der Mikrogreifer unter Ausnutzung vom "self-sensing"-Effekt des piezokeramischen Antriebs versehen werden - eine integrierte Sensorik, die bei der Detektion und Regelung des Greifvorganges anwendbar ist. - Minimal-Invasive Chirurgie hat gegenüber den traditionellen Eingriffsmethoden eindeutige Vorteile: kleinere Wundflächen, geringere Gewebeverletzung und kürzere Rekonvaleszenzdauer. In der Minimal-Invasiven Chirurgie ist es oft notwendig, überständiges Gewebe hochpräzise zu zertrennen. Zur Zeit verfügbare Werkzeuge stellen hohe Anforderungen an die manuellen Fähigkeiten der Ärzte. Eine Lösung findet sich im Prinzip der Blattschneiderameise Atta sexdens. Sie durchtrennt Pflanzenblätter mit einer oszillierenden Kieferbewegung und die hochfrequente Translation der Mandibelkanten trägt zu einem effizienten und glatten Schneiden bei. - Das Prinzip von Vibrationssägen wurde für die Konstruktion von MIC-Werkzeuge benutzt. Es führt auch zu einem selektiven Trennen, bei dem die umgebenden Gewebe geschont werden können. Glasfaser und ein Wellenleiter aus flüssigem Metall "Galinstan" wurden benutzt, Energie zu transportieren. Die Konstruktion für MIC-Werkzeuge wurde angegeben. Enerseits wird der Effektor von der durch den flexiblen Wellenleiter übertragenen Schallenergie getrieben, zu oszillieren; gleichzeitig realisiert der Effektor die Bewegung, sich dem zu sägenden Objekt zu nähern.

Kallenbach, Eberhard; Eick, Rüdiger; Quendt, Peer; Ströhla, Tom; Feindt, Karsten; Kallenbach, Matthias
Elektromagnete : Grundlagen, Berechnung, Entwurf und Anwendung ; mit 42 Tabellen
2., überarb. und erg. Aufl. - Stuttgart : Teubner, 2003. - XII, 388 S. - (Lehrbuch Elektrotechnik) ISBN 978-3-519-16163-9
CD-ROM u.d.T.: Electromagnetic field simulation. - Stud. version. - Ansoft Corporation. - Enth. d. Magnetfeldberechnungsprogramm Maxwell

Klöpzig, Markus;
Beitrag zur Untersuchung von passiven planaren Hochgeschwindigkeitsmagnetlagern für die Anwendung in der Mikrosystemtechnik. - Aachen : Shaker, 2003. - 134 S.. - (Berichte aus der Mikromechanik) Zugl.: Ilmenau : Techn. Univ., Diss., 2002
ISBN 3832210903

Qiao, Feng; Roces, F.; Schilling, Cornelius; Wurmus, Helmut
Cutting with flexible ultrasound transmission for minimally invasive surgery with biological inspiration. - In: Actuator 2002, (2002), S. 668-671

Keoschkerjan, Ruben; Wurmus, Helmut
A novel microgripper with parallel movement of gripping arms. - In: Actuator 2002, (2002), S. 321-324

Albrecht, Arne; Halbedel, Bernd; Wurmus, Helmut; Frank, Thomas; Henkel, Thomas; Mayer, Günther; Schober, Andreas; Kunze, Ullrich
Micro components for highly parallelized chemical and biological processes with magnetic beads. - In: Actuator 2002, (2002), S. 244-247

Keoschkerjan, Ruben; Harutyunyan, Michael; Wurmus, Helmut;
Analysis of self-heating phenomenon of piezoelectric microcomponents actuated harmonically. - In: Microsystem technologies, ISSN 1432-1858, Bd. 9 (2002), 1/2, S. 75-80

Patz, Marlies; Lay, Hans-Georg; Lahmann, Heinz-Wolfgang; Barthelmä, Frank; Hertzsch, Albrecht; Kröger, Knut; Truckenbrodt, Horst; Hecht, Siegmar
Raues Klima : fertigungsnahe Erfassung von Rauheitskenngrößen. - In: Qualität und Zuverlässigkeit, ISSN 0720-1214, Bd. 47 (2002), 4, S. 421-423

Albrecht, Arne; Halbedel, Bernd; Wurmus, Helmut; Mayer, Günther; Schober, Andreas; Frank, Thomas
Mikrokomponenten für hochparallele Festphasenreaktionen an Magnetpartikeln. - In: Kurzfassungen der Vorträge und Poster zum Workshop Chemische und biologische Mikrolabortechnik vom 20. bis 22. Februar 2002 in Ilmenau, (2002), insges. 1 S.

Frank, Thomas; Bartsch de Torres, Heike; Albrecht, Arne; Henkel, Thomas
Glasstrukturierung im Mikrobereich durch mikro-abrasives Druckluftstrahlen. - In: 47. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (2002), insges. 7 S.

Albrecht, Arne; Frank, Thomas; Halbedel, Bernd; Henkel, Thomas; Kunze, Ullrich; Mayer, Günter; Schober, Andreas; Wurmus, Helmut
Magnetische Mikrokomponenten für die Mikroreaktionstechnik. - In: 47. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (2002), insges. 2 S.

Djamiykov, Todor; Marinov, Marin; Hecht, Siegmar; Krantov, N.
Entwurfsmethodik für optoelektronische Systeme mit programmierbarer Logik. - In: 47. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (2002), insges. 6 S.

Djamiykov, Todor; Jordanow, Wladimir; Hecht, Siegmar
Kontrastmessung mit intelligenten optoelektronischen Sensoren. - In: 47. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (2002), insges. 6 S.

Marinov, Marin; Dimitrov, Slav; Wurmus, Helmut
Investigation of kinematical biomechanical characteristics using low cost micromachined accelerometers. - In: 47. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (2002), insges. 6 S.

Frank, Thomas;
Untersuchungen zum Einsatz elektromagnetischer Mikroaktoren, 2002. - Online-Ressource (PDF-Datei: 141 S., 5346 KB) : Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2002
Parallel als Druckausg. erschienen

Diese Arbeit widmet sich den Mikroaktoren, den bewegungserzeugenden Elemente in Mikrosystemen. Zielstellung ist die Untersuchung der Einsatzmöglichkeiten des elektrodynamischen Energiewandlungsprinzips für Mikroaktoren. Dabei wird das elektrodynamische Prinzip mit verschiedenen Energiewandlungsprinzip verglichen und die Eigenschaften dieser Prinzipien herausgearbeitet, um so für jedes Prinzip geeignete Anwendungen zu finden. Grundlage des Vergleichs bilden die stationären Betriebskennlinien. Die Untersuchung zeigt, daß besonders der Wirkungsgrad der Aktoren ein geeignetes Vergleichskriterium bildet. Vor allem bei zunehmender Packungsdichte von Mikroaktoren in einem Mikrosystem stellt der Wirkungsgrad einen begrenzenden Faktor dar. Zur Entwicklung mehrdimensional kaskadierter Mikroaktoren ist die Beachtung der Effizienz der Energiewandlung von entscheidender Bedeutung. Die untersuchten elektrodynamische Aktoren zeichnen sich durch einen hohen Wirkungsgrad im Bereich der Leerlaufgeschwindigkeit aus, hingegen ist ihre Effizienz beim Anzug minimal. Die weitaus größte Anzahl von Mikroaktoren führt aufgrund der eingesetzten Federführungen wechselsinnige Bewegungen mit oder ohne Rast aus. Hierbei leisten die Aktoren sowohl Blind- als auch Wirkleistung. Um diese Bewegungsform energetisch mit kontinuierlichen laufenden Aktoren vergleichen zu können wird eine Methode vorgestellt die dies ermöglicht. - Die federgeführten Mikroaktoren werden durch die erzwungene harmonische Schwingung eines gedämpften Feder-Masse-Systems beschrieben. Die Parameter sind die schwingende Masse, die Dämpfung und die Elastizität der Führungsfedern. Die umgesetzte Leistung wird in effektive Wirk- und Blindleistung zerlegt. Aus dem Verhältnis der beiden Leistungen zueinander läßt sich der Gesamtwirkungsgrad bestimmen. Nicht harmonische Schwingungen werden mittels einer FOURIER-Reihe angenähert. Die Gesamtleistung ergibt sich in diesem Fall aus der Summe aller Einzelleistungen. Der Nachweis wird an konkreten Beispielen geführt. Es werden drei verschiedene elektrodynamische Mikroaktoren aufgebaut und untersucht. Hierzu werden verschiedene Herstellungstechniken analysiert und modifiziert. Die Betrachtung zeigt, daß nur die Aktoren, die mit ihrer Eigenkreisfrequenz betrieben werden mit einem hohen Wirkungsgrad arbeiten. Der Wirkungsgrad kann bis zu 90 % betragen. Bei beliebigen wechselsinnigen Bewegungen wird ein Wirkungsgrad von maximal 0,1 % erreicht. 7Abschließend erfolgt eine Charakterisierung der aufgebauten Mikroaktoren.

Lasergestützte Feinstleitertechnologie : gemeinsamer Abschlußbericht zum Verbundprojekt Reg.-Nr. B 409-98021 ; Bearbeitungszeitraum: April 1999 bis Oktober 2001
[Elektronische Ressource]. - Rudolstadt : TITK [u.a.]. - Online-Ressource (71 S. = 9,2 MB)Differences between the printed and electronic version of the document are possible

Keoschkerjan, Ruben; Harutyunyan, Michael; Wurmus, Helmut
Thermo-electro-mechanical analysis of piezoelectric microcomponents by harmonic oscillations. - In: Micro system technologies 2001, (2001), S. 237-242

Riemer, Detlef; Kallenbach, Eberhard; Schilling, Cornelius; Blickhan, Reinhard; Marinov, Marin
Neuartige Antriebssysteme nach muskulärem Vorbild für die Präzisionstechnik. - In: Technische Biologie und Bionik 5, (2001), S. 331-334

Kolev, Emil; Gorb, Stanislav; Schilling, Cornelius; Riemer, Detlef
Ein Kopf-Kühlungssystem bei Libellen (Odonata)? : (ein Beitrag zur bionischen Thermodynamik und Mikrosystemkalorik). - In: Technische Biologie und Bionik 5, (2001), S. 317-322

Yanev, Vasil; Schwesinger, Norbert; Wurmus, Helmut
Chemical resistance of thin plasma polymerized fluorocarbon films in inorganic etching solutions used in microstructure technology. - In: Micro system technologies 2001, (2001), S. 523-525

Kallenbach, Eberhard; Wurmus, Helmut
Mechatronik - eine neue Generation der Mikro- und Feinwerktechnik. - In: Deutsche IMAPS Konferenz, (2001), S. 32-54

Preuß, Roman; Stubenrauch, Mike
Miniaturization of fully compliant, worm-like motion systems. - In: Motion systems 2001, (2001), S. 58-62

Keoschkerjan, Ruben; Wurmus, Helmut
Piezoelektrischer paralleler Mikrogreifer für Mikrohandling. - In: Innovative Klein- und Mikroantriebe 2001, (2001), S. 189-193

Albrecht, Arne; Kallenbach, Matthias; Wurmus, Helmut
Magnetische Handhabung von Mikrokugeln für die hochparallele Festphasensynthese. - In: Innovative Klein- und Mikroantriebe 2001, (2001), S. 223-228

Schilling, Cornelius; Keoschkerjan, Ruben; Wurmus, Helmut
Aspects of bionics in design of micro-mechanical systems. - In: Motion systems 2001, (2001), S. 49-52

Schilling, Cornelius; Gramsch, Torsten; Wurmus, Helmut;
Aspects of bionics in design of micro actuator systems. - In: Motion systems 2001, (2001), S. 8-12

Schwesinger, Norbert;
Modular microcomponents for a flexible chemical process technology. - In: Microfluidic devices and systems III, (2000), S. 65-71

Qiao, Feng; Wurmus, Helmut
A tactile micro gripper with piezoelectric actuator based on microsystem technology. - In: Proceedings of the fifteenth annual meeting, (2000), S. 16-19

Bögelsack, Gerhard; Karner, Michael; Schilling, Cornelius
On technomorphic modelling and classification of biological joints. - In: Theory in biosciences, ISSN 1611-7530, Bd. 119 (2000), 2, S. 104-121

Burgold, Jörg; Wurmus, HelmutSchacht, Hans-Joachim
Konzipierung und Untersuchung technischer Voraussetzungen linearmotorischer Nanometer-Antriebssysteme auf der Basis mechanochemischer Proteine von Kinesintyp. - Zellfreier biomolekularer Nanoaktor ; Teilprojekt 2. - Ilmenau [u.a.] : Inst. für Mirkosystemtechnik, Fak. für Maschinenbau, Techn. Univ. [u.a.]. - 64 Bl.Förderkennzeichen BMBF 0311370

Kallenbach, Eberhard; Wurmus, Helmut; Albrecht, Arne; Frank, Thomas; Kallenbach, Matthias
State and trends in the development of magnetic microactuators. - In: Proceedings, (2000), S. 589-591

Qiao, Feng; Wurmus, Helmut
Piezoelectric actuator with integrated sensor for microgripper made of glass. - In: Actuator 2000, (2000), S. 387-390

Keoschkerjan, Ruben; Qiao, Feng; Schilling, Cornelius; Wurmus, Helmut; Harutyunyan, Michael
Piezoelectric X-Y-micropositioner made of photosensitive glass to form one micro-handling unit. - In: Actuator 2000, (2000), S. 296-299

Yanev, Vasil; Schwesinger, Norbert; Wurmus, Helmut
Patterning of thin plasma polymerised fluorocarbon films. - In: MicroMat 2000, (2000), S. 1185-1188

Kallenbach, Eberhard; Schilling, Cornelius; Frank, Thomas; Kallenbach, Matthias; Wurmus, Helmut
Micromechatronics - a foundation for future products. - In: MicroMat 2000, (2000), S. 984-985

Schilling, Cornelius;
Umwelt-Mikrosensoren im aquatischen Milieu - bionische Implikationen. - In: Proceedings of: III. Biomechanic Workshop of the Studygroup Morphology (DZG), II. Workshop of Biological composed Materials and Systems (BKM&S), VI. Workshop of the Society of Technical Biology and Bionics, (2000), S. 129-131

Meier, Petra; Gramsch, Torsten; Schilling, Cornelius; Kallenbach, Matthias; Frank, Thomas; Blickhan, Reinhard
Der Einfluss der Nichtlinearität der Kennlinien auf das mechanische Verhalten des Muskels. - In: Proceedings of: III. Biomechanic Workshop of the Studygroup Morphology (DZG), II. Workshop of Biological composed Materials and Systems (BKM&S), VI. Workshop of the Society of Technical Biology and Bionics, (2000), S. 135-138

Stracke, Roland; Böhm, Konrad J.; Burgold, Jörg; Schacht, Hans-Joachim; Unger, Eberhard
Physical and technical parameters determining the functioning of a kinesin-based cell-free motor system. - In: Nanotechnology, ISSN 0957-4484, Bd. 11 (2000), 2, S. 52-56

Wurmus, Helmut
Mikrohydraulisches Selbstreinigungsmodul für Parametersonden in biologischen Medien : Abschlußbericht
[Elektronische Ressource]. - Ilmenau. - Online-Ressource (70 p. = 4,09 MB)Contract BMBF 03F0232A. - Differences between the printed and electronic version of the document are possible. - Engl. abstract under title: Microhydraulic self-cleaning modul. - nIndex p. 69 - 70. - nBibliography p. 68

Ultrasound, antifouling, microtechnic

Wurmus, Helmut
Abschlußbericht, Thema: Zellfreier biomolekularer Nanoaktor, Teilprojekt 2: Konzipierung und Untersuchung technischer Voraussetzungen linearmotorischer Nanometer-Antriebssysteme auf der Basis mechanochemischer Proteine vom Kinesintyp
[Elektronische Ressource]. - Ilmenau. - 68 p. = 5,49 MB, text and imagesContract BMBF 0311370. - Abstract under title: Konzipierung und Untersuchung technischer Voraussetzungen linearmotorischer Nanometer-Antriebssysteme auf der Basis mechanochemischer Proteine vom Kinesintyp

Nanomotor, Nanoantrieb, Motorprotein, Kinesin, Mikrotubuli, Kraftmessung, Magnetbead, Siliziumstrukturen

Wurmus, Helmut; Kallenbach, Matthias
Chemomechanical actuators. - In: Adaptronics and smart structures, (1999), S. 207-217

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Im Titel sind "3" und "4" tiefgestellt

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