Auf der Grundlage der Ergebnisse des Sonderforschungsbereichs 622 werden zum einen die metrologischen Grenzen für NPM-Maschinen bezüglich der Arbeitsbereiche bis 450 mm x 450 mm x 80 mm, der Messauflösung bis 0,01 nm und der Reproduzierbarkeit bis < 0,3 nm untersucht und zum anderen optimal angepasste metrologische Lösungen für variable Einsatzszenarien von NPM-Maschinen mit unterschiedlichen Sensor- und Antastsystemen erarbeitet.

Projekte im Kompetenzzentrum