EuroNanoLab Dry Etching Expert Meeting @ TU Ilmenau, Germany

Am 11. und 12. November 2025 trafen sich führende Trockenätzexpertinnen und Experten aus Europas Spitzen Nanolaboren an der Technischen Universität Ilmenau, um sich intensiv über aktuelle Entwicklungen und zukünftige Trends der Dry Etch Technologien auszutauschen. Im Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien kamen Fachleute zusammen, die zwei Tage lang neueste Erkenntnisse teilten, praktische Anwendungen diskutierten und wertvolle Einblicke in modernste Prozessierungs-, Reinigungs- und Konditionierungsmethoden gaben. Die Atmosphäre war geprägt von fachlicher Tiefe, lebendigem Austausch und echter Begeisterung für technologische Fortschritte.

Ein besonderes Highlight war neben den Vorträgen von Christoph Weigel bei uns von der  Technischen Universität Ilmenau und Jörg Schuster  und Georg Umlauf vom Fraunhofer ENAS auch die Beteiligung unserer Partnerunternehmen  SENTECH Instruments GmbH  und memsstar Limited.  SENTECH brachte in interaktiven Sessions praxisnahe Trainings ein, die Themen wie Prozessoptimierung für verschiedene Materialien, Endpunkt-Erkennung mit Ellipsometrie und OES sowie die Funktionsweise innovativer Plasmaquellen behandelten. Zudem fand eine eigene Session zu offenen Fragen, After Sales Service und künftigen Kooperationen statt. Memsstar ergänzte das Programm mit einem spannenden Vortrag über vakuumgesteuertes metal assisted chemical etching aus der Gasphase, ein Verfahren, das besonders für Siliziumstrukturen mit hohem Aspektverhältnis von großem Interesse war.

Das Treffen bot ein vielseitiges und inhaltlich starkes Programm. Die Teilnehmenden erhielten Einblicke in die Ilmenauer Reinraum-Infrastruktur und lernten aktuelle Forschungsarbeiten kennen. Fachvorträge zu nachhaltigen RIE Ansätzen und zur reaktiven Ionenätzung von Silikatgläsern regten ebenso zum Austausch an wie die Präsentation halogenfreier Plasmaätzprozesse, erweitert durch Modellierungen und Life Cycle Analysen. Weitere Schwerpunkte waren hochmoderne Dry-Etch-Lösungen für Diamant, SiC, ALE und die Bearbeitung unterschiedlichster Halbleitermaterialien, begleitet von spannenden Ansätzen zur in-situ-Prozessüberwachung mittels Ellipsometrie, Reflexionsmessung und OES. Auch die Vorstellung optimaler Plasmaquellen für präzise Low-Damage-Prozesse fand große Aufmerksamkeit. Abgerundet wurde das Event durch Führungen durch die Reinräume und Labore der TU Ilmenau, die den Teilnehmenden einen direkten Blick in die lokalen Forschungsbedingungen ermöglichten.

Das EuroNanoLab Expertentreffen war rundum gelungen und lieferte viele hilfreiche Erkenntnisse für die weitere Arbeit im Bereich Dry Etching.

Organisatoren:

    Maria Illing (+49 3677 69 3400), Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien, TU Ilmenau
    Djaffar Belharet, Abteilung MN2S, CNRS, FEMTO-ST
    Andrei Avram, Nationales Institut für F&E in Mikrotechnologien - IMT Bukarest

EuroNanoLab ist eine verteilte Forschungsinfrastruktur, die aus über 40 hochmodernen akademischen Nanofabrikationszentren in ganz Europa besteht. Seine Hauptvision ist es, die Forschung im Bereich der Mikro- und Nanotechnologie zu beschleunigen, indem es die Umwandlung einer zersplitterten Landschaft von Nanofabrikationseinrichtungen in eine integrierte Wissensbasis ermöglicht, die wissenschaftliche Spitzenleistungen unterstützt und Forschern einen schnellen Weg zu Ergebnissen bietet.

Weitere Informationen: www.euronanolab.eu

Aufsteller mit Veranstaltungsplakat zum EuroNanoLab Dry Etch Expert Meeting 2025 vor dem ZMN der TU Ilmenau.Maria Illing/ TU Ilmenau
Der Willkommensaufsteller am ZMN weist den Weg zum EuroNanoLab Dry Etch Expert Meeting 2025.
Blick in den Tagungsraum während eines Vortrags – Teilnehmer verfolgen eine Präsentation zu Plasmaätzprozessen.Maria Illing/ TU Ilmenau
Die Teilnehmer:innen verfolgen aufmerksam die Fachvorträge zu aktuellen Dry-Etch-Entwicklungen. Vortragender: Dr. Christoph Weigel (FG Mikrosystemtechnik)
Vortrag über Herausforderungen beim Plasmaätzen von Gläsern; mehrere Teilnehmende hören aufmerksam zu.Maria Illing/ TU Ilmenau
Dr. Christoph Weigel (FG Mikrosystemtechnik) spricht über Grünes Ätzen von Glas.
Hybrid-Session mit internationalen Teilnehmenden auf dem Bildschirm; Diskussion zwischen Referenten im Raum.Maria Illing/ TU Ilmenau
Auch internationale Gäste waren per Videokonferenz zugeschaltet und aktiv in den Austausch eingebunden.
Netzwerkaustausch im Ausstellungsbereich mit Infoständen von SENTECH, memsstar und weiteren Partnern.Maria Illing/ TU Ilmenau
In der Ausstellung kamen Forschung und Industrie direkt ins Gespräch - Netzwerkaustausch im Ausstellungsbereich mit Infoständen von SENTECH, memsstar und weiteren Partnern.
Gruppenfoto aller Teilnehmenden des Dry Etch Expert Meetings auf der Treppe vor dem ZMN der TU Ilmenau.Maria Illing/ TU Ilmenau
Gruppenbild der Teilnehmenden vor dem Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien der TU Ilmenau.

Practical Information for Your Visit to Ilmenau

Workshop Location

Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien (ZMN)
Technische Universität Ilmenau
Feynmanbau, Room 114/115
Gustav-Kirchhoff-Straße 7
98693 Ilmenau, Germany

How to get to Ilmenau (International Travel) (klick for more information)

The nearest major international airports are:

  • Frankfurt/Main (FRA) – approx. 3.5 hours by train

  • Leipzig/Halle (LEJ) – approx. 2.5 hours by train

  • Berlin (BER) – approx. 3.5–4 hours by train

 

From the airport, you can take a train to Erfurt Central Station, then transfer to a regional train (Erfurter Bahn) to Ilmenau Station.
Train connections are available at www.bahn.com.

We recommend that you check your itinerary beforehand and book train tickets early.

 

Hotel Accommodation (klick more information)

Please arrange your accommodation individually. We recommend the following hotels, which are within walking distance of the university:

  • Hotel Tanne Ilmenau (www.hotel-tanne-ilmenau.de) (2.5 km, 35 min walking to the ZMN)
  • Hotel Mara Ilmenau (www.hotelmara.de) (1.6 km, 25 min walking to ZMN)
  • ILM Hotel Ilmenau (www.ilm-hotel.de) (less than 1 km, 15 min walking to ZMN, very basic (therefor cheap rooms, no official reception (counter), no breakfast – can be eaten from 8 am at the Cafeteria of the university – with very tasty waffles ;-)

 

Local Transport in Ilmenau

The TU Ilmenau campus is reachable on foot from all hotels. The Feynmanbau is located near the rear university parking lots.
If you have mobility concerns or need assistance getting to the venue, please do not hesitate to contact us – we will gladly help you find a solution.

 

Parking

Public parking is available directly behind the university and within walking distance of the Feynmanbau.