Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien

Das Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien ist das größte Technologische Zentrum der TU Ilmenau. Als Technologieplattform des Instituts für Mikro- und Nanotechnologien bildet es die Basis sowohl für die grundlagenorientierte, als auch für die angewandte Forschung im Bereich der Mikro- und Nanotechnologien sowie der Materialwissenschaften an unserer Universität. In zwei Hochtechnologiegebäuden verfügt das ZMN über 1.800 m² Laborfläche, davon 1.200 m² Reinraum mit hochspezialisierten Anlagen und Geräten. Hinzu kommen Speziallabore, etwa für die Arbeit mit biologischen Proben (Sicherheitsstufe S1), die analytischen Labore oder Labore für hochpräzise Messtechnik, die Genauigkeiten im Nanometer-Bereich gestattet.
Das seit 2013 durch die DFG als Gerätezentrum geförderte ZMN stellt seine exzellente Ausstattung und seine wissenschaftlichen Kompetenzen auch Universitäten, Forschungseinrichtungen und Unternehmen zur Verfügung.

Das ZMN ist das Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien der TU Ilmenau. Seit 2006 existiert es als Zentrale Betriebseinheit der Universität und Technologisches Zentrum für das zugehörige Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN MacroNano).

Die Gründung des interfakultativen Forschungszentrums wurde bereits Mitte der 90er Jahre des letzten Jahrhunderts von 9 Fachgebieten getrieben. Mit dem Ziel, der Gemeinschaft aus ForscherInnen und MitarbeiterInnen der Universität einen Ort für interdisziplinäre Spitzenforschung zu ermöglichen, wurde 2002 das Hochtechnologiegebäude Feynmanbau als ZMN eröffnet. Mit dem Erwerb eines zweiten Gebäudes durch die TU Ilmenau, dem Meitnerbau, konnten weitere (Reinraum-)Flächen für das Zentrum erschlossen werden.

Hauptaufgabe des ZMN ist die Unterstützung und Förderung von Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftlern im Bereich der Mikro- und Nanotechnologie. Das ZMN erfüllt diese Aufgabe durch den Kauf von Geräten und Neuanlagen, deren Betrieb und Wartung und durch die finanzielle Projektabwicklung. Insbesondere die Betreuung und technologische Absicherung der Geräte wird in enger Abstimmung mit den Technologietreibenden Fachgebieten des Zentrums und Institutes organisiert.

Im Selbstverständnis einer "Core Facility", ermöglicht das ZMN sowohl den direkten Zugang an seine Infrastruktur als auch die Möglichkeit, Prozesse als Dienstleistung zu erbringen. Dabei steht das Zentrum sowohl der Forschungsgemeinschaft der TU Ilmenau als auch externen Forschern aus dem akademischen Bereich und der Industrie offen.

Durch die räumliche Nähe der verschiedenen Fachgebiete und Forschergruppen entsteht ein intensiver wissenschaftlicher Austausch in einem kreativen Umfeld. Interdisziplinarität wird am ZMN gelebt.