Patrick Feßer

Ausbildung und Werdegang

• 2009 – 2011 Ausbildung zum Mikrotechnologen
• 2011 Praktikum am FG Technische Optik
• 2011 Technischer Mitarbeiter am FG Technische Optik

Arbeitsgebiete

• Lithografische Verfahren
  • Maskenlose Lithografie
  • Maskenbasierte Lithografie
  • Nanoimprint
  • Sprühbelackung
• Reaktives Ionenätzen
  • Materialien: Fused Silicia, AF32, Boroglas, SiOx, SiC- Schichten, LiNbO3
  • Proportionaltransfer, Glasätzen, Cryoätzen
• Analytische Verfahren
  • Weißlichtinterferenz
  • Rasterelektronenmikroskop
  • Dektak und AFM (taktile Messverfahren)

Hobbys

• Trailrunning
• Fotografie

Postanschrift
Patrick Feßer
    Technische Universität Ilmenau
    Fakultät für Maschinenbau
    Institut für Mikro- und Nanotechnologien
    Fachgebiet Technische Optik
    Postfach 10 05 65
    98684 Ilmenau

 +49 3677 692418

Fax: +49 3677 691281