Molekularstrahlepitaxie (MBE)
Gerät: SSMBE-Anlage UMS 500 (Balzers AG)
Technische Daten
Augerelektronenspektroskopie (AES)
Gerät: Augerelektronen Spektrometer Microlab 350
Technische Daten
Metallorganische Chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD)
Gerät: AIX 200 (Aixtron AG)
Technische Daten
Plasmaätzanlage
Gerät: Multiplec ICP
Technische Daten
Elektronenstrahllithografie
Gerät: Raith 150
Technische Daten
Röntgen-Diffraktometer (HXRD)
Gerät: D8 DISCOVER Hochauflösungs-Röntgen-Diffraktometer
Technische Daten
Rasterelektronenmikroskop
Gerät: Zeiss GEMINI 500
Technische Daten
Desorptionsmessplatz
Gerät: Desorptionsmessplatz (Eigenbau)
Technische Daten
Ellipsometer
Gerät: Sentech SE 900 FT-IR Ellipsometer
Gerät: Sentech SE 801 in situ Spektralellipsometer
Gerät: Sentech CER Ellipsometer ex situ Mehrwinkelellipsometer mit Weißlichtreflektometer
Technische Daten