Sub-project C

Als wichtigstes Ziel der 2. Generation gilt die Realisierung von präzise positionierten Nanostrukturen durch Ausnutzung der NMP-Technik und NIL. Eine skalenübergreifende Umsetzung von NIL mit höchster Präzision soll am Beispiel von Sonden zur hochlokalen (Bio)-Sensorik mittels oberflächenverstärkter Raman-Spektroskopie erfolgen. Hierbei müssen metallische Strukturen hochlokal und mit präzise definiertem Abstand von wenigen Nanometern erzeugt werden. Es soll erforscht werden, inwieweit miniaturisierte Stempel, eine hochlokale Belichtung, „Mix-and-Match“-Strategien und die Präzision der NMPTechnik zur großflächigen und reproduzierbaren NIL-Nanostrukturierung eingesetzt werden können.

Projektleiter: Prof. Strehle, Prof. Sinzinger

Das Ziel der zweiten Generation besteht in der noch besseren Verbindung von hochlokalisierten und hochdynamischen Laserschreibprozessen mit der NPM-Technik, sowohl in der Ebene, als auch auf gekrümmten Oberflächen. Dazu ist in der zweiten Generation die Umsetzung eines differential-chromatischen Ansatzes auf Basis einer hochfrequent schwingenden mikromechanischen Lochblende mittels Lockin Technik als konfokaler Sensor vorgesehen. Durch eine Kombination aus verbesserter Laserstrahlfokussierung und einem besseren Verständnis der Lackchemie, die offenbar ein Strukturieren deutlich unterhalb des Rayleigh-Kriteriums ermöglicht, sollen minimale Strukturen fabriziert werden. Schließlich soll das nanometerpräzise Schreiben auf großen Flächen (25 mm x 25 mm) bei hohen Geschwindigkeiten demonstriert werden.

Projektleiter: Prof. Manske, Prof. Sinzinger