Nanofabrikationsmaschine

Die Nanofabrikationsmaschine NPMM-100 dient als wichtige experimentelle Plattform für die Grundlagenforschung auf dem Gebiet der skalenübergreifenden AFM-spitzen- und laserbasierten Nanofabrikation für die Sub10nm-Strukturierung auf Oberflächen bis Ø100 mm. Diese Plattform ermöglicht es, in zukunftsweisende Grenzen der Nanofabrikation mit einer Reproduzierbarkeit und Unsicherheit im Subnanometerbereich vorzudringen. An der Maschine werden neue Methoden der Nanostrukturierung entwickelt und untersucht. Die Forschungsarbeit des DFG-Graduiertenkollegs Nano-Fab (GRK 2182/1) von 13 Doktoranden wird über drei Generationen (9 Jahre) hinweg unterstützen. Das Gerät ist international einzigartig und beispiellos und basiert auf langjähriger Forschung des SFB 622 (2002-2013).

Dieses Projekt wird durch den Europäischen Fonds für regionale Entwicklung der Europäischen Union und die Deutsche Forschungsgemeinschaft finanziert.