EU-Projekte

  • Single Nanometer Manufacturing for beyond CMOS devices (SNM)
  • NANOHEAT
  • PRONANO
  • NanoPlasma
  • EIE - Surveyor
  • TASNANO
 

Industrieprojekte

  • Analyse und Optimierung des Verhältnisses von Mikro- und Nanostrukturen
  • PRIAMOS
 

Förderprojekte

  • EMSiG
  • Neuartige Small Cantilever
  • MUSIK
  • Entwicklung von hochempfindlichen Massedetektoren auf Cantileverbasis (massSMEMS-CB)
  • Interferometrische Stehende-Welle-Sensoren (ISWSensors)
  • Neuartige Si-Messchips
  • AFM-Sonden der nächsten Generation
  • Entwicklung eines neuartigen Verfahrens eines vollautomatisierten, kontaktlosen und produktionstauglichen CD-Messgerätes
  • Innovationsnetzwerk Mikro-Nano-Integration
  • Dynamische Nanopositionierung für kleine Bewegungsbereiche
  • Entwicklung von hochpräzisen piezoelektrischen Aktuatorsystemen und Integtration mit der Si-MEMS-Technologie
  • ForMaT: Verwendungsstrategien für Mikrogreifer (Microgripper)
  • ForMaT: ARCH TYPE Infrarot Sensoren
  • Entwicklung eines multiparameterfähigen Cantilever-Arrays
  • Entwicklung eines hochempfindlichen und miniaturisierten Gasdetektors für CO2 zur Verwendung in Analysegeräten
  • NanoLith
  • Video Cantilever
  • Umsetzung von Marketingmaßnahmen im Technologiefeld Nanotechnologien
  • Ethylen-Messgerät
  • Modellentwicklung und -verifikation für (N)MEMS
  • Cluster-Jet