EU-Projekte
- Single Nanometer Manufacturing for beyond CMOS devices (SNM)
- NANOHEAT
- PRONANO
- NanoPlasma
- EIE - Surveyor
- TASNANO
Industrieprojekte
- Analyse und Optimierung des Verhältnisses von Mikro- und Nanostrukturen
- PRIAMOS
Förderprojekte
- EMSiG
- Neuartige Small Cantilever
- MUSIK
- Entwicklung von hochempfindlichen Massedetektoren auf Cantileverbasis (massSMEMS-CB)
- Interferometrische Stehende-Welle-Sensoren (ISWSensors)
- Neuartige Si-Messchips
- AFM-Sonden der nächsten Generation
- Entwicklung eines neuartigen Verfahrens eines vollautomatisierten, kontaktlosen und produktionstauglichen CD-Messgerätes
- Innovationsnetzwerk Mikro-Nano-Integration
- Dynamische Nanopositionierung für kleine Bewegungsbereiche
- Entwicklung von hochpräzisen piezoelektrischen Aktuatorsystemen und Integtration mit der Si-MEMS-Technologie
- ForMaT: Verwendungsstrategien für Mikrogreifer (Microgripper)
- ForMaT: ARCH TYPE Infrarot Sensoren
- Entwicklung eines multiparameterfähigen Cantilever-Arrays
- Entwicklung eines hochempfindlichen und miniaturisierten Gasdetektors für CO2 zur Verwendung in Analysegeräten
- NanoLith
- Video Cantilever
- Umsetzung von Marketingmaßnahmen im Technologiefeld Nanotechnologien
- Ethylen-Messgerät
- Modellentwicklung und -verifikation für (N)MEMS
- Cluster-Jet