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Prof. Dr. Eberhard Manske
Leiter des FG Fertigungs- und Präzisionsmesstechnik, Institutsleiter PMS
69-1250, -5050
Die Nanopositionier- und Nanomesstechnik begann mit der Erforschung, Entwicklung und dem Aufbau von Laserinterferometern ab ca. 1980 unter der Leitung von Prof. Gerd Jäger. Damit verbunden waren Forschungsarbeiten zur Laserstabilisierung und Messdatenauswertung, zum Lichtwellenleitereinsatz und Optikdesign, usw. Die kontinuierliche Weiterentwicklung führte schließlich zur Konstruktion der ersten Nanopositionier- und Nanomessmaschine und zum Sonderforschungsbereich 622.
Die Wurzeln der Forschungsgruppe „Kraftmess- und Wägetechnik“ liegen in Untersuchungen zur Spannungsanalyse und der Entwicklung von interferenzoptischen Waagen unter dem ehemaligen Institutsleiter Prof. Gerd Jäger. Weitere Forschungsgebiete vervollständigen das Profil und werden in enger Zusammenarbeit mit der Industrie durchgeführt. Highlights sind der 1kg-Massekomparator und die Planckwaage.
Schon in den 1960er Jahren wurde durch Dr.-Ing. Frank Bernhard die Forschungsgruppe „Temperaturmesstechnik“ aufgebaut. Sie entwickelt neue Temperaturmessverfahren/-sensoren und Kalibrierverfahren, untersucht verschiedene Einflüsse der Temperatur auf die weiteren am Institut vorhandenen Präzisionsmessverfahren und erarbeitet Möglichkeiten zur Kompensation dieser Störeinflüsse.
Im Institut gibt es weitere messtechnische Untersuchungen und Entwicklungen, die nicht einem Schwerpunkt zugeordnet werden können. Desweiteren werden verschiedenste Dienstleitungen auf messtechnischem Gebiet angeboten. Beides wird im Folgenden vorgestellt.