Abgeschlossene Themen und Projekte:
Ultrasensitive Magnetfeldsensorik mit resonanten magneto-elektrischen MEMS
Das Ziel der Forschergruppe MagSens war die Entwicklung integrierter und resonanter Mikrostrukturen auf Basis magnetoelektrischer Komposite für die Messung schwächster (z.B. bio-) magnetischer Felder bei Raumtemperatur. Das Forschungsvorhaben umfasste daher ein grundlegendes Verständnis der design-relevanten Eigenschaften und ihrer Abhängigkeiten, die Fähigkeit der Simulation und Voraussage der Performanz, die Bereitstellung der technologischen Basis inklusive Layout, technologischer Ablauf, Einstellung und Analyse der Schicht-charakteristika (insbesondere mit Bezug auf Deposition und Nachbehandlung), sowie messtechnische Aspekte in Bezug auf Validierung des Sensorsystems.
Laufzeit: 01.01.2018 - 31.12.2020
Die Forschergruppe MagSens wurde gefördert vom Freistaat Thüringen aus den Mitteln des Europäischen Sozialfonds.
Weitere abgeschlossene Projekte:
Koordination der Forschergruppe OptiSolar (Silizium-Photovoltaik), 2013 - 2014, gefördert vom Freistaat Thüringen aus den Mitteln des Europäischen Sozialfonds.
Koodination des Anteils der TU Ilmenau an der Forschergruppe BiPV (Antragstellung: HS Nordhausen, 2015-2017), gefördert vom Freistaat Thüringen aus den Mitteln des Europäischen Sozialfonds.
Epitaxie von Gruppe-III-Nitriden: Epitaktisches Wachstum von AlGaN/GaN-Heterostrukturen auf Saphir, SiC und Silizium mit Hilfe der metallorganischen gasphasenabscheidung (MOCVD) für Anwendungen im Bereich der Hochfrequenztransistoren, Mikromechanische Resonatoren (MEMS) und im Bereich der Sensorik (pH-Wertmessung mit open gate-FETs).
Mikro/-Nanomechanik: Entwicklung von piezoelektrisch angeregten, mikromechanischen Resonatoren auf der Basis von epitaktischen AlGaN/GaN-Schichtsystemen, Herstellung und Untersuchung der mechanischen Eigenschaften von Nanodrähten. (gefördert u.a. DFG SPP 1157, 2003-2010, DFG SPP 1165, 2006-2007, TMBWK 2011-2013).
