Analytik

Um alle Stufen der Prozessketten der Mikro- und Nanotechnologien abzudecken, hat das ZMN den Anspruch, die detaillierte analytische Untersuchung und Charakterisierung von Systemen im Mikro- und Nanobereich zu ermöglichen. Unsere Analyseinstrumente ergänzen damit die Forschungsinstrumente und Aktivitäten, die unsere anderen Technologien ermöglichen.
Das Spektrum reicht von der Material- und Nanoanalytik (REM, TEM, AFM, XRD...) über die physikalisch-optischen Analytik (Ellipsometrie, UV-Vis-IR-Spektroskopie, XPS...) bis zur elektrischen Charakterisierung.